母基底材料、膜形成区域的配设方法、滤色器的制造方法

专利名称：母基底材料、膜形成区域的配设方法、滤色器的制造方法
技术领域：
本发明涉及具有多个膜形成区域的母基底材料、母基底材料中的膜形 成区域的配设方法、以及具备具有滤色膜的滤色区域的滤色器的制造方 法。
背景技术：
以往以来，作为形成彩色液晶装置的滤色器膜等功能膜的技术，知道 使用有将液状体作为液滴喷出的液滴喷出头的液滴喷出装置，喷出包含功 能膜的材料的液状体的液滴，命中基板上的任意位置，由此在该位置配置 液状体，使配置的液状体干燥，形成功能膜的技术。由于这样的膜的形成 中使用的液滴喷出装置的液滴喷出头能从其喷嘴有选择地喷出微小的液 滴，位置精度良好地命中，所以能形成具有精密的平面形状和膜厚的膜。
专利文献l中记载的喷墨线头将喷出头在主扫描方向排列配置，提高 副扫描方向的喷出喷嘴的密度。即通过减小副扫描方向的喷出喷嘴的间 隔，减小喷出的液状体的间隔，实现副扫描方向的描画分辨率高的线头。
主扫描方向的描画分辨率由用主扫描方向的喷出喷嘴和描画对象物 的相对移动速度和喷出液状体的喷出频率决定的喷出间隔(以下，标记为
"喷出分辨率")决定。在专利文献2中描述通过调节喷出分辨率，能够 对描画对象物的被描画区域实现适当的描画分辨率的液滴喷出方法。 [专利文献l]特开平IO-I66574号公报 [专利文献2]特开2006-130469号公报
可是，为了使用所述专利文献中记载的装置或方法在基板上以高精度 配置液状体，在实施喷出之前，对于液滴喷出装置有必要精度良好地将基 板定位来设置。
作为定位，进行用于确定液滴喷出装置中设定的喷出喷嘴或基板的位 置的坐标系的基板的基准点的位置的检测、和使用于规定基板的被喷出区
8域的位置的坐标系的坐标轴的方向与液滴喷出装置的坐标系的坐标轴的 方向一致的方向调整。在方向调整中使用在垂直于液滴喷出装置和基板的 坐标系的轴的绕轴方向能使基板转动的转动装置。将设置的基板移动到与 液滴喷出头相对的位置，配置液状体时，使液滴喷出头和基板相对移动。
一般，为了使可动装置可动，如果微观地观察，不会使可动装置变为 完全的固定状态。由于转动状态也不变为完全的固定状态，所以由转动装 置调整坐标轴方向的基板在调整结束之后，有可能产生坐标轴方向的微小 的偏移。由于在垂直于基板的坐标系的轴的围绕轴方向偏移，具有喷出的 液状体在基板上的命中位置有可能从给定的位置，虽然微小，但是偏移的 问题。在近年制造的高精细的显示装置的制造中，由于微小的位置偏移对 形成的膜的形状精度带来影响，有可能影响制品的性能。此外，为了制造 的效率化，使用大型化的基板，对液滴喷出装置的基板的方向偏移对命中 位置的位置偏移带来的影响增大。

发明内容
本发明是为了解决所述课题的至少一部分而提出的，能作为以下的形 态或应用例实现。本应用例的母基底材料具有多个包含1以上的膜形成分区 的膜形成区域，包括具有第一膜形成分区的第一膜形成区域；具有比第 一膜形成分区的膜的形成面积更小的第二膜形成分区的第二膜形成区域； 在所述母基底材料被设置在配置膜材料时使用的配置装置中的状态下，在 所述第--膜形成区域更靠近所述配置装置中具有的转动装置的转动中心 的位置配置所述第二膜形成区域。
根据该母基底材料，在母基底材料设置在配置装置中的状态下，在比 具有第-"膜形成分区的第一膜形成区域更靠近转动装置的转动中心的位 置配置具有膜的形成面积比第一膜形成分区更小的第二膜形成分区的第 二膜形成区域。
在转动装置中发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母基底材 料，越离转动中心远，位置偏移量越大。即使是相同的位置偏移量，膜形 成分区的尺寸越小，配置的膜材料的一部分越从膜形成分区偏离，膜材料的配置状态受到影响的可能性增大。在靠近转动中心的位置配设具有膜的 形成面积比第一膜形成分区更小的第二膜形成分区的第二膜形成区域，由 此能抑制由于转动装置的转动方向的偏移引起的位置偏移为原因的膜材 料的配置状态受到影响。在所述应用例的母基底材料中，所述配置装置具有配置所 述膜材料的配置头、使所述配置头和所述母基底材料在主扫描方向相对移 动的相对移动装置；所述第一膜形成分区在所述主扫描方向的宽度是第一 宽度，所述第二膜形成分区在所述主扫描方向的宽度是比所述第一宽度更 小的第二宽度；在所述母基底材料被设置在所述配置装置中的状态下，在
与所述主扫描方向大致iE交的副扫描方向，所述第二膜形成区域配设在比
所述第- -膜形成区域更靠近所述转动中心的位置。
根据该母基底材料，膜形成分区的主扫描方向的宽度是第二宽度的第 二膜形成区域在母基底材料被设置在配置装置中的状态下，与膜形成分区 的主扫描方向的宽度比第二宽度更大的第一宽度的第一膜形成区域相比， 在副扫描方向，配置在靠近转动装置的转动中心的位置。
在转动装置中发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母基底材 料中，在副扫描方向，越离转动中心远的位置，主扫描方向的位置偏移量 越大。
即使是相同的位置偏移量，膜形成分区的宽度越小，配置的膜材料的 一部分越从膜形成分区偏离，膜材料的配置状态受到影响的可能性增大。 通过将膜形成分区的主扫描方向的宽度比第一膜形成区域更小的第二膜 形成区域配设在副扫描方向，靠近转动中心的位置，从而能抑制由于转动 装置的转动方向的偏移引起的位置偏移为原因的膜材料的配置状态受到 影响。在所述应用例的母基底材料中，所述配置装置具有配置所
述膜材料的配置头、使所述配置头和所述母基底材料在主扫描方向相对移
动的相对移动装置；所述第一膜形成分区在与所述主扫描方向大致正交的 副扫描方向的宽度是第三宽度，所述第二膜形成分区在所述副扫描方向的 宽度是比所述第三宽度更小的第四宽度；在所述母基底材料被设置在所述 配置装置中的状态下，在所述主扫描方向，所述第二膜形成区域配置在比
10所述第一膜形成区域更靠近所述转动中心的位置。根据该母基底材料，膜形成分区的副扫描方向的宽度是第四宽度的第 二膜形成区域在母基底材料被设置在配置装置中的状态下，与膜形成分区 的副扫描方向的宽度比第四宽度更大的第三宽度的第一膜形成区域相比， 在主扫描方向，配设在靠近转动装置的转动中心的位置。在转动装置中发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母基底材 料中，在主扫描方向，越离转动中心远的位置，副扫描方向的位置偏移量 越大。即使是相同的位置偏移量，膜形成分区的宽度越小，配置的膜材料的 一部分越从膜形成分区偏离，膜材料的配置状态受到影响的可能性增大。 通过将膜形成分区的副扫描方向的宽度比第一膜形成区域更小的第二膜 形成区域配置在主扫描方向，靠近转动中心的位置，能抑制由于转动装置 的转动方向的偏移引起的位置偏移，膜材料的配置状态受到影响。[应用例4]在所述应用例的母基底材料中，所述第二膜形成区域配置 在比所述第一膜形成区域更靠近所述母基底材料的中央的位置。根据该母基底材料，通过在比第--膜形成区域更靠近母基底材料的中 央的位置配置第二膜形成区域，在母基底材料的中央与转动中心大致重叠 的状态下，在配置装置安装母基底材料，能使第二膜形成区域位于比第一 膜形成区域更靠近转动中心的位置。通过变为母基底材料的中央与转动中 心大致重叠的状态，能将从转动中心到母基底材料的各部分的距离的最大 值变为最小。在发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母基底材料 中，越离转动中心远的位置，位置偏移量越大，所以通过将从转动中心到 母基底材料的各部分的距离的最大值变为最小，能减小转动方向的偏移引 起的位置偏移量的最大值的大小。[应用例5]是所述应用例的母基底材料，所述母基底材料具有在所述 主扫描方向排列多个所述第一膜形成区域的第一区域列、在所述主扫描方 向排列多个所述第二膜形成区域的第二区域列；在所述母基底材料被设置在所述配置装置中的状态下，所述第二区域列在所述副扫描方向配设在比 所述第一区域列更靠近所述转动中心的位置。根据该母基底材料，第一区域列和第二区域列将相同的第一膜形成区域或第二膜形成区域在主扫描方向相连。因此，在一次的主扫描方向的相 对移动中，在与在相同的第一膜形成区域或第二膜形成区域中配置膜材料 对应的一定驱动条件下驱动各配置头，能实施膜材料的配置。[应用例6]在所述应用例的母基底材料中，所述第二区域列配置在比 所述第一区域列更靠近所述母基底材料的中央的位置。根据该母基底材料，在比第一区域列更靠近母基底材料的中央的位置 配设第二区域列，从而能在比第一膜形成区域更靠近母基底材料的中央的 位置配设第二膜形成区域。据此，在母基底材料的中央与转动中心大致重 叠的状态下，在配置装置安装母基底材料，能使第二膜形成区域位于比第 一膜形成区域更靠近转动中心的位置。通过变为母基底材料的中央与转动 中心大致重叠的状态，能将从转动中心到母基底材料的各部分的距离的最 大值变为最小。在发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母基底材 料中，越离转动中心远的位置，位置偏移量越大，所以通过将从转动中心 到母基底材料的各部分的距离的最大值变为最小，能减小转动方向的偏移 引起的位置偏移量的最大值的大小。[应用例7]在所述应用例的母基底材料中，所述母基底材料具有在所 述副扫描方向排列多个所述第一膜形成区域的第三区域列、在所述副扫描方向排列多个所述第二膜形成区域的第四区域列；在所述母基底材料被设置在所述配置装置中的状态下，所述第四区域列在所述主扫描方向配设在 比所述第三区域列更靠近所述转动中心的位置。根据该母基底材料，第三区域列和第四区域列将相同的第一膜形成区 域或第二膜形成区域在副扫描方向连接。因此，在与在相同的第一膜形成 区域或第二膜形成区域中配置膜材料对应的相同的驱动条件下驱动在副 扫描方向排列的多个配置头，能实施膜材料的配置。由于驱动条件均一， 主扫描方向的相对移动的速度在副扫描方向上排列的多个配置头中是共 有的，所以能抑制由于与相对移动的速度慢的配置头一致为原因作业时间增加。[应用例8]在所述应用例的母基底材料中，所述第四区域列配设在比所述第三区域列更靠近所述母基底材料的中央的位置。根据该母基底材料，通过在比第三区域列更靠近母基底材料的中央的位置配设第四区域列，能在比第一膜形成区域更靠近母基底材料的中央的 位置配设第二膜形成区域。据此，母基底材料的中央与转动中心大致重叠 的状态下，在配置装置安装母基底材料，由此能使第二膜形成区域位于比 第一膜形成区域更靠近转动中心的位置。通过变为母基底材料的中央与转 动中心大致重叠的状态，能将从转动中心到母基底材料的各部分的距离的 最大值变为最小。由于在发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母 基底材料中，越离转动中心远的位置，位置偏移量越大，所以通过将从转 动中心到母基底材料的各部分的距离的最大值变为最小，能减小转动方向 的偏移引起的位置偏移量的最大值的大小。[应用例9]一种膜形成区域的配设方法，用于具有多个包含1以上的 膜形成分区的膜形成区域的母基底材料，所述母基底材料包含具有第一膜 形成分区的第一膜形成区域、具有比所述第一膜形成分区的膜的形成面积 更小的第二膜形成分区的第二膜形成区域；在配置膜材料时使用的配置装 置中设置所述母基底材料的状态下，在比所述第一膜形成区域更近所述配 置装置中具有的转动装置的转动中心的位置配置所述第二膜形成区域。根据该膜形成区域的配设方法，在母基底材料被设置在配置装置中的 状态下，在比具有第一膜形成分区的第一膜形成区域更靠近转动装置的转 动中心的位置配设具有膜的形成面积比第一膜形成分区更小的第二膜形 成分区的第二膜形成区域。在转动装置中发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母基底材 料，越离转动中心远，位置偏移量越大。即使是相同的位置偏移量，膜形 成分区的尺寸越小，配置的膜材料的一部分越从膜形成分区偏移，膜材料 的配置状态受到影响的可能性增大。在靠近转动中心的位置配置具有膜的 形成面积比第一膜形成分区更小的第二膜形成分区的第二膜形成区域，能 抑制由于转动装置的转动方向的偏移引起的位置偏移位移膜材料的配置 状态受到影响。[应用例IO]在所述应用例的膜形成区域的配设方法中，所述配置装置 使配置所述膜材料的配置头和所述母基底材料在主扫描方向一边相对移 动， 一边配置所述膜材料；所述第一膜形成分区在所述主扫描方向的宽度 是第一宽度，所述第二膜形成分区在所述主扫描方向的宽度是比所述第一宽度更小的第二宽度；在所述母基底材料被设置在所述配置装置中的状态 下，在与所述主扫描方向大致正交的副扫描方向，在比所述第一膜形成区 域更靠近所述转动中心的位置配置所述第二膜形成区域。