101s2的被卡紧的部分1lal以及片状件101的第二区域101s2的被卡紧的部分101a2是与片状件101的第二区域101s2中的、与片状件101的第一区域1lsl的相邻的两个角部对应的部分。
[0065]在以下说明中，有时将片状件101的第二区域101s2的被卡紧的部分1lal称作第一角部lOlal，将片状件101的第二区域101s2的被卡紧的部分101a2称作第二角部
101a2o
[0066]第一锥状部IlOtl配置在与片状件101的第一角部1lal重叠的位置。第二锥状部110t2配置在与片状件101的第二角部101a2重叠的位置。
[0067]第一锥状部IlOtl以及第二锥状部110t2分别通过倾斜切除吸附工作台110的角部而形成。由此，例如，对于尺寸小的面板103，在吸附工作台110的前端侧(形成有锥状部I1t的一侧)设置面板103，对于尺寸大的面板103，在吸附工作台110的后端侧(未形成锥状部IlOt的一侧)设置面板103，由此能够将第一角部1lal以及第二角部101a2的从第一锥状部IlOtl以及第二锥状部110t2伸出的伸出量设为恒定量。S卩，即便是尺寸不同的面板，也能够以使伸出量为恒定量的方式应对各种尺寸的面板。
[0068]需要说明的是，在将面板103配置于吸附工作台110时，从以使伸出量为恒定量的方式提高面板103的位置精度的观点出发，能够在面板103的搬运路径或者吸附工作台110的上方设置照相机。例如，通过使照相机识别标注在面板103上的对准标记，检测面板103的姿态，一边观察面板的位置一边将面板103配置于吸附工作台110，由此能够使伸出量为恒定量。
[0069]返回图1，工作台移动装置112使吸附工作台110沿着与吸附面IlOs平行的第一方向Vl移动。工作台移动装置112具有沿着第一方向Vl延伸配置的引导轨113、以及能够沿着引导轨113移动的移动部114。吸附工作台110安装在移动部114的与引导轨113侦J相反的一侧。
[0070]以下，对第一卡紧部121的结构进行说明。需要说明的是，省略对具有与第一卡紧部121相同的结构的第二卡紧部122的结构的说明。
[0071]第一卡紧部121能够利用机械力卡紧片状件101的第二区域101s2。第一卡紧部121卡紧片状件101的第一角部lOlal。第二卡紧部122卡紧片状件101的第二角部101a2。第一卡紧部121具备第一把持部123、第二把持部124、以及活塞缸筒机构125。在活塞缸筒机构125上连接有第一^^紧部121的电源电缆126。
[0072]第一把持部123呈L字状，具有片状件支承部123a与柱部123b。片状件支承部123a支承片状件101的第二区域101s2的一面。片状件支承部123a与第二把持部124对置地配置。在柱部123b的一面上安装有活塞缸筒机构125，在柱部123b的另一面上安装有第一敲击部131 (活塞缸筒机构134)。
[0073]第二把持部124与活塞缸筒机构125连结。活塞缸筒机构125将第二把持部124保持为滑动自如。具体而言，活塞缸筒机构125使第二把持部124沿着与吸附面IlOs垂直的第二方向V2(吸附面IlOs的法线方向)移动。
[0074]图4是示出第一^^紧部121打开的状态的立体图。
[0075]图5是示出第一^^紧部121关闭的状态的立体图。
[0076]如图4所示，活塞缸筒机构125在第一^^紧部121卡紧片状件101的第二区域101s2前的初始状态下，使第二把持部124沿着第二方向V2向上方移动。于是，第一把持部123与第二把持部124分离地配置。由此，第一卡紧部121在卡紧片状件101的第二区域101s2前的初始状态下，成为打开状态，以便能够卡紧片状件101的第二区域101s2。
[0077]如图5所示，活塞缸筒机构125在第一^^紧部121卡紧片状件101的第二区域101s2时，使第二把持部124沿着第二方向V2向下方移动。于是，片状件支承部123a与第二把持部124接近地配置。由此，第一卡紧部121成为关闭装置，以便将片状件101的第二区域101s2卡紧。
