一种用于半导体成型的石墨夹具的制作方法

本实用新型属于半导体加工技术领域，具体涉及一种用于半导体成型的石墨夹具。

背景技术：

半导体是一种电导率在绝缘体至导体之间的物质，其电导率容易受控制，可作为信息处理的元件材料。从科技或是经济发展的角度来看，半导体非常重要。半导体材料在生产过程中，需要利用夹具对石墨板进行固定，一般的石墨夹具在使用的过程中，其内部的石墨板由于固定不牢容易晃动，影响正常的生产。

因此针对这一现状，迫切需要设计和生产一种用于半导体成型的石墨夹具，以满足实际使用的需要。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体成型的石墨夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体成型的石墨夹具，包括底板、连接件、挤压件和夹持件，所述底板的底端的四角处均固定有防滑垫，所述底板的两侧均固定有连接件，所述底板的顶端固定有两组滑动组件，两组所述滑动组件的顶端均与多孔板连接；

所述多孔板的顶端固定有两组挤压件和两组夹持件，所述多孔板的顶端固定有若干组胶条，若干组胶条的顶端均构造有防滑槽。

优选的，所述连接件包括锁紧螺栓、胶垫和外壳，所述外壳的一侧构造有凹槽，所述外壳远离凹槽的一侧一体成型有两组挡板，两组所述挡板上均开设有两组通孔，所述外壳的顶端开设有两组与竖直的锁紧螺栓适配的螺孔，所述外壳的顶端和内壁均固定有两组与锁紧螺栓适配的螺帽，两组所述锁紧螺栓的底端均固定有胶垫，所述外壳的内部的底端固定有防护垫。

优选的，所述滑动组件包括支腿、限位螺栓和滑轨，所述支腿构造为t型，所述滑轨的顶端构造有与支腿适配的滑槽，所述滑轨的一侧开设有与水平的限位螺栓适配的螺孔，所述支腿靠近限位螺栓的一侧开设有若干组与限位螺栓适配的调节槽。

优选的，所述挤压件包括连接板、螺杆和螺纹套筒，所述连接板为z型，所述连接板的顶端开设有与竖直的螺杆适配的螺孔，所述螺杆的顶端固定有旋钮，所述连接板的顶端固定有与螺杆适配的螺纹套筒，所述螺杆的底端固定有卡板。

优选的，所述夹持件包括手轮、挡块和丝杆，所述挡块的两侧均一体成型有连接块，两组连接块上均开设有通孔，所述挡块上开设有与水平的丝杆适配的螺孔，所述丝杆远离胶条的一端固定有手轮，所述丝杆远离手轮的一端固定有卡块，所述挡块的两侧均固定有与丝杆适配的螺帽。

本实用新型的技术效果和优点：该用于半导体成型的石墨夹具，外壳能够卡在设备上，旋转锁紧螺栓，锁紧螺栓带动胶垫下移，使胶垫紧贴设备，提高了底板的稳定性；将石墨板置于两组卡板下，摇动两组手轮，两组手轮带动两组丝杆旋转，两组丝杆推动两组卡块水平移动，能够夹紧不同尺寸的石墨板，防止石墨板水平移动，旋转螺杆，使卡板紧贴石墨板的顶端，防止石墨板上下晃动；滑动支腿，将限位螺栓的端部旋入支腿侧壁的调节槽，能够对支腿进行固定，并且能够根据加工设备的位置对多孔板顶端的石墨板进行调节，利于加工，该用于半导体成型的石墨夹具，能够固定不同尺寸的石墨板，提高了石墨板的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的连接件的侧视图；

图3为本实用新型的挤压件的结构示意图。

图中：1底板、2连接件、20挡板、21锁紧螺栓、22胶垫、23外壳、24防护垫、3滑动组件、30支腿、31限位螺栓、32滑轨、4多孔板、5挤压件、50连接板、51螺杆、52螺纹套筒、53卡板、6夹持件、60手轮、61挡块、62丝杆、63卡块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