根据该膜形成区域的配设方法，膜形成分区的主扫描方向的宽度是第 二宽度的第二膜形成区域在母基底材料被设置在配置装置中的状态下，与 膜形成分区的主扫描方向的宽度比第二宽度更大的第一宽度的第一膜形 成区域相比，在副扫描方向，配置在靠近转动装置的转动中心的位置。在转动装置中发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母基底材 料中，在副扫描方向，越离转动中心远的位置，主扫描方向的位置偏移量 越大。即使是相同的位置偏移量，膜形成分区的宽度越小，配置的膜材料的 一部分越从膜形成分区偏移，膜材料的配置状态受到影响的可能性增大。 通过将膜形成分区的主扫描方向的宽度是比第一膜形成区域更小的第二 膜形成区域配设在副扫描方向，靠近转动中心的位置，能抑制由于转动装 置的转动方向的偏移引起的位置偏移，膜材料的配置状态受到影响。[应用例U]在所述应用例的膜形成区域的配设方法中，所述配置装置 使配置所述膜材料的配置头和所述母基底材料在主扫描方向一边相对移 动， 一边配置所述膜材料；所述第一膜形成分区在与所述主扫描方向正交 的副扫描方向的宽度是第三宽度，所述第二膜形成分区在所述副扫描方向的宽度是比所述第三宽度更小的第四宽度；在所述母基底材料被设置在所述配置装置中的状态下，在所述主扫描方向，在比所述第一膜形成区域更 靠近所述转动中心的位置配置所述第二膜形成区域。根据该膜形成区域的配设方法，膜形成分区的副扫描方向的宽度是第 四宽度的第二膜形成区域在母基底材料被设置在配置装置中的状态下，与 膜形成分区的副扫描方向的宽度比第四宽度更大的第三宽度的第一膜形 成区域相比，在主扫描方向，配设在靠近转动装置的转动中心的位置。在转动装置中发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母基底材 料中，在主扫描方向，越离转动中心远的位置，副扫描方向的位置偏移量 越大。即使是相同的位置偏移量，膜形成分区的宽度越小，配置的膜材料的一部分越从膜形成分区偏离，膜材料的配置状态受到影响的可能性增大。 通过将膜形成分区的副扫描方向的宽度是比第一膜形成区域更小的第二 膜形成区域配设在主扫描方向，靠近转动中心的位置，能抑制由于转动装 置的转动方向的偏移引起的位置偏移，膜材料的配置状态受到影响。在所述应用例的膜形成区域的配设方法中，在比所述第 一膜形成区域更靠近所述母基底材料的中央的位置配设所述第二膜形成 区域。
根据该膜形成区域的配设方法，通过在比第-膜形成区域更靠近母基 底材料的中央的位置配置第二膜形成区域，在母基底材料的中央与转动中 心大致重叠的状态下，在配置装置安装母基底材料，能使第二膜形成区域 位于比第一膜形成区域更靠近转动中心的位置。通过变为母基底材料的中 央与转动中心大致重叠的状态，能将从转动中心到母基底材料的各部分的 距离的最大值变为最小。由于在发生转动方向的偏移时，在由转动装置转 动的母基底材料中，越离转动中心远的位置，位置偏移量越大，所以通过 将从转动中心到母基底材料的各部分的距离的最大值变为最小，能减小转 动方向的偏移引起的位置偏移量的最大值的大小。在所述应用例的膜形成区域的配设方法中，所述母基底 材料具有在所述主扫描方向排列多个所述第一膜形成区域的第一区域列、 在所述主扫描方向排列多个所述第二膜形成区域的第二区域列；在所述母 基底材料被设置在所述配置装置中的状态下，在所述副扫描方向，在比所 述第一区域列更靠近所述转动中心的位置配设所述第二区域列。
根据该膜形成区域的配设方法，第一区域列和第二区域列将相同的第 一膜形成区域或第二膜形成区域在主扫描方向相连。因此，在一次的主扫 描方向的相对移动中，在与在相同的第一膜形成区域或第二膜形成区域中 配置膜材料对应的一定驱动条件下驱动各配置头，能实施膜材料的配置。在所述应用例的膜形成区域的配设方法中，在比所述第
一区域列更靠近所述母基底材料的中央的位置配设所述第二区域列。
根据该膜形成区域的配设方法，在比第-一区域列更靠近母基底材料的 中央的位置配置第二区域列，从而能在比第一膜形成区域更靠近母基底材 料的中央的位置配置第二膜形成区域。据此，在母基底材料的中央与转动中心大致重叠的状态下，在配置装置安装母基底材料，能使第二膜形成区 域位于比第一膜形成区域更靠近转动中心的位置。通过变为母基底材料的 中央与转动中心大致重叠的状态，能将从转动中心到母基底材料的各部分 的距离的最大值变为最小。在发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动 的母基底材料中，越离转动中心远的位置，位置偏移量越大，所以通过将 从转动中心到母基底材料的各部分的距离的最大值变为最小，能减小转动 方向的偏移引起的位置偏移量的最大值的大小。在所述应用例的膜形成区域的配设方法中，所述母基底 材料具有在所述副扫描方向排列多个所述第一膜形成区域的第三区域列、 在所述副扫描方向排列多个所述第二膜形成区域的第四区域列；在所述母 基底材料被设置在所述配置装置中的状态下，在所述主扫描方向，在比所 述第三区域列更靠近所述转动中心的位置配设所述第四区域列。
根据该膜形成区域的配设方法，第三区域列和第四区域列将相同的第 一膜形成区域或第二膜形成区域在副扫描方向相连。因此，在与在相同的 第一膜形成区域或第二膜形成区域中配置膜材料对应的一定驱动条件下 驱动在副扫描方向排列的多个配置头，能实施膜材料的配置。驱动条件均 一，主扫描方向的相对移动的速度在副扫描方向上排列的多个配置头中是 共有的，所以能抑制由于与相对移动的速度慢的配置头一致，作业时间增 加。在所述应用例的膜形成区域的配设方法中，在比所述第
.三区域列更靠近所述母基底材料的中央的位置配置所述第四区域列。
根据该膜形成区域的配设方法，通过在比第三区域列更靠近母基底材 料的中央的位置配置第四区域列，能在比第一膜形成区域更靠近母基底材 料的中央的位置配置第二膜形成区域。据此，母基底材料的中央与转动中 心大致重叠的状态下，在配置装置安装母基底材料，能使第二膜形成区域 位于比第一膜形成区域更靠近转动中心的位置。通过变为母基底材料的中 央与转动中心大致重叠的状态，能将从转动中心到母基底材料的各部分的 距离的最大值变为最小。在发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的 母基底材料中，越离转动中心远的位置，位置偏移量越大，所以通过将从 转动中心到母基底材料的各部分的距离的最大值变为最小，能减小转动方
16向的偏移引起的位置偏移量的最大值的大小。本应用例的滤色器的制造方法对于包含具有1以上的色要 素区域的用于形成滤色区域的多个滤色器的母基板，在所述色要素区域形 成色要素膜，所述母基板包含具有第一色要素区域的第一滤色区域、具有 比所述第一滤色区域的所述色要素膜的形成区域更小的第二色要素区域 的第二滤色区域；在所述母基板被设置在配置色要素膜材料时使用的配置
装置中的状态下，在对于所述配置装置中具有的转动装置的转动中心，比 所述第一滤色区域更靠近的位置配置所述第二滤色区域，在该第一滤色区 域和第二滤色区域各自的所述色要素区域，使用所述配置装置配置色要素 膜材料。
根据该滤色器的制造方法，在母基板被设置在配置装置中的状态下， 在比具有第一色要素区域的第一色要素区域更靠近转动装置的转动中心 的位置配设具有色要素膜的形成面积比第一色要素区域更小的第二色要 素区域的第二滤色区域。
在转动装置中发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母基板， 越离转动中心远，位置偏移量越大。即使是相同的位置偏移量，色要素区 域的尺寸越小，配置的色要素膜材料的一部分越从色要素区域偏离，色要 素膜材料的配置状态受到影响的可能性增大。在比具有第一色要素区域的 第一滤色区域更靠近转动中心的位置配置具有色要素膜的形成面积比第 一色要素区域更小的第二色要素区域的第二滤色区域，能抑制由于转动装 置的转动方向的偏移弓i起的位置偏移，膜材料的配置状态受到影响。在所述应用例的滤色器的制造方法中，所述配置装置一边
使用于配置所述色要素膜材料的配置头和所述母基板在主扫描方向移动，
一边配置所述色要素膜材料；所述第一色要素区域在所述主扫描方向的宽 度是第一宽度，所述第二色要素区域在所述主扫描方向的宽度是比所述第 一宽度更小的第二宽度；在所述母基板被设置在所述配置装置中的状态 下，在与所述主扫描方向大致正交的副扫描方向，所述在比所述第一滤色 区域更靠近所述转动中心的位置配设所述第二滤色区域。
根据该滤色器的制造方法，色要素区域的主扫描方向的宽度是第二宽 度的第二滤色区域在母基板被设置在配置装置中的状态下，与色要素区域的主扫描方向的宽度比第二宽度更大的第一宽度的第一滤色区域相比，在 副扫描方向，配置在靠近转动装置的转动中心的位置。
在转动装置中发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母基板 中，在副扫描方向，越离转动中心远的位置，主扫描方向的位置偏移量越 大。
即使是相同的位置偏移量，色要素区域的宽度越小，配置的色要素膜 材料的一部分越从色要素区域偏离，色要素膜材料的配置状态受到影响的 可能性增大。通过将色要素区域的主扫描方向的宽度比第一滤色区域更小 的第二滤色区域配置在副扫描方向，靠近转动中心的位置，能抑制由于转 动装置的转动方向的偏移引起的位置偏移，色要素膜材料的配置状态受到 影响。在所述应用例的滤色器的制造方法中，所述配置装置一
边使用于配置所述色要素膜材料的配置头和所述母基板在主扫描方向移
动， 一边配置所述色要素膜材料；所述第一色要素区域在所述色要素区域 的与所述主扫描方向大致正交的副扫描方向的宽度是第三宽度，所述第二 色要素区域在所述副扫描方向的宽度是比所述第一宽度更小的第四宽度； 在所述母基板设置在所述配置装置中的状态下，在所述主扫描方向，在比 所述第一滤色区域更靠近所述转动中心的位置配置所述第二滤色区域。
根据该滤色器的制造方法，色要素区域的副扫描方向的宽度是第四宽 度的第二滤色区域在母基板被设置在配置装置中的状态下，与色要素区域 的副扫描方向的宽度比第四宽度更大的第三宽度的第一滤色区域相比，在 主扫描方向，配设在靠近转动装置的转动中心的位置。
在转动装置中发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母基板 中，在主扫描方向，越离转动中心远的位置，副扫描方向的位置偏移量越
即使是相同的位置偏移量，色要素区域的宽度越小，配置的色要素膜 材料的一部分越从色要素区域偏移等，色要素膜材料的配置状态受到影响 的可能性增大。通过将色要素区域的副扫描方向的宽度是比第一滤色区域 更小的第二滤色区域配置在主扫描方向，靠近转动中心的位置，能抑制由 于转动装置的转动方向的偏移引起的位置偏移，色要素膜材料的配置状态受到影响。在所述应用例的滤色器的制造方法中，在比所述第一滤色区域更靠近所述母基板的中央的位置配设所述第二滤色区域。
根据该滤色器的制造方法，通过在比第一滤色区域更靠近母基板的中央的位置配置第二滤色区域，在母基板的中央与转动中心大致重叠的状态下，在配置装置安装母基板，能使第二滤色区域位于比第一滤色区域更靠近转动中心的位置。通过变为母基板的中央与转动中心大致重叠的状态，能将从转动中心到母基板的各部分的距离的最大值变为最小。在发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母基板中，越离转动中心远的位置，位置偏移量越大，所以通过将从转动中心到母基板的各部分的距离的最大值变为最小，能减小转动方向的偏移引起的位置偏移量的最大值的大小。在所述应用例的滤色器的制造方法中，所述母基板具有在所述主扫描方向排列多个所述第一滤色区域的第一滤色区域列、在所述
主扫描方向排列多个所述第二滤色区域的第二滤色区域列；在所述母基板
设置在所述配置装置中的状态下，在所述副扫描方向，在比所述第一滤色区域列更靠近所述转动中心的位置配置所述第二滤色区域列。
根据该滤色器的制造方法，第一滤色区域列和第二滤色区域列将相同的第一滤色区域或第二滤色区域在主扫描方向相连。因此，在一次的主扫描方向的相对移动中，在与在相同的第一滤色区域或第二滤色区域中配置色要素膜材料对应的一定驱动条件下驱动各配置头，能实施色要素膜材料的配置。在所述应用例的滤色器的制造方法中，在比所述第一滤
色区域列更靠近所述母基板的中央的位置配置所述第二滤色区域列。
根据该滤色器的制造方法，在比第一滤色区域列更靠近母基板的中央的位置配置第二滤色区域列，从而能在比第一滤色区域更靠近母基板的中央的位置配置第二滤色区域。据此，在母基板的中央与转动中心大致重叠的状态下，在配置装置安装母基板，能使第二滤色区域位于比第一滤色区域更靠近转动中心的位置。通过变为母基板的中央与转动中心大致重叠的状态，能将从转动中心到母基板的各部分的距离的最大值变为最小。在发生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母基板中，越离转动中心远的
