专利名称：一种带通滤光片的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光学薄膜滤光片领域，特别涉及20nm带宽以上的带通干涉滤光 片的设计和制作。
背景技术：
众所周知，干涉滤光片是种类多、结构复杂的一种光学薄膜，其主要功能是分割光 谱带。最常见的干涉滤光片包括截止滤光片和带通滤光片。截止滤光片可以把光谱区分成 两部分，一部分不允许光通过的称为截止区，另一部分要求光充分通过的称为带通区。其 中，按照通带在光谱区的位置又可分为长波通和短波通二种。 带通滤光片的传统制作方法是采用直接监控模式，即监控片同时也是产品，这样 才能获得良好的光谱特性。 然而，目前国内外很多镀膜设备并不配备直接监控的光学系统，在镀制带通滤光 片时存在一定的局限性，成品率较低。
实用新型内容鉴于现有技术中存在的上述问题，本实用新型的发明目的在于提供一种带通滤光
片，其可以利用配备间接监控光学系统的镀膜设备普遍适合于镀制干涉截止滤光片的特
点，利用长波通和短波通干涉截止膜系进行叠加，可以获得良好的光谱特性。 为了实现本实用新型的上述目的，本实用新型提供了一种带通滤光片，所述带通
滤光片的膜系结构为:(HL)—m H. 5L(HL)—n. 5H，其中，m， n为整数，H为高折射率材料，L为低
折射率材料。 根据本实用新型的技术构思，其中所述m为l，n为1。 根据本实用新型的技术构思，其中所述m为2，n为2。 根据本实用新型的技术构思，其中所述m为3，n为3。 根据本实用新型的技术构思，其中所述m为4， n为4。 根据本实用新型的技术构思，其中所述高折射率材料为1102，低折射率材料为 Si02。 与现有技术相比，本实用新型具有的优点和有益效果在于，本实用新型可以通过 设计软件进行优化获得合适的带宽和峰值透过率等，并通过长波通和短波通截止膜系来构 造带宽20nm以上的带通滤光片，降低了带通滤光片对光学监控系统的要求，能够普遍的在 镀膜设备上实现，并可以获得好的光谱特性。
图1为本实用新型带通滤光片第 图2为本实用新型带通滤光片第 图3为本实用新型带通滤光片第
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一优选实施例的横截面示意图 二优选实施例的横截面示意图 三优选实施例的横截面示意图[0016] 图4为本实用新型带通滤光片第四优选实施例的横截面示意图。
具体实施方式
下面将结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步说明。 参见图1至图4，本实用新型提供了一种带通滤光片，所述带通滤光片的膜系结构 为(HL)—m H,5L(HL)—n.5H，其中，m，n为整数，H为高折射率材料，L为低折射率材料。其中， m和n的数值可以通过设计软件进行优化以获得合适的带宽和峰值透过率。 图1示出了本实用新型带通滤光片第一优选实施例的横截面示意图。在第一优选 实施例中，膜系结构中的m为l，n为1。如图l所示，根据本实用新型带通滤光片第一优选 实施例的膜系结构包括按顺序排列的1层高折射率材料、1层低折射率材料、1层高折射率 材料、5层低折射率材料、1层高折射率材料、1层低折射率材料和5层高折射率材料。 图2示出了本实用新型带通滤光片第二优选实施例的横截面示意图。在第二优选 实施例中，膜系结构中的m为2，n为2。如图2所示，根据本实用新型带通滤光片第二优选 实施例的膜系结构包括按顺序排列的1层高折射率材料、1层低折射率材料、1层高折射率 材料、1层低折射率材料、1层高折射率材料、5层低折射率材料、1层高折射率材料、1层低折 射率材料、1层高折射率材料、1层低折射率材料和5层高折射率材料。 图3示出了本实用新型带通滤光片第三优选实施例的横截面示意图。在第三优选 实施例中，膜系结构中的m为3，n为3。如图3所示，根据本实用新型带通滤光片第三优选 实施例的膜系结构包括按顺序排列的1层高折射率材料、1层低折射率材料、1层高折射率 材料、1层低折射率材料、1层高折射率材料、1层低折射率材料、1层高折射率材料、5层低 折射率材料、1层高折射率材料、1层低折射率材料、1层高折射率材料、1层低折射率材料、1 层高折射率材料、1层低折射率材料和5层高折射率材料。 图4示出了本实用新型带通滤光片第四优选实施例的横截面示意图。在第四优选 实施例中，膜系结构中的m为4，n为4。如图4所示，根据本实用新型带通滤光片第四优选 实施例的膜系结构包括按顺序排列的1层高折射率材料、1层低折射率材料、1层高折射率 材料、1层低折射率材料、1层高折射率材料、1层低折射率材料、1层高折射率材料、1层低 折射率材料、1层高折射率材料、5层低折射率材料、1层高折射率材料、1层低折射率材料、 1层高折射率材料、1层低折射率材料、1层高折射率材料、1层低折射率材料、1层高折射率 材料、1层低折射率材料和5层高折射率材料。 根据本实用新型的优选方案，本实用新型的带通滤光片中所使用的高折射率材料 可以为1102，低折射率材料可以为Si02。 要注意的是，虽然图1至图4中示出的是m和n可以分别为1、2、3或者4，但是本 实用新型并不以此为限，而是可以根据实际情况进行调整。 以上所述的仅为本实用新型的较佳可行实施例，所述实施例并非用以限制本实用 新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变 化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。
权利要求一种带通滤光片，其特征在于，所述带通滤光片的膜系结构为(HL)^m H.5L(HL)^n.5H，其中，m，n为整数，H为高折射率材料，L为低折射率材料。
2. 根据权利要求l所述的带通滤光片，其特征在于，所述m为l，n为1。
3. 根据权利要求1所述的带通滤光片，其特征在于，所述m为2， n为2。
4. 根据权利要求1所述的带通滤光片，其特征在于，所述m为3， n为3。
5. 根据权利要求1所述的带通滤光片，其特征在于，所述m为4， n为4。
6. 根据权利要求1所述的带通滤光片，其特征在于，所述高折射率材料为Ti(^，低折射 率材料为Si02。
专利摘要本实用新型公开了一种带通滤光片，所述带通滤光片的基本膜系结构为(HL)^mH.5L(HL)^n.5H，其中，m，n为整数，H为高折射率材料，L为低折射率材料。本实用新型利用配备间接监控光学系统的镀膜设备普遍适合于镀制干涉截止滤光片的特点，利用长波通和短波通干涉截止膜系进行叠加，可以获得良好的光谱特性。
文档编号B32B17/06GK201440173SQ200920109518
公开日2010年4月21日 申请日期2009年6月30日 优先权日2009年6月30日
发明者马志亮 申请人:北京京仪博电光学技术有限责任公司