[0078]这样，活塞缸筒机构125调整第一卡紧部121卡紧片状件101的第二区域101s2前的打开状态、以及第一^^紧部121卡紧片状件101的第二区域101s2时的关闭状态。
[0079]接下来，对第一敲击部131的结构进行说明。需要说明的是，省略对具有与第一敲击部131相同的结构的第二敲击部132的结构的说明。
[0080]返回图1，第一敲击部131能够利用机械力从上方敲击片状件101的第二区域101s2o第一敲击部131敲击片状件101的第二区域101s2中的位于第一角部1lal与第二角部101a2之间的部分。第一敲击部131在解除了第一卡紧部121对片状件101的第二区域101s2的卡紧的状态下，从上方敲击通过粘着层102而附着于第一卡紧部121的片状件101的第二区域101s2，由此使片状件101的第二区域101s2与第一卡紧部121分离。
[0081]第一敲击部131具备剥离部133以及活塞缸筒机构134。在活塞缸筒机构134上连接有第一敲击部131的电源电缆135。
[0082]剥离部133呈矩形框状。剥离部133的俯视尺寸比片状件支承部123a的俯视尺寸大。剥离部133与活塞缸筒机构134连结。例如，能够使用金属丝作为剥离部133。
[0083]活塞缸筒机构134将剥离部133保持为滑动自如。具体而言，活塞缸筒机构134使剥离部133沿着第二方向V2移动。
[0084]图6是示出剥离部133位于上方的状态的立体图。
[0085]图7是示出剥离部133位于下方的状态的立体图。
[0086]如图6所示，活塞缸筒机构134在第一敲击部131敲击片状件101的第二区域101s2前的初始状态下，使剥离部133沿着第二方向V2向上方移动。于是，剥离部133配置于比片状件支承部123a靠上方的位置。由此，剥离部133在敲击片状件101的第二区域101s2前的初始状态下，成为位于上方的状态，以便能够从上方敲击片状件101的第二区域
101s2o
[0087]如图7所示，活塞缸筒机构134在第一敲击部131敲击片状件101的第二区域101s2时，使剥离部133沿着第二方向V2向下方移动。于是，剥离部133配置于比片状件支承部123a靠下方的位置。由此，剥离部133成为位于下方的状态，以便敲击片状件101的第二区域101s2。
[0088]这样，活塞缸筒机构134调整第一敲击部131敲击片状件101的第二区域101s2前的剥离部133位于上方的状态、以及第一敲击部131敲击片状件101的第二区域101s2后的剥离部133位于下方的状态。
[0089]返回图1，移动装置140使卡紧部120以及敲击部130双方沿着第二方向V2移动。移动装置140在利用卡紧部120夹紧片状件101的第二区域101s2的状态下使卡紧部120沿着第二方向V2向上方移动，从而使片状件101的第二区域101s2从片状件101的第一区域1lsl剥离。
[0090]需要说明的是，在本实施方式中，通过利用移动装置140使卡紧部120沿着第二方向V2向上方移动，由此使片状件101的第二区域101s2从片状件101的第一区域1lsl剥离，但不限于此。例如，也可以使吸附工作台I1沿着第二方向V2向下方移动，由此使片状件101的第二区域101s2从片状件101的第一区域1lsl剥离。S卩，只要是通过使卡紧部120与吸附工作台110在第二方向V2上相对移动而使片状件101的第二区域101s2从片状件101的第一区域1lsl剥离的结构即可。
[0091]移动装置140具有能够通过致动器等动力部(未图示)沿着第二方向V2移动的臂部141、以及沿着第二方向V2延伸配置的柱部142。在臂部141的一端侧(吸附面IlOs侧)安装有卡紧部120以及敲击部130双方。臂部141的另一端侧安装于柱部142。