19位置，位置偏移量越大，所以通过将从转动中心到母基板的各部分的距离 的最大值变为最小，能减小转动方向的偏移引起的位置偏移量的最大值的 大小。在所述应用例的滤色器的制造方法中，所述母基板具有 在所述副扫描方向排列多个所述第一滤色区域的第三滤色区域列、在所述
副扫描方向排列多个所述第二滤色区域的第四滤色区域列；在所述母基板
被设置在所述配置装置中的状态下，在所述主扫描方向，在比所述第三滤 色区域列更靠近所述转动中心的位置配置所述第四滤色区域列。
根据该滤色器的制造方法，第三滤色区域列和第四滤色区域列将相同 的第一滤色区域或第二滤色区域在副扫描方向相连。因此，在与在相同的 第一滤色区域或第二滤色区域中配置色要素膜材料对应的一定驱动条件 下驱动在副扫描方向排列的多个配置头，能实施色要素膜材料的配置。由 于驱动条件均一，主扫描方向的相对移动的速度在副扫描方向上排列的多 个配置头中是共有的，所以能抑制由于与相对移动的速度慢的配置头一 致，作业时间增加。在所述应用例的滤色器的制造方法中，在比所述第三滤色 区域列更靠近所述母基板的中央的位置配设所述第四滤色区域列。
根据该滤色器的制造方法，通过在比第三滤色区域列更靠近母基板的 中央的位置配设第四滤色区域列，能在比第一滤色区域更靠近母基板的中 央的位置配置第二滤色区域。据此，在母基板的中央与转动中心大致重叠 的状态下，在配置装置安装母基板，能使第二滤色区域位于比第一滤色区 域更靠近转动中心的位置。通过变为母基板的中央与转动中心大致重叠的 状态，能将从转动中心到母基板的各部分的距离的最大值变为最小。在发 生转动方向的偏移时，在由转动装置转动的母基板中，越离转动中心远的 位置，位置偏移量越大，所以通过将从转动中心到母基板的各部分的距离 的最大值变为最小，能减小转动方向的偏移引起的位置偏移量的最大值的 大小。


图1是表示液滴喷出装置的概略结构的平面图。 图2是表示液滴喷出装置的概略结构的侧视图。
图3 (a)是表示液滴喷出头的概要的外观立体图。(b)是表示头单
元的概略结构的平面图。
图4是表示液滴喷出装置的电结构的电结构框图。 图5是表示液滴喷出头的电结构和信号流的说明图。 图6是表示液晶显示面板的结构的分解立体图。
图7 (a)是示意表示对置基板的平面构造的平面图，(b)是示意地
表示母对置基板的平面构造的平面图。
图8是表示3色滤色器的滤色膜的排列例的示意平面图。
图9是表示形成液晶显示面板的过程的程序流程图。
图10是表示形成液晶显示面板的过程中的形成滤色膜的步骤等的剖视图。
图11是表示形成液晶显示面板的过程中的形成定向膜的步骤等的剖 视图。
图12是表示滤色膜区域的形状和命中对象区域的关系的说明图。 图13是表示配置功能液的步骤的程序流程图。 图14是表示安放在工件安放台上，进行e调整的状态的母对置基板 的说明图。
图15是表示安放在工件安放台上，进行e调整的状态的母对置基板
的说明图。
图16是表示安放在工件安放台上，进行e调整的状态的母对置基板 的说明图。
图17是表示安放在工件安放台上，进行e调整的状态的母对置基板
的说明图。
图18是表示安放在工件安放台上，进行e调整的状态的母对置基板
的说明图。
图19是表示安放在工件安放台上，进行e调整的状态的母对置基板 的说朋图。
符号的说明。
21l一液滴喷出装置；2—喷出单元；3—工件单元；6—喷出装置控制部;
17—液滴喷出头；21、 321—工件安放台；31—吸附台；32、 332— 9台； 32a、 332a—转动中心；54—头单元；78—喷出喷嘴；80—图像识别单元; 81—对齐相机(alignment camera) ; 81a—拍摄区域；82—相机移动机构； 200—液晶显示面板；201、 401—玻璃基板；201A、 201B、 201C、 301A、 401A、 401B—母对置基板；205、 405—滤色膜；208、 308、 408—CF层； 208a、 308a、 208v、 408a—CF层区域；208A、 408A—CF层列；208B、 208C、 208D、 208E、 408B、 408C—CF区域列；210—元件基板;220、 420 一对置基板；225、 225B、 225G、 225R、 225v、 325、 425—滤色膜区域； 225E、 425E—命中对象区域;225h、 425h—纵向尺寸;225w、 425w—横 向尺寸；225x、 425x—横向尺寸；225y、 425y—纵向尺寸；281—对齐标 记；532—9驱动电动机。
具体实施例方式
以下，参照附图，说明母基底材料、膜形成区域的配设方法、滤色器 的制造方法的适合的实施例。实施例是母基底材料的一个例子，使用划分 形成具有构成液晶显示装置的滤色器的基板的母基板、作为配置装置的液 滴喷出装置，来形成构成滤色器的色要素膜(滤色膜)等的步骤为例，进 行说明。另外，在以下的说明中参照的附图中，为了便于图示，有时将构 件或部分的纵横的缩小比例尺与实际不同地表示。
<液滴喷出法>
最初，说明滤色膜等功能膜的形成中使用的液滴喷出法。液滴喷出法 具有在材料的使用上浪费较少，而且能在所希望的位置准确地配置所希望 量的材料的优点。作为液滴喷出法的喷出技术，列举带电控制方式、加压 振动方式、电机械变换方式、电热变换方式、静电吸引方式等。
其中，电机械变换方式利用压电元件接受到脉冲的电信号，变形的性 质，压电元件变形，由此通过可形变物质对贮存材料的空间提供压力，从 该空间押出材料，从喷嘴喷出。由于压电方式对液状材料不加热，所以对 材料的组成等不带来影响，通过调整驱动电压，具有能容易调整液滴的尺 寸的特点。在本实施例中，为了对材料的组成等不带来影响，液状材料的
22选择自由度高，为了容易调整液滴的尺寸，液滴的控制性好，所以使用所 述压电方式。
<液滴喷出装置>
下面，参照图1和图2，说明液滴喷出装置1的全体结构。图1是表 示液滴喷出装置的概略结构的平面图。图2是表示液滴喷出装置的概略结 构的侧视图。
如图1或图2所示，液滴喷出装置1具备具有液滴喷出头17 (参照 图3 (a)的喷出单元2;工件单元3;供液单元3 (参照图4);检查单元；
维护单元和喷出装置控制部6 (参照图4)。
喷出单元2具有12个将相当于膜材料或色要素材料的液状体即功能 液作为液滴喷出的液滴喷出头17，具有用于使该液滴喷出头17在Y轴方 向移动，并且在在移动的位置保持的Y轴台12。工件单元3具有安放从 液滴喷出头17喷出的液滴的喷出对象即工件W的工件安放台21。供液单 元60具有贮存功能液的贮存容器(省略图示)，向液滴喷出头17供给功 能液。检査单元4具有用于检査来自液滴喷出头17的喷出状态的喷出检 查单元18和重量测定单元19，在重量测定单元19并设冲洗单元14。维 护单元5具有进行液滴喷出头17的维护的吸引单元15和擦拭单元16。
喷出装置控制部6集中地控制各单元。喷出装置控制部6控制各单元， 实施使用重量测定单元19、喷出单元2、喷出检查单元18或者维护单元5 等实施的重量测定处理、描画处理、喷出检查处理、维护处理等。
液滴喷出装置1具有在石底板上支撑的X轴支撑底座1A，各单元等 配置在X轴支撑底座1A之上。X轴台11在成为主扫描方向的X轴方向 延伸，配置在X轴支撑底座1A之上，使工件安放台21在X轴方向(主 扫描方向)移动。
喷出单元2的Y轴台12配置在通过多个支柱7A跨X轴台ll架设的 一对Y轴支撑底座7、 7之上，在成为副扫描方向的Y轴方向延伸。喷出 单元2具有包含12个液滴喷出头17的滑架单元51。滑架单元51吊设在 桥板52上。桥板52通过Y轴滑块(省略图示)，在Y轴台12上，可自 由滑动地在Y轴方向被支撑。Y轴台12使桥板52 (滑架单元51)在Y 轴方向(副扫描方向)移动。与X轴台11以及Y轴台12的驱动同步，使喷出单元2的液滴喷出
头17喷出驱动，使功能液滴喷出，由此对安放在工件安放台21上的工件
w描画任意的描画图案。
喷出检査单元18具有检查描画单元161、摄像单元162。检查描画单 元161固定在X轴第二滑块23上，与同样固定在X轴第二滑块23上的 重量测定单元19和冲洗单元14 一体地移动地构成。摄像单元162具有2 个检查相机163、将检査相机163在Y轴方向可自由滑动地支撑的相机移 动机构164。
维护单元5具有的吸引单元15和擦拭单元16配设在从X轴台11偏 离，并且通过Y轴台12滑架单元51能移动的位置所配设的架台8之上。 吸引单元15具有多个分割吸引单元141，吸引液滴喷出头17，从液滴喷 出头17的喷出喷嘴78 (参照图3 (a))强制地排出功能液。擦拭单元16 具有将进行了洗净液喷雾的擦拭薄片151，擦去吸引后的液滴喷出头17 的喷嘴形成面76a (参照图3 (a)(进行擦拭)。这样，吸引单元15和 擦拭单元16实施用于实现喷出单元2的液滴喷出头17的功能维持或功能 恢复的维护作业。
X轴台11具有X轴第一滑块22、 X轴第二滑块23、左右一对的X 轴线性电动机26、 26、 一对X轴公共支撑底座24、 24。
在X轴第一滑块22安装有工件安放台21。 X轴第一滑块22于在X 轴方向延伸的X轴公共支撑底座24上，在X轴方向可自由滑动地被支撑。 在X轴第二滑块23安装检查描画单元161、重量测定单元19、冲洗单元 14。 X轴第二滑块23于在X轴方向延伸的X轴公共支撑底座24上，在X 轴方向可自由滑动地被支撑。将X轴线性电动机26并设在X轴公共支撑 底座24上，沿着X轴公共支撑底座24使X轴第一滑块22或X轴第二滑 块23移动，从而使工件安放台21 (安装在工件安放台21上的工件W) 或重量测定单元19等在X轴方向移动。X轴第一滑块22和X轴第二滑 块23能由X轴线性电动机26个别驱动。X轴方向相当于主扫描方向，Y
轴方向相当于副扫描方向。 -
工件安放台21具有吸附设置工件W的吸附台31;支撑吸附台31，
用于将在吸附台31上设置的工件w的位置在e轴方向进行e修正的e台32。 6台32具有8驱动电动机532，由该e驱动电动机532驱动。吸附台 31通过e台32，围绕通过图1中作为双点划线的交点表示的e台32的转 动中心32a的Z轴方向的轴(e方向)转动。e台32相当于转动装置， 转动中心32a相当于转动中心。
图l和图2中的工件安放台21的位置成为用于进行工件W的供给取 出的供给取出位置，将未处理的工件W向吸附台31导入(供给)时，或 回收(取出)处理完毕的工件W时，使吸附台31移动到该位置。在该供 给取出位置，用机械手(省略图示)，进行工件W对吸附台31的搬入和 搬出(更换)。使用e台32，在供给取出位置实施对吸附台31供给的未 处理的工件W的对齐。
图像识别单元80具有2台对齐相机81、相机移动机构82。相机移动 机构82在X轴支撑底座1A之上，在Y轴方向延伸，跨X轴台11地配 设。对齐相机81通过相机支架(省略图示)，在相机移动机构82上，在 Y轴方向可自由滑动地被支撑。在相机移动机构82上支撑的对齐相机81 从上侧面对X轴台11，能对在X轴台11上的工件安放台21上安放的工 件W的各基准标记(对齐标记)(参照图7)进行图像识别。2台对齐相 机81通过相机移动电动机(省略图示)，分别独立在Y轴方向移动。
各对齐相机81与工件安放台21的向X轴方向的移动联动， 一边用相 机移动机构82在Y轴方向移动， 一边拍摄所述机械手供给的各种工件W 的对齐标记，实施各种工件W的图像识别。然后，根据对齐相机81的拍 摄结果，实施基于e台32的工件W的e修正(对齐)。
Y轴台12具有一对Y轴滑块(省略图示)、 一对Y轴线性电动机(省 略图示)。 一对Y轴线性电动机分别设置在所述的一对Y轴支撑底座7、 7上，在Y轴方向延伸。 一对Y轴滑块分别在一对Y轴支撑底座7、 7上， 各一个，可自由滑动地被支撑。 一对在Y轴支撑底座7、 7的每一个分别 支撑的各1个Y轴滑块构成的1组Y轴滑块跨装支撑固定构成喷出单元2 的滑架单元51的桥板52。固定构成喷出单元2的滑架单元51的桥板52 通过跨装支撑桥板52的一对Y轴滑块，设置在一对Y轴支撑底座7、 7 上。
如果(同步)驱动一对Y轴线性电动机，各Y轴滑块将一对Y轴支撑底座7、 7作为引导，同时在Y轴方向平行移动。据此，桥板52在Y 轴方向移动，吊设在桥板52上的滑架单元51在Y轴方向移动。
滑架单元51具有包含12个液滴喷出头17、将12个液滴喷出头17 每6个划分为2群来支撑的滑架板53 (参照图3 (b))的头单元54 (参 照图3 (b))。头单元54通过头升降机构(省略图示)在Z轴方向可自 由升降地被支撑。
<液滴喷出头和头单元>
下面，参照图3，说明液滴喷出头17和头单元54。图3是表示液滴 喷出头和头单元的概要的图。图3 (a)是表示液滴喷出头的概要的外观立 体图。(b)是表示头单元的概略结构的平面图。
