去除材料成第一凹槽31111，辅助铰链件313嵌入第一凹槽31111内与第一铰链座3111同第一铰链轴3112转动；相应地，第二铰链座3121依辅助铰链件313形状去除材料成第二凹槽31211，辅助铰链件313嵌入第二凹槽31211内与第二铰链座3121同第二铰链轴3122转动；值得注意的是，第一凹槽31111与第二凹槽31211开口方向相反，二者的宽度与辅助铰链件313的宽度一致。
[0028]更优选地，第一铰链座3111与第二铰链座3121等高等长，第一铰链座3111与第二铰链座3121不等宽，换言之，第二铰链座3121厚于第一铰链座3111 ;此宽度差可实现在真空镀膜生产线腔室内成真空状态时，避免外界大气压将室门100设有铰链件310的一侧无法密闭均匀，使得整个室门100的关合过程受力更为平均，室门100密封性能好。
[0029]第一凹槽31111设置在第一铰链座3111的中段，同样地，第二凹槽31211设置在第二铰链座3121的中段。
[0030]为了使得整个室门100的关合过程受力更为平均，第一铰链座3111与辅助铰链件313间通过一螺栓固定，且该螺栓与室门100连接，通过该螺栓调整辅助铰链件313，使辅助铰链件313在转动过程中不左右摆动，且在转动过程中，限制室门100随着辅助铰链件313与第一铰链座3111的间隙摆动，而是使室门100随着辅助铰链件313转动，该螺栓优选为沉头螺栓。
[0031]图5为本发明提供的一种真空镀膜生产线用门体结构中紧锁件的一种优选实施方式结构图。如图5所示，紧锁件320包括固定座321、固定元件322和一压紧螺钉323，固定座321通过螺栓固定在镀膜生产线各功能腔室的门框上，固定元件322通过压紧螺钉323活动安装在固定座321上。压紧螺钉323与固定元件322之间活动连接，固定元件322经压紧螺钉323安装在门框上时可旋转。当室门100闭合时，旋转固定元件322，使固定元件322压于室门100上，再经压紧螺钉23进一步压紧固定元件22，实现室门100更加紧贴门框 200。
[0032]固定元件322可采用现有技术中的各种锁片或锁链结构，作为一种优选方案，固定元件322为一去除材料的凸轮状，固定元件322通过一螺钉旋转，当固定元件322去除材料侧与门框200重合时，室门100可打开；当固定元件322未去除材料侧紧贴室门100时，室门100锁紧。
[0033]镀膜生产线各功能腔室需要密封时，将室门100关闭，第一铰链件311与室门100连接，第二铰链件312与门框200连接，辅助铰链件313分别连接第一铰链件311和第二铰链件312，这样第一铰链件311随着室门100运动，辅助铰链件313与第二铰链件312的第二铰链轴3122连接，这样室门100连同辅助铰链件313以第二铰链轴3122为中心旋转，直至室门100关合；当室门100关合后，室门100远离密封组件300的一侧紧贴门框200，而紧贴密封组件300的一侧还留有间隙，推动室门100向靠近门框200的一侧运动，由于辅助铰链件313与第一铰链件311的第一铰链轴3112连接，在推动室门100向靠近门框200的一侧运动过程中，室门100以第一铰链件311的第一铰链轴3112为中心旋转，直至室门100贴合门框200。当室门100贴合门框200后，旋转紧锁件320中的固定元件322，使固定元件322未去除材料侧紧贴室门100，使室门100锁紧。
[0034]最后有必要在此说明的是:以上实施例只用于对本发明的技术方案作进一步详细地说明，不能理解为对本发明保护范围的限制，本领域的技术人员根据本发明的上述内容作出的一些非本质的改进和调整均属于本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种真空镀膜生产线用门体结构，其特征在于:所述门体结构配置于真空镀膜生产线中的各功能腔室，所述门体结构包括室门和门框，所述室门的两侧均与门框活动连接，各功能腔室配置的所述门体机构尺寸及配置各功能腔室的方式均一致。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线用门体结构，其特征在于:所述室门的两侧与门框通过多组密封组件与门框可拆卸活动连接。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线用门体结构，其特征在于:所述室门的两侧与门框通过多组密封组件与门框可拆卸螺接。
4.根据权利要求2所述的真空镀膜生产线用门体结构，其特征在于:室门两侧的密封组件位置对应。
5.根据权利要求2所述的真空镀膜生产线用门体结构，其特征在于:所述密封组件包括铰链件和紧锁件，所述铰链件连接室门与门框，所述室门经铰链件开合，所述紧锁件安装在门框上。
6.根据权利要求5所述的真空镀膜生产线用门体结构，其特征在于:所述铰链件包括第一铰链件、第二铰链件和辅助铰链件，其中所述第一铰链件与室门连接，所述第二铰链件与门框连接，所述辅助铰链件分别连接第一铰链件和第二铰链件；所述第一铰链件包括第一铰链座和第一铰链轴，所述第二铰链件包括第二铰链座和第二铰链轴，所述第一铰链座和辅助铰链件同第一铰链轴转动，所述第二铰链座和辅助铰链件同第二铰链轴转动，且第二铰链座与辅助铰链座间设有轴承。
7.根据权利要求6所述的真空镀膜生产线用门体结构，其特征在于:所述轴承为平面轴承。
8.根据权利要求6所述的真空镀膜生产线用门体结构，其特征在于:所述第一铰链座依辅助铰链件形状去除材料成第一凹槽，所述辅助铰链件嵌入第一凹槽内与第一铰链座同轴转动；相应地，所述第二铰链座依辅助铰链件形状去除材料成第二凹槽，所述辅助铰链件嵌入第二凹槽内与第二铰链座同轴转动；所述第一凹槽与第二凹槽开口方向相反。
9.根据权利要求6所述的真空镀膜生产线用门体结构，其特征在于:第一铰链座与第二铰链座等高等长，第二铰链座与第一铰链座不等宽。
10.根据权利要求6所述的真空镀膜生产线用门体结构，其特征在于:第二铰链座厚于第一铰链座。
【专利摘要】本发明公开了一种真空镀膜生产线用门体结构，该门体机构用于镀膜生产线的各腔室的门，各门体机构尺寸一致，门体左右两侧均能自由开合；室门与门框间通过多组密封组件可拆卸连接，密封组件包括铰链装置和紧锁件。与现有技术相比，本发明中真空镀膜生产线的各腔室门体均采用尺寸一致的门体机构，使得各腔室门体依据镀膜区域工艺可进行随时调整，随时根据两面膜层的结构设计来更换靶门布局适应镀膜要求，使生产线能随时进行升级改进，顺应膜层的发展更新换代，节约生产线成本；门体机构均为活动可拆卸，室门与门框间通过可拆卸的采用双轴结构的密封组件固定，提高镀膜腔室的密封效果，满足镀膜工艺的真空度要求，因此本发明具有广阔的应用前景。
【IPC分类】E06B3-36, E06B7-16, E05D3-02
【公开号】CN104712224
【申请号】CN201310690929
【发明人】黄国兴, 孙桂红, 祝海生, 黄乐, 梁红, 吴永光
【申请人】湘潭宏大真空技术股份有限公司
【公开日】2015年6月17日
【申请日】2013年12月16日