一种固定稳定的智能三坐标检测装置的制作方法

本实用新型涉及半导体检测技术领域，具体为一种固定稳定的智能三坐标检测装置。

背景技术：

三坐标检测是检验工件的一种精密测量方法，广泛应用于机械制造业，汽车工业等现代工业中，三坐标检测就是运用三坐标测量机对工件进行形位公差的检验和测量，判断该工件的误差是不是在公差范围之内，也叫三坐标测量。

半导体越来越多的应用在各个领域中，随之而来的是对半导体零件的精度的高要求和高标准，在精密零件中，半导体的精度影响着其使用性能，现有的半导体零件检测大多用高度测量仪进行测量，主要为检测高度、深度和平面度等，但是随着半导体零件的轮廓面不规则及复杂型面增多，需要通过三坐标检测才能达成检测需求，但是由于零件型面复杂，在检测过程中零件的形状不一，不好夹持，特别是针对一些大型的半导体零件，需要保证其在夹具上被夹持稳定和翻转时稳定性，故提出一种固定稳定的智能三坐标检测装置以解决上述问题。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种固定稳定的智能三坐标检测装置，具备固定稳定的优点，解决了由于零件型面复杂，在检测过程中零件的形状不一，不好夹持，特别是针对一些大型的半导体零件，需要保证其在夹具上被夹持稳定和翻转时稳定性的问题。

(二)技术方案

为实现上述固定稳定的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种固定稳定的智能三坐标检测装置，包括底板，所述底板顶部的正面和背面均固定连接有底部滑轨，所述底板的顶部固定安装有旋转电机，所述底板的顶部固定连接有位于底部滑轨左侧的固定板，所述旋转电机的输出轴固定连接有一端与固定板右侧活动连接的底部螺纹杆，所述底部螺纹杆的外部活动安装有数量为两个的活动块，两个所述活动块的底部固定连接有与底部滑轨滑动连接的底部滑块，所述底板的顶部固定连接有位于两个底部滑轨之间的u型固定架，所述u型固定架的顶部铰接有伸缩杆，所述伸缩杆的顶部固定连接有放置板，所述放置板的底部固定连接有数量为两个且分别位于伸缩杆左右两侧的顶部u型连接架，两个所述活动块的顶部均固定连接有底部u型连接架，两个所述底部u型连接架的顶部均铰接有一端分别与两个顶部u型连接架铰接的连接杆，所述放置板的顶部固定连接有挡板，所述放置板的顶部固定连接有调节仓，所述放置板的顶部固定连接有位于调节仓右侧的支撑板，所述支撑板的右侧活动安装有一端贯穿并延伸至调节仓内部的顶部螺纹杆，所述顶部螺纹杆的左侧活动连接有金属杆，所述调节仓正面的内壁和背面的内壁均固定连接有顶部滑轨，所述金属杆的正面和背面均固定连接有金属板，两个所述金属板相背的一侧均固定连接有与顶部滑轨滑动连接的顶部滑块，所述调节仓的内底壁和内顶壁均固定连接有数量为两个的第一限位条，所述金属杆的左侧固定连接有第三固定块，所述第三固定块的顶部和底部均固定连接有位于两个第一限位条之间的第二限位条，所述第三固定块的正面活动安装有的一端贯穿并延伸至第三固定块背面的运动杆，所述调节仓左侧的内壁固定连接有位于第一限位条背面的第一固定块，所述调节仓左侧的内壁固定连接有位于第一限位条正面的第二固定块，所述第一固定块的右侧活动安装有一端贯穿并延伸至调节仓左侧的第一夹杆，所述第二固定块的右侧活动安装有一端贯穿并延伸至调节仓左侧的第二夹杆。

优选的，两个所述活动块相对的一侧均开设有与底部螺纹杆螺纹连接的第一螺纹通孔，两个所述第一螺纹通孔转向相反。

优选的，所述支撑板的右侧开设有与顶部螺纹杆螺纹连接的第二螺纹通孔，所述第一夹杆和第二夹杆相同且互相对称。

优选的，所述调节仓的右侧开设有与顶部螺纹杆相适配的圆形通孔，两个所述第一限位条之间的距离与第二限位条的宽度相同。

优选的，所述第三固定块的正面开设有与运动杆相适配的第一通孔，所述运动杆的顶部和底部均为斜面。

优选的，所述调节仓的左侧和第一固定块的左侧均开设相互连通且与第一夹杆相适配的第二通孔，所述第一夹杆的右侧为斜面，所述调节仓的左侧和第二固定块的左侧均开设有相互连通且与第二夹杆相适配的第三通孔，所述第二夹杆的右侧为斜面。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种固定稳定的智能三坐标检测装置，具备以下有益效果：