<液滴喷出头的结构>
如图3 (a)所示，液滴喷出头17是所谓的双排式的，包含具有双排 式的连接针71、 72的液体导入部71、与液体导入部71相连的方形的头主 体74、从液体导入部71和头主体74之间向侧方突出的头基板73。
头主体74具有与液体导入部71相连的泵部75、与泵部75相连的喷 嘴形成板76。在喷嘴形成板76形成有在喷嘴形成面76a开口的喷出喷嘴 78。在液滴喷出头17形成2列的每1列由181个喷出喷嘴78构成的喷嘴 列78b。在泵部75设置压电元件(省略图示)，通过驱动该压电元件，将 从液体导入部71供给过来的功能液从喷出喷嘴78喷出。与1个喷嘴78 对应，设置l个压电元件，在各喷出喷嘴78能独立喷出功能液。
在头基板73设置一对连接器77、 77。该连接器77通过柔性扁平电缆 (FFC电缆)等与和喷出装置控制部6连接的中继基板连接，从而液滴喷 出头17与喷出装置控制部6连接。
在液滴喷出头17安装在液滴喷出装置1上的状态下，喷嘴列78b在Y 轴方向延伸。分别构成2列的喷嘴列78b的喷出喷嘴78彼此间在Y轴方 向，位置相互分别错开半喷嘴间隔。1喷嘴间隔例如是140 ii m。在X轴 方向的相同的位置，从构成各喷嘴列78b的喷出喷嘴78喷出的液滴在设 计上，命中在Y轴方向以等间隔排列的一条直线上。喷出喷嘴78的喷嘴 间隔为140 u m时，从2列的喷嘴列78b的液滴喷出头17喷出的液滴的Y 轴方向的命中位置的中心之间距离在设计上是70^m。
26<头单元>
下面，参照图3 (b)，说明喷出单元2的头单元54的概略结构。图 3(b)所示的X轴和Y轴在头单元54安装在液滴喷出装置1上的状态下， 与图1所示的X轴和Y轴一致。
如图3 (b)所示，头单元54具有滑架板53、在滑架板53上搭载的 12个液滴喷出头17。液滴喷出头17固定在滑架板53上，头主体74与形 成在滑架板53上的孔(省略图示)浮动配合，喷嘴形成板76 (头主体74) 从滑架板53的面突出。图3 (b)是从喷嘴形成板76 (喷嘴形成76a) — 侧观察的图。12个液滴喷出头17在Y轴方向分开，形成2群分别具有6 个液滴喷出头17的头组55。各液滴喷出头17的喷嘴列78b在Y轴方向 延伸。
一个头组55具有的6个液滴喷出头17定位为在Y轴方向，对于彼此 相邻的液滴喷出头17的一方的液滴喷出头17的端部的喷出喷嘴78，另一 方的液滴喷出头17的端部的喷出喷嘴78错开半喷嘴间隔。在头组55具 有的6个液滴喷出头17中，如果全部喷出喷嘴78的X轴方向的位置相同， 则喷出喷嘴78在Y轴方向以半喷嘴间隔的等间隔排列。即在X轴方向的 相同位置，从构成各液滴喷出头17具有的各喷嘴列78b的喷出喷嘴78喷 出的液滴在设计上，在Y轴方向以等间隔排列，命中在一直线上。液滴喷 出头17在Y轴方向彼此重叠，所以在X轴方向，排列为台阶状，构成头 组55。
<液滴喷出装置的电结构>
下面，参照图4，说明用于驱动具有上述的结构的液滴喷出装置1的 电结构。图4是表示液滴喷出装置的电结构的电结构框图。通过图4所示 的控制装置65，进行数据的输入、工作开始或停止等控制指令的输入，控 制液滴喷出装置1。控制装置65具有进行计算处理的主机66、用于输入 输出对液滴喷出装置1输入输出的信息的输入输出装置68，通过接口(I/F) 67与喷出装置控制部6连接。输入输出装置68是能输入信息的键盘、通 过记录媒体输入输出信息的外部输入输出装置、保存通过外部输入输出装 置输入的信息的记录部、监视器装置等。
液滴喷出装置1的喷出装置控制部6具有接口 (I/F)47、 CPU(CentralProcessing Unit) 44、 ROM (Read Only Memory) 45、 RAM (Random Access Memory) 46、硬盘48。此外，具有头驱动器17d、驱动机构驱动器40d、 供液驱动器60d、维护驱动器5d、检查驱动器4d、检测部接口 (I/F) 43。 它们通过数据总线49彼此电连接。
接口 47与控制装置65进行数据的交换，CPU44根据来自控制装置 65的指令，进行各种计算处理，输出控制液滴喷出装置1的各部的动作的 控制信号。RAM46按照来自CPU44的指令，暂时保存从控制装置65取 得的控制命令或打印数据。ROM45存储CPU44用于进行各种计算处理的 程序。硬盘48保存从控制装置65取得的控制命令或打印数据，或者存储 CPU44用于进行各种计算处理的程序。
在头驱动器17d连接有构成喷出单元2的头单元54的液滴喷出头17。 头驱动器17d按照来自CPU44的控制信号，驱动液滴喷出头17，使功能 液的液滴喷出。
在驱动机构驱动器40d连接有Y轴台12的头移动电动机、X轴台11 的X轴线性电动机26、 e台32的9驱动电动机532、以及包含具有各种 驱动源的各种驱动机构的驱动机构41 。各种驱动机构是所述相机移动机构 164的相机移动电动机、用于移动对齐相机81的相机移动电动机、悬挂机 构的转动电动机、升降机构的升降电动机等。驱动机构驱动器40d按照来 自CPU44的控制信号，驱动所述电动机等，使液滴喷出头17和工件W相 对移动，使工件W的任意的位置和液滴喷出头17相对，与头驱动器17d 联动，使功能液的液滴命中工件W上的任意位置。
在维护驱动器5d连接有维护单元5的吸引单元15、擦拭单元16、冲 洗单元14。维护驱动器5d按照来自CPU44的控制信号，驱动吸引单元 15、擦拭单元16或冲洗单元14，实施液滴喷出头17的维护作业。
在检査驱动器4d连接有检査单元4的喷出检査单元18、重量测定单 元19。检査驱动器4d按照来自CPU44的控制信号，驱动喷出检查单元 18、或重量测定单元19，实施喷出重量或喷出的可否或命中位置精度等的 液滴喷出头17的喷出状态的检查。
在供液驱动器60d连接有供液单元60。供液驱动器60d按照来自 CPU44的控制信号，驱动供液单元60，对液滴喷出头17供给功能液。
28在检测部接口 43连接有包含各种传感器的检测部42。由检测部42 的各传感器检测的检测信息通过检测部接口 43传递给CPU44。 <功能液的喷出〉
下面，参照图5，说明液滴喷出装置1的喷出控制方法。图5是表示 液滴喷出头的电结构和信号流的说明图。
如上所述，液滴喷出装置1具有输出控制液滴喷出装置1的各部的动 作的控制信号的CPU44、进行液滴喷出头17的电的驱动控制的头驱动器 17d。
如图5所示，头驱动器17d通过FFC电缆与各液滴喷出头17电连接。 此外，液滴喷出头17与按照各喷出喷嘴78 (参照图3)设置的压电元件 79对应，具有移位寄存器(SL) 85、锁存电路(LAT) 86、电平移位器 (LS) 87、开关(SW) 88。
液滴喷出装置1的喷出控制按如下那样进行。最初，CPU44将工件W 等描画对象物的功能液的配置图案数据化的点图案数据传送给头驱动器 17d。然后，头驱动器17d将点图案数据解码，生成各喷出喷嘴78的ON/OFF (喷出/非喷出)信息即喷嘴数据。将喷嘴数据串行信号(SI)化，与时钟 信号同步(CK)，传送到各移位寄存器85。
传送到移位寄存器85的喷嘴数据在锁存信号(LAT)对锁存电路86 输入的定时被锁存，再由电平移位器87变换为开关88用的选通信号。即 在喷嘴数据为"ON"时，开关88打开，对压电元件79供给驱动信号(COM)， 喷嘴数据为"OFF"时，关闭开关88，对压电元件79不供给驱动信号 (COM)。而且，从与"ON"对应的喷出喷嘴78，将功能液液滴化并喷 出，将喷出的功能液配置在工件W等描画对象物之上。
<液晶显示面板的结构>
下面，说明液晶显示面板。液晶显示面板200是液晶装置的一个例子， 是具有滤色器一个例子即液晶显示面板用的滤色器的液晶显示面板。
最初，参照图6说明液晶显示面板200的结构。图6是表示液晶显示 面板的结构的分解立体图。图6所示的液晶显示面板200是使用薄膜晶体 管(TFT (Thin Film Transistor)元件)作为驱动元件的有源矩阵方式的液 晶装置，是使用省略图示的背光的透过型的液晶装置。如图6所示，液晶显示面板200具有包含TFT元件215的元件基板 210、具有对置电极207的对置基板220、在由密封材料(省略图示)接合 的元件基板210和对置基板220的间隙填充的液晶230 (参照图11 (k))。 在粘贴在一起的元件基板210和对置基板220，在彼此粘贴在一起的面相 反一侧的面分别配设有偏振片231和偏振片232。
元件基板210在玻璃基板211的与对置基板220相对的面形成TFT元 件215、像素电极217、扫描线212和信号线214。掩埋这些元件或导电性 膜之间地形成绝缘层216，在夹着绝缘层216的部分，彼此交叉的状态下， 形成扫描线212和信号线214。扫描线212和信号线214通过在其间夹着 绝缘层的部分而相互绝缘。在由这些扫描线212和信号线214包围的区域 内形成像素电极217。像素电极217是方形状的一部分的角部分在方形状 缺少的形状。在由像素电极217的缺口部和扫描线212和信号线214包围 的部分嵌入、构成具有源极、漏极、半导体部、栅极的TFT元件215。通 过在扫描线212和信号线214施加信号，将TFT元件215导通、断开，实 施向像素电极217的通电控制。
在元件基板210的与液晶230接触的面设置覆盖形成所述扫描线212 或信号线214或像素电极217的区域全体的定向膜218。
对置基板220在玻璃基板201的与元件基板210相对的面形成滤色器 (以后，标记为"CF")层208。 CF层208具有隔离壁204、红色滤色膜 205R、绿色滤色膜205G、蓝色滤色膜205B。在玻璃基板201上形成将隔 离壁204构成格子状的黑底202，黑底202之上形成隔板203。用由黑底 202和隔板203构成的隔离壁204形成方形的滤色膜区域225。在滤色膜 区域225形成红色滤色膜205R、绿色滤色膜205G或蓝色滤色膜205B。 红色滤色膜205R、绿色滤色膜205G、蓝色滤色膜205B在与上述的像素 电极217分别相对的位置和形状形成。
在CF层208之上(元件基板210—侧)设置平坦化膜206。在平坦 化膜206之上设置由ITO等透明的导电性材料形成的对置电极207。通过 设置平坦化膜206，使形成对置电极207的面变为大致平坦的面。对置电 极207是覆盖形成上述的像素电极217的区域全体的大小的连续的膜。对 置电极207通过省略图示的导通部，与形成在元件基板210上的布线连接。在对置基板220的与液晶230接触的面设置覆盖像素电极217的全面 的定向膜228。将液晶230在元件基板210和对置基板220粘贴在一起的 状态下，填充在由对置基板220的定向膜228、元件基板210的定向膜218、 将对置基板220和元件基板210粘贴在一起的密封材料所包围的空间中。
另外，液晶显示面板200为透过型的结构，但是也能设置反射层或者 半透过反射层，是反射型的液晶装置或者半透过反射型的液晶装置。
<母对置基板〉
下面，参照图7说明母对置基板201A。在被分割而在成为玻璃基板 2(H的母对置基板201A上形成上述的CF层208之后，将母对置基板201A 分割为个别的对置基板220 (玻璃基板201)，而形成对置基板220。图7 (a)是示意地表示对置基板的平面构造的平面图，图7 (b)是示意地表 示母对置基板的平面构造的平面图。另外，在本实施例中，也将在母对置 基板201A上形成CF层208等的基板、形成CF层208等的途中的状态的 基板标记为母对置基板201A。
使用由厚度大致l.Omm的透明的石英玻璃构成的玻璃基板201形成对 置基板220。如图7 (a)所示，对置基板220在玻璃基板201周围的仅有 的除了边框区域以外的部分形成有CF层208。在方形的玻璃基板201的 表面将多个滤色膜区域225形成点图案状，在本实施例中形成点矩阵状， 在该滤色膜区域225形成滤色膜205，从而形成CF层208。
如图7(b)所示，在母对置基板201A形成对置基板220的CF层208， 并且在成为玻璃基板401的部分形成构成对置基板420的CF层408。对 置基板420是与对置基板220实质上相同的构造，是构成与液晶显示面板 200相比，显示部的面积更小的液晶显示面板的对置基板。如果在母对置 基板201A上适宜配置玻璃基板201，就产生因为没有能只形成玻璃基板 201的面积，所以无法充分利用的部分。因此，通过形成比玻璃基板201 更小的玻璃基板401的CF层408，将该部分作为玻璃基板401有效地利 用，没有浪费地利用母对置基板201A。
将CF层208排列为一列的列标记为CF层列208A，将CF层408排 列为一列的列标记为CF层列408A。在母对置基板201A， CF层列408A 与CF层列208A相比，配置在母对置基板201A的中央一侧。在母对置基板201A的与形成CF层208或CF层408的区域无关的位 置形成一对对齐标记281、 281。对齐标记281在为了执行形成CF层208 的诸步骤，而将玻璃基板201安装到制造装置中时等，作为定位用的基准 标记使用。形成CF层208和CF层408的滤色膜205之前的状态的母对 置基板201A相当于母基底材料或母基板。
