节能高效真空抽气装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及节能高效真空抽气装置，尤其属于真空镀膜生产线中的节能高效真空抽气装置。
【背景技术】
[0002]目前在真空镀膜生产线中，一条生产线往往需要几十个甚至上百个相互独立的真空腔室，真空腔室内的气体经真空泵抽出进入两侧的支管，再由两侧支管汇合进入主管，由前级真空泵排出，这样涉及到真空泵连接的支管与主管连接的问题，现有技术中往往是主管位于高于真空腔室的上盖，真空泵连接支管与主管通过波纹软管进行连接，这样一方面每个真空腔室在需要打开或盖上上盖时都需要将真空泵连接的支管与主管的波纹软管进行手工拆卸，由于一条生产线往往需要几十个甚至上百个相互独立的真空腔室，这样需要花费大量的时间来进行真空泵连接的支管与主管的波纹软管的拆装工作，从而大大影响了生产效率，而且也浪费了大量的能源，不仅造成生产成本大大提高，而且也不利于环保；另一方面，真空泵连接的支管与主管管内真空度较高，对连接处的密封要求较高，现有技术的设置往往导致连接处漏气。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是，为了克服现有技术的缺陷与不足，提供一种结构简单、安装方便、提高生产效率的泵节能高效真空抽气装置。
[0004]本发明的目的可以通过采取以下技术方案达到:
一种节能高效真空抽气装置，包括真空腔体、真空腔体盖板、真空泵、第一抽气管和第二抽气管组成，所述真空泵固定在真空腔体盖板上，所述的真空泵与第一抽气管一端连接，第一抽气管和第二抽气管一端都具有与水平面平行的第二法兰和第一法兰，第二法兰水平面与真空腔体上表面平齐或低于真空腔体上表面，当所述的真空腔体盖板盖在真空腔体上时，所述的第一抽气管和第二抽气管在所述的第一和第二法兰处形成气密性连接。
[0005]作为本发明专利的优选实施例，所述的第二抽气管通过波纹软管与第二法兰连接，所述的第二法兰沿圆周方向有凹槽，凹槽内放置有密封胶圈，所述的第一年抽气管通过波纹软管与第一法兰连接，当所述的真空腔体盖板盖在真空腔体上时，第二法兰和第一法兰形成气密性连接。并且第二法兰和第一法兰结合面与真空腔体和真空腔体盖板结合面平齐。
[0006]与现有技术相比较，本发明具有以下优点:
一、在真空镀膜生产线中，采用本发明专利真空泵节能高效真空抽气装置，拆装真空腔体盖板时不需要人工来拆装第二抽气管与第一抽气管的连接装置，由于一条生产线往往需要几十个甚至上百个相互独立的真空腔室，这样可以节省用来进行第一抽气管与第二抽气管的拆装工作的大量时间，从而大大提高了生产效率，而且也节约了大量的能源，不仅使得生产成本大大降低，而且也有利于环保。
[0007]二、由于本发明专利真空泵节能高效真空抽气装置使得与第二抽气管连接的第二法兰水平，当所述的真空腔体盖板盖在真空腔体上时，第二法兰和第一法连接处靠重力的作用形成气密性连接，而且在抽真空的过程中，由于第二抽气管和第一抽气管都具有一定的真空度，这样第二法兰和第一法兰靠大气压力自然形成更为紧固的密封，因此，解决了现有技术的设置往往导致连接处漏气的难题。
【附图说明】
[0008]图1是本发明真空泵节能高效真空抽气装置的整体结构图。
【具体实施方式】
[0009]以下结合附图对本发明的【具体实施方式】作详细描述。
[0010]如图1所示，本发明真空泵节能高效真空抽气装置包括真空腔体2、真空腔体盖板1、真空泵3、第一抽气管4和第二抽气管5组成，第二抽气管5低于真空腔体盖板1，第二抽气管5通过波纹软管6与第二法兰7连接，第二法兰7沿圆周方向有凹槽，凹槽内放置有密封胶圈，所述的第一抽气管4通过波纹软管8与第一法兰9连接，当所述的真空腔体盖板盖I盖在真空腔体2上时，由于第一法兰9和第二法兰7结合面与真空腔体和真空腔体盖板结合面平行即与水平面平行，第一法兰7依靠第一抽气管4及真空腔体盖板I的重力压在第二法兰7上，同时，第二法兰7沿圆周方向有凹槽，凹槽内放置有密封胶圈，因此，第二法兰7和第第一法兰9不需要任何的机械连接即可形成气密性连接，使得吊装真空腔体盖板非常方便，这样，对于一条生产线往往需要几十个甚至上百个相互独立的真空腔室，可以节省用来进行第二抽气管5与第一抽气管4拆装工作的大量时间，从而大大提高了生产效率，而且也节约了大量的能源，不仅使得生产成本大大降低，而且也有利于环保。
[0011]同时，在抽空的过程中，第一抽气管4和第二抽气管5具有一定的真空度，第二法兰7和第一法兰9的接触面靠大气的压力会越吸越紧，不会产生漏气的问题，这样，很好地解决了目前现有技术的容易漏气的难题。
[0012]以上所揭露的仅为本发明的较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此，依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。
【主权项】
1.一种节能高效真空抽气装置，其特征在于:包括真空腔体、真空腔体盖板、真空泵、第一抽气管和第二抽气管组成，所述真空泵固定在真空腔体盖板上，所述的真空泵与第一抽气管一端连接，第一抽气管和第二抽气管一端都具有与水平面平行的第二法兰和第一法兰，第二法兰水平面与真空腔体上表面平齐或低于真空腔体上表面，当所述的真空腔体盖板盖在真空腔体上时，所述的第一抽气管和第二抽气管在所述的第一和第二法兰处形成气密性连接。2.根据权利要求1所述的真空泵节能高效真空抽气装置，其特征在于所述的第二抽气管通过波纹软管与第二法兰连接，所述的第二法兰沿圆周方向有凹槽，凹槽内放置有密封胶圈，所述的第一年抽气管通过波纹软管与第一法兰连接，当所述的真空腔体盖板盖在真空腔体上时，第二法兰和第一法兰形成气密性连接。
【专利摘要】本发明公开了一种节能高效真空抽气装置，包括真空腔体、真空腔体盖板、真空泵及第一和第二抽气管，所述的真空泵与第一抽气管连接，两抽气管一端都具有与水平面平行的法兰，当所述的真空腔体盖板盖在真空腔体上时，所述的两抽气管在所述的法兰处形成气密性连接；本发明可以节省用来进行两抽气管拆装工作的大量时间，从而大大提高了生产效率，而且也节约了大量的能源，不仅使得生产成本大大降低，提高设备的利用率，而且也有利于环保。
【IPC分类】C23C14/56
【公开号】CN105018895
【申请号】CN201410159345
【发明人】陈闺艳
【申请人】陈闺艳
【公开日】2015年11月4日
【申请日】2014年4月18日