除非单独定义指出的方向外，本文涉及的上、下、左、右、前、后、内和外等方向均是以本实用新型所示的图中的上、下、左、右、前、后、内和外等方向为准，在此一并说明。

本实用新型提供了如图1-3所示的一种用于半导体成型的石墨夹具，包括底板1、连接件2、挤压件5和夹持件6，所述底板1的底端的四角处均粘接有防滑垫，所述底板1的两侧均通过螺栓固定有连接件2，所述底板1的顶端焊接有两组滑动组件3，两组所述滑动组件3的顶端均与多孔板4焊接；

所述多孔板4的顶端通过螺栓连接有两组挤压件5和两组夹持件6，所述多孔板4的顶端粘接有若干组胶条，若干组胶条的顶端均构造有防滑槽。

具体的，所述连接件2包括锁紧螺栓21、胶垫22和外壳23，所述外壳23的一侧构造有凹槽，所述外壳23远离凹槽的一侧一体成型有两组挡板20，两组所述挡板20上均开设有两组通孔，两组挡板20能够卡住底板1，所述外壳23的顶端开设有两组与竖直的锁紧螺栓21适配的螺孔，所述外壳23的顶端和内壁均焊接有两组与锁紧螺栓21适配的螺帽，提高了锁紧螺栓21的稳定性，两组所述锁紧螺栓21的底端均粘接有胶垫22，所述外壳23的内部的底端粘接有防护垫24，外壳23能够卡在设备上，旋转锁紧螺栓21，锁紧螺栓21带动胶垫22下移，能够使胶垫22紧贴设备，提高了底板1的稳定性。

具体的，所述滑动组件3包括支腿30、限位螺栓31和滑轨32，所述支腿30构造为t型，所述滑轨32的顶端构造有与支腿30适配的滑槽，所述滑轨32的一侧开设有与水平的限位螺栓31适配的螺孔，所述支腿30靠近限位螺栓31的一侧开设有若干组与限位螺栓31适配的调节槽，滑动支腿30，将限位螺栓31的端部旋入支腿30侧壁的调节槽，能够对支腿30进行固定，从而根据加工设备的位置对多孔板4顶端的石墨板进行调节，利于加工。

具体的，所述挤压件5包括连接板50、螺杆51和螺纹套筒52，所述连接板50为z型，所述连接板50的顶端开设有与竖直的螺杆51适配的螺孔，所述螺杆51的顶端焊接有旋钮，所述连接板50的顶端焊接有与螺杆51适配的螺纹套筒52，所述螺杆51的底端粘接有橡胶材质的卡板53，旋转螺杆51，使卡板53紧贴石墨板的顶端，能够防止石墨板上下晃动。

具体的，所述夹持件6包括手轮60、挡块61和丝杆62，所述挡块61的两侧均一体成型有连接块，两组连接块上均开设有通孔，所述挡块61上开设有与水平的丝杆62适配的螺孔，所述丝杆62远离胶条的一端焊接有手轮60，所述丝杆62远离手轮60的一端粘接有卡块63，所述挡块61的两侧均焊接有与丝杆62适配的螺帽，摇动两组手轮60，两组手轮60带动两组丝杆62旋转，两组丝杆62推动两组卡块63水平移动，能够夹紧不同尺寸的石墨板，防止石墨板水平移动。

工作原理，该用于半导体成型的石墨夹具，外壳23能够卡在设备上，旋转锁紧螺栓21，锁紧螺栓21带动胶垫22下移，使胶垫22紧贴设备，提高了底板1的稳定性，摇动两组手轮60，两组手轮60带动两组丝杆62旋转，两组丝杆62推动两组卡块63水平移动，能够夹紧不同尺寸的石墨板，防止石墨板水平移动，旋转螺杆51，使卡板53紧贴石墨板的顶端，能够防止石墨板上下晃动，滑动支腿30，将限位螺栓31的端部旋入支腿30侧壁的调节槽，能够对支腿30进行固定，从而根据加工设备的位置对多孔板4顶端的石墨板进行调节，利于加工。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。