另夕卜，在图7中，为了容易理解图，增大形成CF层208和CF层408 的区域的相互间的间隔，但是为了效率良好地使用母对置基板201A，优 选的是尽可能减小该间隔。此外，通过发现高效地配置尺寸不同的玻璃基 板的配置方法，母对置基板201A本身的适当的尺寸设定变得明确，也能 改善从原材料取出母对置基板201A的效率。
<滤色器>
下面，参照图8，说明在对置基板220上形成的CF层208以及CF层 208的滤色膜205(红色滤色膜205R、绿色滤色膜205G、蓝色滤色膜205B) 的排列。图8是表示3色滤色器的滤色膜的排列例的示意平面图。
如图8所示，用由没有透光性的树脂材料形成格子状的图案的隔离壁 204划分，排列为点矩阵状的多个例如方形的滤色膜区域225用色材掩埋， 由此形成滤色膜205。例如，在滤色膜区域225填充包含构成滤色膜205 的色材的功能液，使该功能液的溶剂蒸发，使功能液干燥，形成掩埋滤色 膜区域225的膜状的滤色膜205。
作为3色滤色器的红色滤色膜205R、绿色滤色膜205G、蓝色滤色膜 205B的排列，例如知道条纹排列、马赛克排列、三角排列等。条纹排列 如图8 (a)所示，是矩阵的纵列全部为同色的红色滤色膜205R、绿色滤 色膜205G、蓝色滤色膜205B的排列。马赛克排列如图8 (b)所示，是 在横向的各行将滤色膜205错开一个的颜色的排列，在3色滤光器时，在 纵横的直线上排列的任意3个滤色膜205成为3色的排列。三角排列如图 8 (c)所示，滤色膜205的配置为完全不同，在3色滤光器时，是任意相 邻的3个滤色膜205成为不同颜色的配色。
在图8 (a) 、 (b)、或者(c)所示的3色滤光器中，滤色膜205分 别由R (红色)、G (绿色)、B (蓝色)中的任意1色的色材形成。用包 含相邻形成各1个的红色滤色膜205R、绿色滤色膜205G、蓝色滤色膜205B
32的滤色膜205的组形成构成图像的最小单位即像素的滤光器(以下标记为
"像素滤光器254")。使光有选择地通过一个像素滤光器254内的红色 滤色膜205R、绿色滤色膜205G、蓝色滤色膜205B中的任意一个或它们 的组合，由此通过调整通过的光的光量，进行全彩色显示。 <液晶显示面板的形成>
下面，参照图9、图10和图11，说明形成液晶显示面板200的步骤。 图9是表示形成液晶显示面板的过程的流程图。图10是表示形成液晶显 示面板的过程中的形成滤色膜的步骤等的剖视图，图11是表示形成液晶 显示面板的过程中的形成定向膜的步骤等的剖视图。将分别形成的元件基 板210和对置基板220粘贴在一起，形成液晶显示面板200。
通过执行图9所示的步骤Sl 步骤S5，形成对置基板220。
在图9的步骤Sl中，在玻璃基板201之上形成用于划分形成滤色膜 区域225的隔离壁部。将黑底202形成为格子状，在其上形成隔板(bank) 203，将由黑底202和隔板203构成的隔离壁204配置为格子状，形成隔 离壁部。据此，如图10 (a)所示，在玻璃基板201的表面形成由隔离壁 204划分的方形的滤色膜区域225 。
接着，在图9的步骤S2中，在滤色膜区域225分别填充构成红色滤 色膜205R、绿色滤色膜205G或者蓝色滤色膜205B的材料，形成红色滤 色膜205R、绿色滤色膜205G、蓝色滤色膜205B，形成CF层208。
更具体而言，如图10 (b)所示，使红色喷出头17R与形成由隔离壁 204划分的滤色膜区域225的玻璃基板201的表面相对。从该红色喷出头 17R具有的喷出喷嘴78向应该形成红色滤色膜205R的滤色膜区域225R 喷出红色功能液252R，在滤色膜区域225R配置红色功能液252R。同时， 对于玻璃基板201，使红色喷出头17R如箭头a所示那样相对移动由此， 在玻璃基板201上形成的全部滤色膜区域225R配置红色功能液252R。通 过使配置的红色功能液252R干燥，如图10(c)所示，在滤色膜区域225R 形成红色滤色膜205R。
同样，在如10 (b)所示的应该形成绿色滤色膜205G或蓝色滤色膜 205B的滤色膜区域225G或滤色膜区域225B，如图10 (c)所示，配置绿 色功能液252G或蓝色功能液252B，如图10(c)所示，使绿色功能液252G和蓝色功能液252B干燥，由此如图10 (d)所示，在滤色膜区域225G和 滤色膜区域225B形成绿色滤色膜205G或蓝色滤色膜205B。与红色滤色 膜205R—起，形成由红色滤色膜205R、绿色滤色膜205G、蓝色滤色膜 205B构成的3色滤色器。
接着，在图9的步骤S3中，形成平坦化层。如图10(e)所示，在构 成CF层208的红色滤色膜205R、绿色滤色膜205G、蓝色滤色膜205B和 在隔离壁上上形成作为平坦化层的平坦化膜206。平坦化膜206在至少覆 盖CF层208的全面的区域形成。通过设置平坦化膜206，使形成对置电 极207的面变为大致平坦的面。
接着，在图9的步骤S4中，形成对置电极207。如图IO (f)所示， 在覆盖平坦化膜206上的至少形成CF层208的滤色膜205的区域的全面， 使用透明的导电材料，形成薄膜。该薄膜是上述的对置电极207。
接着，在图9的步骤S5中，在对置电极207之上形成对置基板220 的定向膜228。在至少覆盖CF层208的全面的区域形成定向膜228。
如图11 (g)所示，使液滴喷出头17与形成对置电极207的玻璃基板 201的表面相对，从液滴喷出头17向玻璃基板201的表面喷出定向膜液 242。同时，使液滴喷出头17对于玻璃基板201如箭头a所示那样相对移 动，由此在玻璃基板201的形成定向膜228的区域的全面配置定向膜液 242。通过使配置的定向膜液242干燥，如图11 (h)所示，形成定向膜 228。实施步骤S5，形成对置基板220。
通过执行图9所示的步骤S6 步骤S8，形成元件基板210。
在图9的步骤S6中，在玻璃基板211上形成导电层或绝缘层或半导 体层，由此形成TFT元件215等的元件、扫描线212、信号线214、绝缘 层216等。在元件基板210和对置基板220粘贴在一起的状态下，在与隔 离壁204相对的位置，即像素的周边的位置形成扫描线212和信号线214。 TFT元件215按照位于像素的端部的方式形成，在1个像素形成至少1个 TFT元件215。
接着，在步骤S7中，形成像素电极217。在元件基板210和对置基板 220粘贴在一起的状态下，在与红色滤色膜205R、绿色滤色膜205G或者 蓝色滤色膜205B相对的位置形成像素电极217。像素电极217与TFT元件215的漏电极电连接。
接着，在步骤S8中，在像素电极217等之上形成元件基板210的定 向膜218。在至少覆盖全部像素电极217的全面的区域形成定向膜218。
如图ll (i)所示，使液滴喷出头17与形成像素电极217的玻璃基板 211的表面相对，从液滴喷出头17向玻璃基板211的表面喷出定向膜液 242。同时，对于玻璃基板211，使液滴喷出头17如箭头a所示那样相对 移动，在玻璃基板211的形成定向膜218的区域的全面配置定向膜液242。 通过使配置的定向膜液242干燥，如图11 (j)所示，形成定向膜218。实 施步骤S8，形成元件基板210。
接着，在图9的步骤S9中，将形成的对置基板220和元件基板210 粘贴在一起，如图11 (k)所示，在其间填充液晶230。进而，粘贴偏振 片231和偏振片232，组装液晶显示面板200。在由多个玻璃基板201或 玻璃基板211构成的母基板形成多个对置基板220和元件基板210时，将 形成多个液晶显示面板200的母基板分割为个别的液晶显示面板200。或 者实施将母对置基板201A或母元件基板分割为对置基板220和元件基板 210的步骤之后，实施步骤S9。实施步骤S9，结束形成液晶显示面板200 的步骤。
<命中对象区域>
接着，参照图12，说明描画对象的应该配置功能液的区域即配置区域 的形状、为了在配置区域配置功能液而应该使液滴命中的区域即命中对象 区域的关系。
虽然将功能液的液滴按照命中描画对象的给定位置的方式喷出，但是 对于给定的命中位置，有可能命中偏离了由于各种误差要因而产生的误差 的量位置。为了可靠地使液滴命中应该配置功能液的区域即配置区域内， 按照即使产生由于误差要因而产生的误差，也使液滴命中配置区域内的方 式向考虑了误差的范围喷出功能液。将该考虑了误差的范围1f记为命中对 象区域。图12是表示滤色膜区域的形状和命中对象区域的关系的说明图。
如上所述，在母对置基板201A形成对置基板220的CF层208，并且 在成为玻璃基板401的部分形成构成对置基板420的CF层408。在图12 (a)中，表示用于形成上述的CF层208的滤色膜205的滤色膜区域225
35的命中对象区域225E的大小。在图12 (b)中，表示用于形成上述的CF 层408的滤色膜405 (405R、 405G、 405B)的滤色膜区域425的命中对象 区域425E的大小。由于CF层208的滤色膜205的数量和CF层408的滤 色膜405的数量基本上相同，所以比CF层208面积小的CF层408的滤 色膜区域425的大小比CF层208的滤色膜区域225更小。滤色膜区域425 的横向尺寸425w以及纵向尺寸425h是滤色膜区域225的横向尺寸225w 以及纵向尺寸225h的一半左右。
对于母对置基板201A，使喷出喷嘴78 —边在图12所示的箭头a的 方向移动， 一边喷出功能液，由此在滤色膜区域225和滤色膜区域425配 置功能液。箭头a的方向是主扫描方向(X轴方向)，与箭头a的方向正 交的方向是副扫描方向(Y轴方向)。
作为主扫描方向的命中位置的误差的要因，列举头间隙的误差或变动 引起的喷出的液滴的飞行时间的误差、锁存信号的上升间隔的误差、锁存 信号的开始时刻(位置)的偏移、滤色膜区域225 (滤色膜区域425)的 位置偏移(隔离壁204的位置偏移)等。
作为副扫描方向的误差的要因，列举喷出的功能液的飞行方向在副扫 描方向偏移的"弯曲"、喷出喷嘴78对于母对置基板201A的在副扫描方 向的对位的误差、滤色膜区域225 (滤色膜区域425)的位置偏移(隔离 壁204的位置偏移)等。
由于这些误差的要因是根据液滴喷出装置1的精度，所以在滤色膜区 域225和滤色膜区域425变为相同的大小。用于吸收主扫描方向的误差的 余裕宽度dx、副扫描方向的余裕宽度dy无论在滤色膜区域225还是滤色 膜区域425，如果考虑的误差的要因相同，就有必要设定为相同的大小。
命中对象区域425E的横向尺寸425x和纵向尺寸425y是对于滤色膜 区域425的横向尺寸425w以及纵向尺寸425h，减去余裕宽度dx或余裕 宽度dy后的大小。命中对象区域225E的横向尺寸225x以及纵向尺寸225y 是对于滤色膜区域225的横向尺寸225w以及纵向尺寸225h，减去余裕宽 度dx或余裕宽度dy后的大小。横向尺寸425w或纵向尺寸425h是横向尺 寸225w或纵向尺寸225h的一半左右，而命中对象区域425E的横向尺寸 425x或纵向尺寸425y是命中对象区域225E的横向尺寸225x或纵向尺寸225y的1/3到1/4左右。如果命中对象区域与滤色膜区域相比，减小的比 例增大，就难以使仅能在滤色膜区域的全面填充的功能液命中命中对象区 域。
为了抑制命中对象区域425E的横向尺寸425x或纵向尺寸425y减小， 有必要能够减小余裕宽度dx、余裕宽度dy。在比滤色膜区域225大小更 小的滤色膜区域425中，通过减小余裕宽度dx、余裕宽度dy，为了抑制 命中对象区域与滤色膜区域相比，减小的比例增大，有必要减小命中位置 的偏移的允许误差。即滤色膜区域的尺寸越小的滤色膜区域，需要高的命 中位置精度的可能性越高。
在上述的母对置基板201A的对齐结束之后，在6台32发生转动位置 的偏移时，对于液滴喷出装置1母对置基板201A的姿态(围绕Z轴方向 的角度)改变。因此，e台32的转动位置的偏移成为锁存信号的开始时 刻(位置)的偏移、滤色膜区域225 (滤色膜区域425)的位置偏移(隔 离壁204的位置偏移)等的原因。由于8台32的转动位置的偏移而偏向 的母对置基板201A的各部分的位置偏移是离转动中心32a的距离越远， 越与距离成比例增大。
<功能液的配置〉
下面，参照图13和图14，说明喷出功能液，在母对置基板201A的 CF层208以及CF层408的滤色膜区域225和滤色膜区域425配置功能液 的步骤。将配置功能液之前的状态的CF层208或CF层408标记为CF层 区域208a或CF层区域408a。图13是表示配置功能液的步骤的流程图。 图14是表示安放在工件安放台上，进行e调整的状态的母对置基板的说 明图。图14所示的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向、以及e方向与图1