该固定稳定的智能三坐标检测装置，通过启动旋转电机，使螺纹杆转动，通过设置有底部滑块与底部滑轨滑动连接，进一步的限制了活动块的位置，从而使两个活动块可通过底部螺纹杆与第一螺纹通孔螺纹连接而发生相对或相背的运动，进一步的使连接杆运动，使放置板可倾斜稳定的翻转，通过转动顶部螺纹杆，通过设置有顶部滑块与顶部滑轨滑动连接，限制了金属杆的位置，进一步的使顶部螺纹杆可通过与第二螺纹通孔螺纹连接而发生水平运动，进而使金属杆向左侧移动，带动第三固定块移动，又通过设置有两个第一限位条之间的距离与第二限位条的宽度相同，使第三固定块的移动更加的稳定，从而使运动杆对第一夹杆和第二夹杆造成挤压，进而使第一夹杆和第二夹杆对放置挡板右侧的工件进行挤压夹持，当夹持的工件表面不平时，第一夹杆和第二夹杆会适应工件的表面进行调整，进而与工件的表面紧密的贴合，从而使工件被夹持稳定。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型调节仓的俯视剖视图。

图中：1底板、2固定板、3底部u型连接架、4放置板、5挡板、6调节仓、7伸缩杆、8支撑板、9顶部u型连接架、10连接杆、11旋转电机、12底部螺纹杆、13底部滑块、14底部滑轨、15u型固定架、16活动块、17第一夹杆、18第一固定块、19第一限位条、20第三固定块、21顶部滑轨、22金属板、23金属杆、24第二限位条、25顶部滑块、26运动杆、27第二固定块、28第二夹杆、29顶部螺纹杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，一种固定稳定的智能三坐标检测装置，包括底板1，底板1顶部的正面和背面均固定连接有底部滑轨14，底板1的顶部固定安装有旋转电机11，旋转电机11的型号可为y80m1-2，底板1的顶部固定连接有位于底部滑轨14左侧的固定板2，旋转电机11的输出轴固定连接有一端与固定板2右侧活动连接的底部螺纹杆12，底部螺纹杆12的外部活动安装有数量为两个的活动块16，两个活动块16相对的一侧均开设有与底部螺纹杆12螺纹连接的第一螺纹通孔，两个第一螺纹通孔转向相反，两个活动块16的底部固定连接有与底部滑轨14滑动连接的底部滑块13，底板1的顶部固定连接有位于两个底部滑轨14之间的u型固定架15，u型固定架15的顶部铰接有伸缩杆7，伸缩杆7由金属仓和活动杆连接组成，活动杆的一端贯穿并延伸至金属仓的内部，活动杆位于金属仓内部的一端的外侧固定连接有限位环，通过设置有限位环，防止了活动杆与金属仓脱离，金属仓的形状为圆柱形，伸缩杆7的顶部固定连接有放置板4，放置板4的底部固定连接有数量为两个且分别位于伸缩杆7左右两侧的顶部u型连接架9，两个活动块16的顶部均固定连接有底部u型连接架3，两个底部u型连接架3的顶部均铰接有一端分别与两个顶部u型连接架9铰接的连接杆10，通过启动旋转电机11，使螺纹杆12转动，通过设置有底部滑块13与底部滑轨14滑动连接，进一步的限制了活动块16的位置，从而使两个活动块16可通过底部螺纹杆12与第一螺纹通孔螺纹连接而发生相对或相背的运动，进一步的使连接杆10运动，使放置板4可倾斜稳定的翻转，放置板4的顶部固定连接有挡板5，放置板4的顶部固定连接有调节仓6，放置板4的顶部固定连接有位于调节仓6右侧的支撑板8，支撑板8的右侧活动安装有一端贯穿并延伸至调节仓6内部的顶部螺纹杆29，支撑板8的右侧开设有与顶部螺纹杆29螺纹连接的第二螺纹通孔，调节仓6的右侧开设有与顶部螺纹杆29相适配的圆形通孔，顶部螺纹杆29的左侧活动连接有金属杆23，