[0092]图8?图11是剥离装置100进行的剥离动作的说明图。
[0093]图8是示出利用卡紧部120卡紧片状件101的第二区域101s2的状态的俯视图。
[0094]图9是示出利用卡紧部120卡紧片状件101的第二区域101s2的状态的侧视图。
[0095]图10是示出使片状件101的第二区域101s2从第一区域1lsl剥离的移动装置140的动作的侧视图。
[0096]图11是示出从上方敲击片状件101的第二区域101s2的敲击部130的动作的侧视图。
[0097]如图8所示，卡紧部120卡紧片状件101的第二区域101s2中的、与片状件101的第一区域1lsl的相邻的两个角部对应的部分。第一卡紧部121卡紧片状件101的第一角部lOlal。第二卡紧部122卡紧片状件101的第二角部101a2。
[0098]具体而言，在卡紧部120卡紧片状件101的第二区域101s2时，如图9所示，活塞缸筒机构125使第二把持部124沿着第二方向V2向下方移动。于是，片状件支承部123a与第二把持部124接近地配置。由此，卡紧部120成为关闭状态，以便卡紧片状件101的第二区域 101s2o
[0099]片状件101以及粘着层102被片状件支承部123a与第二把持部124夹住。此时，片状件支承部123a与粘着层102的一面(与片状件101相反侧的面)接触。第二把持部124与片状件101的一面(与粘着层102相反侧的面)接触。
[0100]剥离部133在敲击片状件101的第二区域101s2前的初始状态下配置于比片状件101靠上方的位置。
[0101]返回图8，剥离部133的四个角部中的一个角部133a配置于片状件101的第二区域101s2中的第一角部1lal与第二角部101a2之间的中央部分。剥尚部133从上方敲击片状件101的第二区域101s2中的第一角部1lal与第二角部101a2之间的中央部分。
[0102]如图10所示，移动装置140 (参照图1)在通过卡紧部120卡紧片状件101的第二区域101s2的状态下使卡紧部120沿着第二方向V2向上方移动。由此，使片状件101的第二区域101s2从片状件101的第一区域1lsl剥离。
[0103]如图11所示，活塞缸筒机构125使第二把持部124沿着第二方向V2向上方移动。于是，片状件支承部123a与第二把持部124分离地配置。由此，成为解除了第一卡紧部121对片状件101的第二区域101s2的卡紧的状态。
[0104]活塞缸筒机构134在解除了第一卡紧部121对片状件101的第二区域101s2的卡紧的状态下，使剥离部133沿着第二方向V2向下方移动。于是，通过剥离部133从上方敲击利用粘着层102附着于卡紧部120的片状件101的第二区域101s2中的、第一角部1lal与第二角部101a2之间的中央部分。由此，片状件101的第二区域101s2从卡紧部120分离。从卡紧部120分离后的片状件101的第二区域101s2被回收部160回收。
[0105]如以上说明那样，根据本实施方式的剥离装置100，通过使片状件101的第二区域101s2沿着第二方向V2向上方移动而从片状件101的第一区域1lsl剥离，由此能够以较弱的力从第一区域1lsl剥离第二区域101s2。由此，能够抑制在剥离时第二区域101s2的一部分被撕掉的情况，能够不使第二区域101s2的剥离中断地将第二区域101s2从第一区域1lsl不间断地连续剥离。因此，能够提供在可缩小显示区域周边的边框部并实现显示区域的扩大以及设备的小型化的光学显示器件的生产系统中能够采用的剥离装置100。
[0106]另外，敲击部130在解除了卡紧部120对片状件101的第二区域101s2的卡紧的状态下，从上方敲击利用粘着层102附着于卡紧部120的片状件101的第二区域101s2，由此使片状件101的第二区域101s2从卡紧部120分离，因此，能够抑制在剥离时