所示的x轴方向、Y轴方向、z轴方向、以及e方向一致。
在图13的步骤S21中，对工件安放台21供给母对置基板201A。更 具体而言，使工件安放台21位于用于进行工件W的供给取出的供给取出 位置。在X轴台11的定位精度的范围内严格地定位工件安放台21的位置。 在该供给取出位置，例如用机械手(省略图示)，在工件安放台21的吸 附台31上的给定位置，在给定方向安放母对置基板201A，在吸附台31 吸附母对置基板201A。母对置基板201A的位置在机械手的定位精度的范围中，对于液滴喷出装置1定位。另外，这时的给定方向的母对置基板201A
是如图14所示那样，母对置基板201A的4边在X轴方向或Y轴方向延 伸的状态。
接着，在步骤S22中，用对齐相机81识别形成在母对置基板201A上 的对齐标记281。通过将母对置基板201A在给定方向大致安放在给定的 位置，对齐标记281也大致位于给定的位置。因此，如图14所示，进入 位于给定的位置的对齐相机81的拍摄区域81a内，用对齐相机81识别对 齐标记281。通过用对齐相机81识别对齐标记281，喷出装置控制部6取 得对齐标记281的严密的位置。
另外，用对齐相机81无法识别对齐标记281时是母对置基板201A的 安放状态显著不适合时或者未供给母对置基板201A时等非正常状态，希 望在离线进行修复作业。
接着，在步骤S23中，调整母对置基板201A的e方向的位置(姿态)。 一对对齐标记281、 281在母对置基板201A的4边在X轴方向或Y轴方 向延伸的给定方向的状态下，形成在X轴方向的位置彼此一致的位置。通 过使由一对对齐相机81、 81分别识别的各对齐标记281的X轴方向的位 置一致，将母对置基板201A的e方向的位置(姿态)调整为4边的延伸 方向与X轴方向或Y轴方向一致的给定姿态。步骤S22和步骤S23是母 对置基板201A的对齐作业。
如上所述，由e台32使吸附母对置基板201A的所吸附吸附台31围 绕与通过转动中心32a的Z轴平行的轴转动，实施母对置基板201A的9 方向的移动。
6调整结束的状态的母对置基板201A的对齐标记281的位置作为母 对置基板201A的位置，由喷出装置控制部6识别。根据对于对齐标记281 的相对位置的规格值和对齐标记281的位置，计算CF层区域208a或CF 层区域408a的滤色膜区域225或滤色膜区域425各自的位置。
接着，在步骤S24中，调整喷出单元2的液滴喷出头17的副扫描方 向的位置。使液滴喷出头17按照位于用于使功能液命中对齐结束的母对 置基板201A的滤色膜区域225和滤色膜区域425的适当的位置的方式在 副扫描方向移动，定位。液滴喷出头17按照各头单元54，由Y轴台12
38移动，在适当的位置保持。
接着，在步骤S25中，实施从液滴喷出头17向滤色膜区域225或滤 色膜区域425的命中对象区域225E或命中对象区域425E喷出功能液的描 画喷出。
具体而言，用X轴台11使工件安放台21在主扫描方向移动，从而以 恒定的速度使母对置基板201A在主扫描方向移动。在步骤S23中，6调 整结束的状态的母对置基板201A的对齐标记281的位置作为母对置基板 201A的位置，由喷出装置控制部6识别。能根据由喷出装置控制部6识 别的该位置和该时刻之前的基于X轴台11的移动量，确定某时刻的对齐 标记281的位置。从对齐标记281的位置确定滤色膜区域225和滤色膜区 域425的命中对象区域225E和命中对象区域425E的位置。
如参照图5，说明液滴喷出装置1的喷出控制方法那样，从液滴喷出 头17的喷出喷嘴78向由点图案数据指定的位置喷出液滴，实施向命中对 象区域225E和命中对象区域425E的功能液的配置。作为与由点图案数据 指定的位置对应的实际使功能液命中的命中对象区域225E和命中对象区 域425E的位置，使用根据对齐标记281的位置而确定的位置。
接着，在步骤S26中，关于母对置基板201A的全面，判定是否实施 由点图案数据指定的位置所对应的描画喷出。
在具有不实施描画喷出的部分时(步骤S26中，NO)，回到步骤S24， 将液滴喷出头17的位置调整到可以向不实施描画喷出的部分能喷出功能 液的位置，重复步骤S25和步骤S26。
关于母对置基板201A的全面，实施了描画喷出(步骤S26中，YES) 时，进入步骤S27。
在步骤S26之后，在步骤S27中，从工件安放台21取出实施了描画 喷出的母对置基板201A。
实施步骤S27，接受在该母对置基板201A的CF层208和CF层408 的滤色膜区域225和滤色膜区域425配置功能液的步骤。
〈母对置基板的CF层的配置〉
接着，参照图14，说明母对置基板201A的CF层208(CF层区域208a) 和CF层408 (CF层区域408a)的配置和转动中心32a的位置关系。如上CF层208等的 基板或形成CF层208等的途中的状态的基板标记为母对置基板201A。图 14所示的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向、以及6方向与图1所示的X 轴方向、Y轴方向、z轴方向、以及e方向一致。
如图14所示，在配置功能液之前的母对置基板201A安放在工件安放 台21的大致给定位置的状态下，转动中心32a位于母对置基板201A的中 心附近。将CF层区域208a排列为一列的CF区域列208B、将CF层区域 408a排列为一列的CF区域列408B在主扫描方向延伸。CF区域列408B 与CF区域列208B相比，配置在母对置基板201A的中央一侧。在图14 所示的母对置基板201A安放在工件安放台21的大致给定的位置的状态 下，CF区域列408B与CF区域列208B相比，配置在更靠近转动中心32a 的位置。
在上述的在滤色膜区域225和滤色膜区域425配置功能液的步骤中， 根据由步骤S23取得的对齐标记281的位置，确定命中对象区域225E和 命中对象区域425E的位置。因此，如果母对置基板201A的e方向的位置 偏移，就在由喷出装置控制部6识别的命中对象区域225E和命中对象区 域425E的位置和实际的位置上发生偏移。
因为母对置基板201A由吸附台31吸附，固定，所以以6台32的转 动中心32a为中心，母对置基板201A转动，从而产生母对置基板201A 的e方向的偏移。因此，越远离转动中心32a，母对置基板201A的6方 向的偏移引起的命中对象区域的位置偏移越大。如果考虑位置偏移和离转 动中心32a的距离的方向，从转动中心32a在副扫描方向越远离，e方向 的偏移引起的主扫描方向的位置偏移越大，从转动中心32a在主扫描方向 越远离，e方向的偏移引起的副扫描方向的位置偏移越大。
如参照图12说明的那样，CF层408 (CF层区域408a)的滤色膜区 域425的大小比CF层208 (CF层区域208a)的滤色膜区域225的尺寸更 小。因此，产生相同尺寸的位置偏移时，发生从应该配置功能液的滤色区 域偏离配置的问题的可能性是滤色膜区域425比滤色膜区域225更大。
在母对置基板201A中，CF区域列408B与CF区域列208B相比，在 更靠近转动中心32a的位置配置，实施对齐后的e方向的位置偏移(角度偏移)发生时的命中对象区域425E的位置偏移比命中对象区域225E的位 置偏移更小。因此，在母对置基板201A中，配置为在位置偏移发生时发 生问题的可能性高的命中对象区域425E位置偏移量减小。
滤色膜区域225相当于第一膜形成分区、第一功能膜分区、或者第一 色要素区域，滤色膜区域425相当于第二膜形成分区、第二功能膜分区、 或者第二色要素区域。CF层区域208a相当于第一膜形成区域、第一功能 膜区域、或者第一滤色区域，CF层区域408a相当于第二膜形成区域、第 二功能膜区域、或者第二滤色区域。CF区域列208B相当于第一区域列或 第一滤色区域列，CF区域列408B相当于第二区域列或第二滤色区域列。
<母对置基板的CF层的其他配置例1〉
下面，说明母对置基板的CF层的其他配置例。最初，参照图15，说 明母对置基板201B的CF层208 (CF层区域208a)和CF层408 (CF层 区域408a)的配置和转动中心32a的位置关系。图15是表示安放在工件 安放台上，进行e调整的状态的母对置基板的说明图。图15所示的X轴 方向、Y轴方向、Z轴方向、以及e方向与图1所示的X轴方向、Y轴方 向、Z轴方向、以及S方向一致。另外，与上述的母对置基板201A同样， 也将在母对置基板201B之上形成CF层208等的基板或形成CF层208等 的途中的状态的基板标记为母对置基板201B。
如图15所示，在母对置基板201B形成对置基板220的CF层208， 并且在成为玻璃基板401的部分形成构成对置基板420的CF层408。如 上所述，具有CF层408的对置基板420采用与对置基板220实质上相同 的构造，是构成与液晶显示面板200相比，显示部的面积更小的液晶显示 面板的对置基板。
在母对置基板201B的与形成CF层208或CF层408的区域无关的位 置形成与母对置基板201A同样的一对对齐标记281、 281。对齐标记281 在为了执行形成CF层208的诸步骤，将母对置基板201B安装到液滴喷 出装置1等制造装置中时，作为定位用的基准标记使用。
另夕卜，在图15中，为了容易理解图，增大形成CF层区域208a和CF 层区域408a的相互间的间隔，但是为了效率良好地使用母对置基板201B， 理想的是尽可能减小该间隔。在配置功能液之前的母对置基板201B安放在工件安放台21的大致给
定位置的状态下，转动中心32a位于母对置基板201B的中央附近。将CF 层区域208a排列为一列的CF区域列208C、将CF层区域408a排列为一 列的CF区域列408C在副扫描方向延伸。CF区域列408C与CF区域列 208C相比，配置在母对置基板201B的中央一侧。在图15所示的母对置 基板201B安放在工件安放台21的大致给定的位置的状态下，CF区域列 408C与CF区域列208C相比，配置在更靠近转动中心32a的位置。
与上述的母对置基板201A时同样，越远离转动中心32a，母对置基 板201B的e方向的偏移引起的命中对象区域的位置偏移越大。
此外，CF层408 (CF层区域408a)的滤色膜区域425的尺寸比CF 层208 (CF层区域208a)的滤色膜区域225的尺寸更小。因此，产生相 同尺寸的位置偏移时，发生从应该配置功能液的滤色区域偏离配置的问题 的可能性是滤色膜区域425比滤色膜区域225更大。
在母对置基板201B中，使CF区域列408C与CF区域列208C相比， 在更靠近转动中心32a的位置配置，由此实施对齐后的e方向的位置偏移 (角度偏移)发生时的命中对象区域425E的位置偏移的一方比命中对象 区域225E的位置偏移更小。因此，在母对置基板201B中，配置为在位置 偏移发生时发生问题的可能性高的命中对象区域425 —方位置偏移量减 小。
母对置基板201B的CF层区域208a相当于第一膜形成区域、第一功 能膜区域、或者第一滤色区域，CF层区域408a相当于第二膜形成区域、 第二功能膜区域、或者第二滤色区域。CF区域列208C相当于第三区域列 或第三滤色区域列，CF区域列408C相当于第四区域列或第四滤色区域列。 形成CF层208和CF层408的滤色膜205之前的状态的母对置基板201B 相当于母基底材料或者母基板。
<母对置基板的CF层的其他配置例2>
下面，参照图16，说明母对置基板301A的CF层208(CF层区域208a) 和CF层308 (CF层区域308a)的配置和转动中心32a的位置关系。图16 是表示安放在工件安放台上，进行e调整的状态的母对置基板的说明图。 配置功能液之前的状态的CF层308与对于CF层208的CF层区域208a
42同样，标记为CF层区域308a。另外，与上述的母对置基板201A同样， 也将在母对置基板301A之上形成CF层208或CF层308等的基板或形成 CF层208或CF层308等的途中的状态的基板标记为母对置基板301A。 如图16所示，在母对置基板301A形成对置基板220的CF层208， 并且在成为玻璃基板301的部分形成构成与对置基板220不同的对置基板 的CF层308。具有CF层308的对置基板采用与对置基板220实质上相同 的构造，是构成与液晶显示面板200相比，显示部的面积更小的液晶显示 面板的对置基板。
在母对置基板301A的与形成CF层208或CF层308的区域无关的位 置形成与母对置基板201A同样的一对对齐标记281、 281。对齐标记281 在为了执行形成CF层208的诸步骤，将母对置基板301A安装到制造装 置中时，作为定位用的基准标记使用。
另外，在图16中，为了容易理解图，增大CF层区域208a和CF层 区域308a的相互间的间隔，但是为了效率良好地使用母对置基板301A，