调节仓6正面的内壁和背面的内壁均固定连接有顶部滑轨21，金属杆23的正面和背面均固定连接有金属板22，两个金属板22相背的一侧均固定连接有与顶部滑轨21滑动连接的顶部滑块25，调节仓6的内底壁和内顶壁均固定连接有数量为两个的第一限位条19，金属杆23的左侧固定连接有第三固定块20，第三固定块20的顶部和底部均固定连接有位于两个第一限位条19之间的第二限位条24，两个第一限位条19之间的距离与第二限位条24的宽度相同，第三固定块20的正面活动安装有的一端贯穿并延伸至第三固定块20背面的运动杆26，第三固定块20的正面开设有与运动杆26相适配的第一通孔，运动杆26的顶部和底部均为斜面，调节仓6左侧的内壁固定连接有位于第一限位条19背面的第一固定块18，调节仓6左侧的内壁固定连接有位于第一限位条19正面的第二固定块27，第一固定块18的右侧活动安装有一端贯穿并延伸至调节仓6左侧的第一夹杆17，调节仓6的左侧和第一固定块18的左侧均开设相互连通且与第一夹杆17相适配的第二通孔，第二固定块27的右侧活动安装有一端贯穿并延伸至调节仓6左侧的第二夹杆28，第一夹杆17的右侧为斜面，调节仓6的左侧和第二固定块27的左侧均开设有相互连通且与第二夹杆28相适配的第三通孔，第二夹杆28的右侧为斜面，第一夹杆17和第二夹杆28相同且互相对称，使当遇到工件表面不平时，第一夹杆17和第二夹杆28其中的一个会对运动杆26进行挤压，进而使运动杆26对另一个进行挤压，从而使第一夹杆17和第二夹杆28的左侧不位于同一平面，进而使第一夹杆17和第二夹杆28与工件紧密贴合，通过转动顶部螺纹杆29，通过设置有顶部滑块25与顶部滑轨21滑动连接，限制了金属杆23的位置，进一步的使顶部螺纹杆29可通过与第二螺纹通孔螺纹连接而发生水平运动，进而使金属杆23向左侧移动，带动第三固定块20移动，又通过设置有两个第一限位条19之间的距离与第二限位条24的宽度相同，使第三固定块20的移动更加的稳定，从而使运动杆26对第一夹杆17和第二夹杆28造成挤压，进而使第一夹杆17和第二夹杆28对放置挡板5右侧的工件进行挤压夹持，当夹持的工件表面不平时，第一夹杆17和第二夹杆28会适应工件的表面进行调整，进而与工件的表面紧密的贴合，从而使工件被夹持稳定。

综上所述，该固定稳定的智能三坐标检测装置，通过启动旋转电机11，使螺纹杆12转动，通过设置有底部滑块13与底部滑轨14滑动连接，进一步的限制了活动块16的位置，从而使两个活动块16可通过底部螺纹杆12与第一螺纹通孔螺纹连接而发生相对或相背的运动，进一步的使连接杆10运动，使放置板4可倾斜稳定的翻转，通过转动顶部螺纹杆29，通过设置有顶部滑块25与顶部滑轨21滑动连接，限制了金属杆23的位置，进一步的使顶部螺纹杆29可通过与第二螺纹通孔螺纹连接而发生水平运动，进而使金属杆23向左侧移动，带动第三固定块20移动，又通过设置有两个第一限位条19之间的距离与第二限位条24的宽度相同，使第三固定块20的移动更加的稳定，从而使运动杆26对第一夹杆17和第二夹杆28造成挤压，进而使第一夹杆17和第二夹杆28对放置挡板5右侧的工件进行挤压夹持，当夹持的工件表面不平时，第一夹杆17和第二夹杆28会适应工件的表面进行调整，进而与工件的表面紧密的贴合，从而使工件被夹持稳定，解决了由于零件型面复杂，在检测过程中零件的形状不一，不好夹持，特别是针对一些大型的半导体零件，需要保证其在夹具上被夹持稳定和翻转时稳定性的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。