一种真空热台夹具的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型属于微组装关键工艺设备
【背景技术】
[0002]热台是微组装键合、烧结等工艺过程的主要设备模块，热台主要实现两个功能:加热与装夹。现有热台通过挡块与可调夹片组合实现对被加热对象的装夹，装夹时，弹性挡块与可调夹片之间形成夹持力以夹紧对象。但部分被加热对象材质较软，夹持力易带来变形；部分被加热对象厚度很薄，夹持面积过小，易松动。针对以上两类夹持对象，工艺设备配置热台无法实现理想的装夹，需向相关单位定制热台。
【发明内容】
[0003]发明的目的
[0004]提出在热台上应用真空夹具的方案，解决了软性材质及薄板类工件在热台上的装夹问题，且装夹方便，夹紧力均匀，扩大了热台夹具夹持对象的范围。
[0005]针对现有结构形式的热台，仅需更改转接安装板，便可以使用该真空夹具，使真空夹具模块具有较大的通用性。
[0006]技术方案
[0007]—种真空热台夹具，包括真空吸盘面板101、导热垫102、0型密封圈103、挡板104、管接头105、转接板106，热台加热底座107;真空夹具包括真空吸盘面板101、导热垫102、0型密封圈103、挡板104、管接头105，其中挡板104与转接板106通过螺钉连接在一起;真空吸盘面板101、0型密封圈103、导热垫102与挡板104通过螺钉连接在一起;管接头105通过软管与真空栗连接，软管上安装有两位三通阀，用于抽真空与进气两种状态切换;转接板106与热台加热底座107通过螺钉连接在一起;真空夹具通过转接板106在热台上安装；
[0008]所述的挡板104上有网格状O型密封圈103安装槽，可根据不同夹持对象选用不同密封圈长度及安装槽。
[0009]所述真空夹具可通过更换转接板106以适应不同热台安装结构形式。
[0010]所述管接头105位于挡板104下方，避免热台移动过程中软管影响操作。
[0011]O型密封圈103填充在真空吸盘面板101与挡板104之间，形成密封腔体。导热垫102填充在真空吸盘面板101与挡板104之间，消除真空吸盘面板101与挡板104之间的间隙，增强导热性。管接头105通过软管与真空栗连接，软管与真空栗之间接有两位三通阀，实现抽真空与进气状态切换。O型密封圈103采用全氟橡胶耐高温材料，可以实现300°C以下的加热温度需求。真空夹具通过转接板106在热台上安装，真空夹具与转接板106之间通过螺钉相连，转接板106与热台之间的连接方式由热台预留安装方式决定。真空吸盘面板101、挡板104、转接板106之间接触面的平面均为0.03mm，保证传热性能。
[0012]发明创造的优点和用途
[0013]该真空夹具将真空吸附方式应用在热台上，扩大了夹持对象的范围，优点表现在以下几个方面:
[0014]I真空夹具与加热模块之间使用螺钉连接，可拆卸；
[0015]2夹持对象广泛，夹持对象不受材料材质、厚度尺寸限制；
[0016]3夹紧力均匀分布在夹持对象上，减小夹紧力带来的变形；
[0017]4通过使用不同长度的密封圈，即可调整真空夹具吸附面积，夹持对象大小及外形不受限制；
[0018]5通过更改转接板的结构形式即可将真空夹具应用到其它类型热台上，真空夹具具有通用性；
【附图说明】
[0019]图1真空热台夹具结构形式示意图
【具体实施方式】
[0020]如图1所示为真空热台夹具结构形式示意图，包括真空吸盘面板101、导热垫102、0型密封圈103、挡板104、管接头105、转接板106，热台加热底座107。
[0021 ]所述真空夹具模块的安装步骤为:转接板106与热台加热底座107通过螺钉连接在一起;挡板104与转接板106通过螺钉连接在一起;O型密封圈103、导热垫102、真空吸盘面板11、挡板104通过螺钉连接在一起。
[0022]所述的导热垫102位于真空吸盘面板101与挡板104之间，消除真空吸盘面板101与挡板104之间的安装空隙，保证导热性能。
[0023]所述的挡板104上有网格状O型密封圈103安装槽，根据不同夹持对象大小选用不同密封圈长度及安装槽。
[0024]所述真空夹具模块可通过更换转接板106以适应不同热台安装结构形式。
[0025]所述管接头105位于挡板104下方，避免热台移动过程中软管影响操作。
[0026]所述管接头105通过软管与真空栗相连，软管上安装有两位三通阀，用于抽真空与进气两种状态切换。
【主权项】
1.一种真空热台夹具，包括真空吸盘面板(101)、导热垫(102)、0型密封圈(103)、挡板(104)、管接头(105)、转接板(106)，热台加热底座(107);其特征在于:真空夹具包括真空吸盘面板(101)、导热垫(102)、0型密封圈(103)、挡板(104)、管接头(105)，其中挡板(104)与转接板(106)通过螺钉连接在一起;真空吸盘面板(101)、0型密封圈(103)、导热垫(102)与挡板(104)通过螺钉连接在一起;管接头(105)通过软管与真空栗连接;真空夹具通过转接板(106)在热台加热底座(107)上安装。2.如权利要求1所述的真空热台夹具，其特征在于:所述的挡板(104)上有网格状O型密封圈(103)安装槽，可根据不同夹持对象选用不同密封圈长度及安装槽。3.如权利要求1所述的真空热台夹具，其特征在于:所述真空夹具可通过更换转接板(106)以适应不同安装结构形式热台。4.如权利要求1所述的真空热台夹具，其特征在于:所述管接头(105)位于挡板(104)下方，减小热台移动过程中软管影响操作。5.如权利要求1所述的真空热台夹具，其特征在于:所述管接头(105)通过软管与真空栗相连，软管上安装有两位三通阀，用于抽真空与进气两种状态之间切换。
【专利摘要】本实用新型一种真空热台夹具，包括真空吸盘面板(101)、导热垫(102)、O型密封圈(103)、挡板(104)、管接头(105)、转接板(106)，热台加热底座(107)；其特征在于：真空夹具包括真空吸盘面板(101)、导热垫(102)、O型密封圈(103)、挡板(104)、管接头(105)，其中挡板(104)与转接板(106)通过螺钉连接在一起；真空吸盘面板(101)、O型密封圈(103)、导热垫(102)与挡板(104)通过螺钉连接在一起；管接头(105)通过软管与真空泵连接；真空夹具通过转接板(106)在热台上安装；转接板(106)与热台加热底座模块(107)通过螺钉连接在一起。该真空热台夹具将真空吸附方式应用在热台上，扩大了夹持对象的范围。
【IPC分类】B25B11/00
【公开号】CN205201367
【申请号】CN201521029785
【发明人】代海洋, 李宁, 张群力
【申请人】中国航空工业集团公司雷华电子技术研究所
【公开日】2016年5月4日
【申请日】2015年12月11日