理想的是尽可能减小该间隔。
在配置功能液之前的母对置基板301A安放在工件安放台21的大致给 定位置的状态下，转动中心32a位于母对置基板301A的中央附近。8个 地方的CF层区域308a配置在母对置基板301A的中央，CF层区域208a 包围8个的CF层区域308a的周围地配置在母对置基板301A的周边侧。 在母对置基板301A安放在图16所示的工件安放台21的大致给定的位置 的状态下，CF层区域308a与CF层区域208a相比，配置在更靠近转动中 心32a的位置。
在上述的滤色膜区域225和滤色膜区域425中配置功能液的步骤中， 根据由步骤S22取得的对齐标记281的位置，确定命中对象区域225E和 命中对象区域425E的位置。同样，在滤色膜区域225以及CF层区域308a 的滤色膜区域325中配置功能液的步骤中，根据取得的对齐标记281的位 置，确定滤色膜区域225和滤色膜区域325的命中对象区域的位置。因此， 如果母对置基板301A的e方向的位置偏移，就在由喷出装置控制部6识 别的滤色膜区域225和滤色膜区域325的命中对象区域的位置和实际的位 置上发生偏移。因为母对置基板301A由吸附台31吸附，固定，所以以e
43台32的转动中心32a为中心，母对置基板301A转动，从而产生母对置基 板301A的e方向的偏移。因此，越远离转动中心32a，母对置基板301A 的e方向的偏移引起的命中对象区域的位置偏移越大。
如上所述，CF层308 (CF层区域308a)的滤色膜区域325的大小比 CF层208 (CF层区域208a)的滤色膜区域225的尺寸更小。因此，产生 相同尺寸的位置偏移时，发生从应该配置功能液的滤色区域偏离配置的问 题的可能性是滤色膜区域325比滤色膜区域225更大。
在母对置基板301A中，CF层区域308a与CF层区域208a相比，在 更靠近转动中心32a的位置配置，由此实施对齐后的e方向的位置偏移(角 度偏移)发生时的滤色膜区域325的命中对象区域的位置偏移比滤色膜区 域225的命中对象区域的位置偏移更小。因此，在母对置基板301A中， 配置为在位置偏移发生时发生问题的可能性高的滤色膜区域325位置的一
方的偏移的量减小。
滤色膜区域225相当于第一膜形成分区、第一功能膜分区、或者第一 色要素区域，滤色膜区域325相当于第二膜形成分区、第二功能膜分区、 或者第二色要素区域。CF层区域208a相当于第一膜形成区域、第一功能 膜区域、或第一滤色区域，CF层区域308a相当于第二膜形成区域、第二 功能膜区域、第二滤色区域。形成CF层208和CF层308的滤色膜205 之前的状态的母对置基板301A相当于母基底材料或母基板。
<母对置基板的CF层的其他配置例3>
下面，参照图17，说明母对置基板201C的CF层208(CF层区域208a) 和CF层408 (CF层区域408a)的配置和转动中心332a的位置关系。图
17是表示安放在工件安放台上，进行e调整的状态的母对置基板的说明 图。图17所示的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向、以及e方向与图l所
示的x轴方向、Y轴方向、z轴方向、以及e方向一致。另外，与上述的
母对置基板201A同样，也将在母对置基板201C之上形成CF层208等的 基板或形成CF层208等的途中的状态的基板标记为母对置基板201C。
如图17所示，转动中心332a是与工件安放台21转动装置的结构不 同的工件安放台321具有的e台332的转动中心。9台332位于吸附台31 的主扫描方向的端部地构成。S台332相当于转动装置，转动中心332a
44相当于转动中心。
在母对置基板201C形成对置基板220的CF层208，并且在成为玻璃 基板401的部分形成构成对置基板420的CF层408。如上所述，具有CF 层408的对置基板420采用与对置基板220实质上相同的构造，是构成与 液晶显示面板200相比，显示部的面积更小的液晶显示面板的对置基板。
在母对置基板201C的与形成CF层208或CF层408的区域无关的位 置形成与母对置基板201A同样的一对对齐标记281、 281。对齐标记281 在为了执行形成CF层208的诸步骤，将母对置基板201C安装到液滴喷 出装置l等制造装置中时，作为定位用的基准标记使用。
另外，在图17中，为了容易理解图，增大CF层区域208a和CF层 区域408a的相互间的间隔，但是为了效率良好地使用母对置基板201C， 理想的是尽可能减小该间隔。
在配置功能液之前的母对置基板201C安放在工件安放台321的大致 给定位置的状态下，转动中心332a位于母对置基板201C的主扫描方向的 形成一对对齐标记281、 281侧的端部附近。将CF层区域208a排列为一 列的CF区域列208C、将CF层区域408a排列为一列的CF区域列408C 在副扫描方向延伸。CF区域列408C与CF区域列208C相比，配置在母 对置基板201C的主扫描方向的形成对齐标记281、 281的端部侧。图17 所示的母对置基板201C安放在工件安放台321的大致给定的位置的状态 下，CF区域列408C与CF区域列208C相比，配置在更靠近转动中心332a 的位置。
与上述的母对置基板201A时同样，越远离转动中心332a，母对置基 板201C的e方向的偏移引起的命中对象区域的位置偏移越大。
此外，CF层408 (CF层区域408a)的滤色膜区域425的大小比CF 层208 (CF层区域208a)的滤色膜区域225的尺寸更小。因此，产生相 同尺寸的位置偏移时，发生从应该配置功能液的滤色区域偏离配置的问题 的可能性是滤色膜区域425比滤色膜区域225更大。
在母对置基板201C中，CF区域列408C与CF区域列208C相比，在 更靠近转动中心332a的位置配置，由此实施对齐后的8方向的位置偏移 (角度偏移)发生时的命中对象区域425E的位置偏移比命中对象区域225E的位置偏移更小。因此，在母对置基板201C中，配置为在位置偏移 发生时发生问题的可能性高的滤色膜区域425位置偏移量减小。
母对置基板201C的CF层区域208a相当于第一膜形成区域、第一功 能膜区域、或者第一滤色区域，CF层区域408a相当于第二膜形成区域、 第二功能膜区域、或者第二滤色区域。CF区域列208C相当于第三区域列 或第三滤色区域列，CF区域列408C相当于第四区域列或第四滤色区域列。 形成CF层208和CF层408的滤色膜205之前的状态的母对置基板201C 相当于母基底材料或者母基板。
<母对置基板的CF层的其他配置例4>
下面，参照图18，说明母对置基板401A的CF层208(CF层区域208a) 和纵放配置的CF层208 (CF层区域208v)的配置和转动中心32a的位置 关系。图18是表示安放在工件安放台上，进行e调整的状态的母对置基 板的说明图。对于安放在工件安放台21上，进行e调整的状态的母对置 基板401A， CF层208的长边方向在副扫描方向延伸的配置方法标记为纵 放配置。配置功能液之前的状态的母对置基板401A的用于形成纵放排列 的CF层208的区域与对于CF层208的CF层区域208a同样，标记为CF 层区域208v。另外，与上述的母对置基板201A同样，将在母对置基板401A 之上形成CF层208的基板或形成CF层208的途中的状态的基板标记为 母对置基板401A。
如图18所示，在母对置基板401A形成配置方向不同的CF层208。 在母对置基板401A的与形成CF层208的区域无关的位置形成与母对置 基板201A同样的-.对对齐标记281、 281。对齐标记281在为了执行形成 CF层208的诸步骤，将母对置基板401A安装到液滴喷出装置1等制造装 置中时，作为定位用的基准标记使用。
另外，在图18中，为了容易理解图，增大CF层区域208a和CF层 区域208v的相互间的间隔，但是为了效率良好地使用母对置基板401A，
理想的是尽可能减d 、该间隔。
在配置功能液之前的母对置基板401A安放在工件安放台21的大致给 定位置的状态下，转动中心32a位于母对置基板401A的中央附近。将CF 层区域208a排列为一列的CF区域列208B、将CF层区域208v排列为一
46列的CF区域列208D在主扫描方向延伸。CF区域列208B与CF区域列 208D相比，配置在母对置基板401A的中央侧。在图18所示的母对置基 板401A安放在工件安放台21的大致给定的位置的状态下，CF区域列 208B与CF区域列208D相比，配置在更靠近转动中心32a的位置。CF 层区域208a在副扫描方向，配置在与CF层区域208v相比，更靠近转动 中心32a的位置。
如参照图12说明的那样，CF层区域208a的滤色膜区域225的形状 是长方形。如图18所示，在母对置基板401A放置在工件安放台21的大 致给定位置的状态下，CF层区域208a的滤色膜区域225配置为长边在副 扫描方向延伸。CF层区域208v的滤色膜区域225v与滤色膜区域225实 质上相同，但是配置为长边在主扫描方向延伸。因此，在主扫描方向，发 生相同尺寸的位置偏移时，发生从应该配置功能液的滤色区域偏离配置的 问题的可能性是滤色膜区域225比滤色膜区域225v更大。
与上述的母对置基板201A时同样，越远离转动中心32a，母对置基 板401A的e方向的偏移引起的命中对象区域的位置偏移越大。如果考虑 位置偏移和离转动中心32a的距离的方向，在副扫描方向，越远离转动中 心32a， e方向的偏移引起的主扫描方向的位置偏移越大，在主扫描方向， 越远离转动中心32a， 6方向的偏移引起的副扫描方向的位置偏移越大。
在母对置基板401A中，在主扫描方向延伸的CF区域列208B与CF 区域列208D相比，在更靠近转动中心32a的位置配置，由此实施对齐后 的e方向的位置偏移(角度偏移)发生时的滤色膜区域225的主扫描方向 的位置偏移比滤色膜区域225v的主扫描方向的位置偏移更小。CF层区域 208a与CF层区域208v相比，在副扫描方向更靠近转动中心32a的位置 配置，由此实施对齐之后的e方向的位置偏移(角度偏移)发生时的滤色 膜区域225的主扫描方向的位置偏移比滤色膜区域225v的主扫描方向的 位置偏移更小。因此，在母对置基板401A中，配置为主扫描方向的位置 偏移发生时发生问题的可能性高的滤色膜区域225与滤色膜区域225v相 比，主扫描方向的位置偏移量更小。
母对置基板401A的滤色膜区域225v相当于第一膜形成分区、第一功 能膜分区、或者第一色要素区域，滤色膜区域225相当于第二膜形成分区、第二功能膜分区、或者第二色要素区域。CF层区域208v相当于第一膜形 成区域、第一功能膜区域、第一滤色区域，CF层区域208a相当于第二膜 形成区域、第二功能膜区域、或第二滤色区域。CF区域列208D相当于第 一区域列或第一滤色区域列，CF区域列208B相当于第二区域列或第二滤 色区域列。形成CF层208的滤色膜205之前的状态的母对置基板401A 相当于母基底材料或母基板。
<母对置基板的CF层的其他配置例5>
下面，参照图19，说明母对置基板401B的CF层208(CF层区域208a) 和纵放配置的CF层208 (CF层区域208v)的配置和转动中心32a的位置 关系。图19是表示安放在工件安放台上，进行e调整的状态的母对置基 板的说明图。对于安放在工件安放台21上，进行e调整的状态的母对置 基板401B， CF层208的长边方向在副扫描方向延伸的配置方法与母对置 基板401A时同样标记为纵放配置。配置功能液之前的状态的母对置基板 401B的用于形成纵放排列的CF层208的区域与对于CF层208的CF层 区域208a同样，标记为CF层区域208v。另外，与上述的母对置基板201A 同样，将在母对置基板401B之上形成CF层208的基板或形成CF层208 的途中的状态的基板标记为母对置基板401B。
如图19所示，在母对置基板401B形成配置方向不同的CF层208。 在母对置基板401B的与形成CF层208的区域无关的位置形成与母对置 基板201A同样的一对对齐标记281、 281。对齐标记281在为了执行形成 CF层208的诸步骤，将母对置基板401B安装到液滴喷出装置1等制造装 置中时，作为定位用的基准标记使用D
另外，在图19中，为了容易理解图，增大CF层区域208a和CF层 区域208v的相互间的间隔，但是为了效率良好地使用母对置基板401B， 理想的是尽可能减小该间隔。
在配置功能液之前的母对置基板401B安放在工件安放台21的大致给 定位置的状态下，转动中心32a位于母对置基板401B的中央附近。将CF 层区域208a排列为一列的CF区域列208C、将CF层区域208v排列为一 列的CF区域列208E在副扫描方向延伸。CF区域列208E与CF区域列 208C相比，配置在母对置基板401B的中央侧。在图19所示的母对置基板401B安放在工件安放台21的大致给定的位置的状态下，CF区域列208E 与CF区域列208C相比，配置在更靠近转动中心32a的位置。CF层区域 208v在主扫描方向，配置在与CF层区域208a相比，更靠近转动中心32a 的位置。
如参照图12说明的那样，CF层区域208a的滤色膜区域225的形状 是长方形。如图19所示，在母对置基板401B放置在工件安放台21的大 致给定位置的状态下，CF层区域208a的滤色膜区域225配置为长边在副 扫描方向延伸。CF层区域208v的滤色膜区域225v与滤色膜区域225实 质上相同，但是配置为长边在主扫描方向延伸。因此，在副扫描方向，滤 色膜区域225比滤色膜区域225v更长。在副扫描方向，发生相同尺寸的 位置偏移时，发生从应该配置功能液的滤色区域偏离配置的问题的可能性 是滤色膜区域225v比滤色膜区域225更大。
与上述的母对置基板201A时同样，越远离转动中心32a，母对置基 板401B的e方向的偏移引起的命中对象区域的位置偏移越大。如果考虑 位置偏移和离转动中心32a的距离的方向，在副扫描方向，越远离转动中 心32a， e方向的偏移引起的主扫描方的位置偏移越大，在主扫描方向， 越远离转动中心32a， e方向的偏移引起的副扫描方向的位置偏移越大。
在母对置基板401B中，在副扫描方向延伸的CF区域列208E与CF 区域列208C相比，在更靠近转动中心32a的位置配置，由此实施对齐后 的e方向的位置偏移(角度偏移)发生时的滤色膜区域225v的副扫描方 向的位置偏移比滤色膜区域225的副扫描方向的位置偏移更小。CF层区 域208v与CF层区域208a相比，在主扫描方向更靠近转动中心32a的位 置配置，实施对齐之后的e方向的位置偏移(角度偏移)发生时的滤色膜 区域225v的副扫描方向的位置偏移比滤色膜区域225的副扫描方向的位 置偏移更小。因此，在母对置基板401B中，配置为副扫描方向的位置偏 移发生时发生问题的可能性高的滤色膜区域225v与滤色膜区域225相比，
副扫描方向的位置偏移量更小。
母对置基板401B的滤色膜区域225相当于第一膜形成分区、第一功 能膜分区、或者第一色要素区域，滤色膜区域225v相当于第二膜形成分 区、第二功能膜分区、或者第二色要素区域。CF层区域208a相当于第一第一滤色区域，CF层区域208v相当于第 二膜形成区域、第二功能膜区域、第二滤色区域。CF区域列208C相当于 第三区域列或第三滤色区域列，CF区域列208E相当于第四区域列或第四 滤色区域列。形成CF层208的滤色膜205之前的状态的母对置基板401B 相当于母基底材料或母基板。以下，记载实施例的效果。根据本实施例，取得以下的结果。(1) 在母对置基板201A中，将CF层区域208a排列为1列的CF区域列208B、 将CF层区域408a排列为1列的CF区域列408B在主扫描方向延伸。由 于相同的CF层区域208a或CF层区域408a在主扫描方向上相连，所以在 一次的主扫描方向的相对移动之间，以一定的驱动条件驱动各液滴喷出头 17，从而能实施功能液的配置。(2)在母对置基板201B安放在工件安放台21的大致给定位置的状 态下，将CF层区域208a排列为1列的CF区域列208C、将CF层区域408a 排列为1列的CF区域列408C在副扫描方向延伸。相同的CF层区域208a 或CF层区域408a在副扫描方向相连，所以能用同一驱动条件驱动在副扫 描方向排列的多个液滴喷出头17，实施功能液的配置。驱动条件均一，主 扫描方向的相对移动的速度也在副扫描方向上排列的多个液滴喷出头17 中是公共的，所以能抑制由于与相对移动的速度慢的液滴喷出头17—致， 作业时间增加。以上，参照

适合的实施例，但是适合的实施例并不局限于所 述实施例。当然实施例在不脱离宗旨的范围内能进行各种变更，能如以下 那样实施。(变形例1)在所述实施例中，8台32配设在转动中心32a位于吸附 台31的大致中心的位置，e台332配设在转动中心32a位于吸附台31的 主扫描方向的端部的位置。转动装置的转动中心不一定是这些位置。如果 能调整安放的基板等的e方向的位置，转动装置的转动中心的位置就可以是任意的位置。另外，为了效率良好地实施对齐作业，为了进行e方向的调整，使安放的基板等转动时，形成在基板等上的对齐标记281那样的基 准点的移动量减少的位置是理想的。如一对对齐标记281、 281那样具有 一对基准点时， 一对基准点的移动量减小，或者一对基准点的各基准点的50移动量变为大致均等的位置是理想的。(变形例2)在所述实施例中，CF层208、 CF层408和CF层308彼 此大小不同，但是具有相同的结构，在同一母基板上构成的CF层并不一 定具有彼此相同的结构。如果配置的功能液是公共的，就可以是任意的结 构。(变形例3)在所述实施例中，液晶显示面板200具有的CF层208 是具有红色滤色膜205R、绿色滤色膜205G、蓝色滤色膜205B的3色滤 色膜的3色滤色器，但是滤色器可以是具有更多种类的滤色膜的多色滤色 器。作为多色的滤色器，列举例如除了红色、绿色、蓝色以外，还具有红 色、绿色、蓝色的互补色的青色(蓝绿)、品红(紫红)、黄色的有机 EL元件的6色滤色器；将青色(蓝绿)、品红(紫红)、黄色的3色加 上绿色的4色滤色器。(变形例4)在所述实施例中，说明形成液晶显示面板200的滤色膜 205时的描画喷出，但是形成的膜并不局限于滤色膜。形成的膜也可以是 液晶显示装置的像素电极膜或定向膜或对置电极膜、用于保护滤色器而设 置的保护膜等。具有形成的膜的装置或者在形成过程中有必要形成膜的装置并不局 限于液晶显示装置。如果是具有上述的膜的装置或在形成过程中有必要形 成所述的膜的装置，就可以是任意的装置。例如，也能在有机EL显示装 置中应用。制造有机EL显示装置时，使用上述的液滴喷出装置形成的功 能膜可以是有机EL显示装置的正极电极膜或阴极电极膜、用光刻等形成 图案的膜、光刻等的光致抗蚀剂膜等。(变形例5)在所述实施例中，作为通过使用液滴喷出装置1配置功 能液，实施描画的描画对象物的一个例子，说明具有滤色器的液晶显示面 板200，但是描画对象物并不局限于滤色器。上述的母基底材料、膜形成 区域的配设方法、滤色器的制造方法能作为与在制造时配置各种液状体并 且实施加工的加工对象物有关的母基底材料、配置液状体的膜形成区域的 配设方法、制造方法、加工方法利用。例如，能作为电路基板的母电路基 板、喷出液状的导电材料的布线导电图案的加工方法、具有绝缘膜的电路 基板的母电路基板、喷出液状的绝缘材料的绝缘膜图案的加工方法、半导体晶片、喷出液状的导电材料的半导体装置的布线导电膜的加工方法、半 导体晶片、喷出液状的绝缘材料的半导体装置的绝缘层的加工方法等使 用。(变形例6)在所述实施例中，作为膜形成分区、功能膜分区或者色要素区域的滤色膜区域225等是长方形，但是膜形成分区、功能膜分区或者色要素区域没必要一定是长方形。近年，为了提高显示特性，也考虑像素的形状与长方形不同的显示装置。膜形成分区、功能膜分区或者色要素区域的形状可以是能形成形状与长方形不同的像素等的形状。(变形例7)在所述实施例中，在一个膜形成区域、功能膜区域或者滤色区域膜，作为膜形成分区、功能膜分区或者色要素区域的滤色膜区域225等是相同的大小和形状。可是，在一个膜形成区域、功能膜区域或者 滤色区域膜，膜形成分区、功能膜分区或者色要素区域没必要必须是单一 的尺寸和形状。例如，也可以是按照光源的特性，4色滤色器中构成显示 的最小单位的色要素的各色的大小不同的具有不同大小的膜形成分区、功 能膜分区或者具有色要素区域的膜形成区域、功能膜区域或者滤色区域 膜。(变形例8)在所述实施例中，作为母基底材料或者母基板的母对置 基板201A等母对置基板如滤色膜区域225或滤色膜区域425那样，分别 具有不同的滤色膜区域的CF层区域208a和CF层区域408a那样，分别具 有2种膜形成区域。可是，母基底材料或者母基板具有的膜形成区域不必 须是2种。母基底材料或者母基板也可以是具有3种以上膜形成分区、功能膜分区或者色要素区域不同的膜形成区域的结构。(变形例9)在所述实施例中，液滴喷出装置1使安放母对置基板201A等的工件安放台21在主扫描方向移动，并且从液滴喷出头17喷出功能液， 从而在CF层区域208a或CF层区域408a配置功能液。此外，使头单元 54在副扫描方向移动，进行对于母对置基板201A等的液滴喷出头17 (喷 出喷嘴78)的对位。可是，没必要一定使母基底材料或者母基板移动，实 施作为配置头的液滴喷出头和母基底材料或者母基板的主扫描方向的相 对移动，也没必要一定使配置头移动，实施副扫描方向的相对移动。也可以使配置头在主扫描方向移动，实施配置头和母基底材料或者母基板的主扫描方向的相对移动。也可以使母基底材料或者母基板在副扫描 方向移动，实施配置头和母基底材料或者母基板的副扫描方向的相对移 动。或者，使配置头和母基底材料或者母基板中的任意一方在主扫描方向 和副扫描方向移动，实施配置头和母基底材料或者母基板的主扫描方向和 副扫描方向的相对移动，也可以使配置头和母基底材料或者母基板的双方 在主扫描方向和副扫描方向移动，实施配置头和母基底材料或者母基板的 主扫描方向和副扫描方向的相对移动。(变形例IO)在所述实施例中，作为在母对置基板201A等配置功能 液的配置装置，以具有喷墨方式的液滴喷出头17的液滴喷出装置1为例 进行说明，但是配置装置并不一定是液滴喷出装置。作为配置装置，例如 能使用具有分配器的喷出装置。有必要在大面积的膜形成分区配置大量的 膜材料时，使用与液滴喷出头相比，单位时间的喷出量更多的分配器的做 法是有用的。
权利要求
1.一种母基底材料，具有多个包含1个以上的膜形成分区的膜形成区域，包括具有第一膜形成分区的第一膜形成区域；具有膜形成面积比第一膜形成分区更小的第二膜形成分区的第二膜形成区域；在所述母基底材料被设置在配置膜材料时使用的配置装置中的状态下，在比所述第一膜形成区域更靠近在所述配置装置中具有的转动装置的转动中心的位置配设所述第二膜形成区域。
2. 根据权利要求1所述的母基底材料，其特征在于 所述配置装置具有配置所述膜材料的配置头、使所述配置头和所述母基底材料在主扫描方向相对移动的相对移动装置；所述第一膜形成分区在所述主扫描方向的宽度是第一宽度，所述第二膜形成分区在所述主扫描方向的宽度是比所述第一宽度更小的第二宽度；在所述母基底材料被设置在所述配置装置中的状态下，在与所述主扫 描方向大致正交的副扫描方向，所述第二膜形成区域配设在比所述第一膜 形成区域更靠近所述转动中心的位置。
3. 根据权利要求1所述的母基底材料，其特征在于 所述配置装置具有配置所述膜材料的配置头、使所述配置头和所述母基底材料在主扫描方向相对移动的相对移动装置；所述第一膜形成分区在与所述主扫描方向大致正交的副扫描方向的 宽度是第三宽度，所述第二膜形成分区在所述副扫描方向的宽度是比所述 第三宽度更小的第四宽度；在所述母基底材料被设置在所述配置装置中的状态下，在所述主扫描 方向，所述第二膜形成区域配设在比所述第一膜形成区域更靠近所述转动 中心的位置。
4. 根据权利要求1 3中的任意一项所述的母基底材料，其特征在于 所述第二膜形成区域配设在比所述第一膜形成区域更靠近所述母基底材料的中央的位置。
5. 根据权利要求2所述的母基底材料，其特征在于 所述母基底材料具有在所述主扫描方向排列多个所述第一膜形成区域的第一区域列、在所述主扫描方向排列多个所述第二膜形成区域的第二 区域列；在所述母基底材料被设置在所述配置装置中的状态下，所述第二区域 列在所述副扫描方向配设在比所述第一区域列更靠近所述转动中心的位置。
6. 根据权利要求5所述的母基底材料，其特征在于所述第二区域列配设在比所述第一区域列更靠近所述母基底材料的 中央的位置。
7. 根据权利要求3所述的母基底材料，其特征在于所述母基底材料具有在所述副扫描方向排列多个所述第一膜形成区 域的第三区域列、在所述副扫描方向排列多个所述第二膜形成区域的第四区域列；在所述母基底材料被设置在所述配置装置中的状态下，所述第四区域 列在所述主扫描方向配设在比所述第三区域列更靠近所述转动中心的位置。
8. 根据权利要求7所述的母基底材料，其特征在于 所述第四区域列配设在比所述第三区域列更靠近所述母基底材料的中央的位置。
9. 一种膜形成区域的配设方法，用于具有多个包含1个以上的膜形 成分区的膜形成区域的母基底材料，所述母基底材料包含具有第一膜形成分区的第一膜形成区域、具有 膜形成面积比所述第一膜形成分区更小的第二膜形成分区的第二膜形成 区域；在配置膜材料时使用的配置装置中设置所述母基底材料的状态下，在 比所述第一膜形成区域更靠近在所述配置装置中具有的转动装置的转动 中心，的位置配设所述第二膜形成区域。
10. 根据权利要求9所述的膜形成区域的配设方法，其特征在于-所述配置装置在使配置所述膜材料的配置头和所述母基底材料在主 扫描方向相对移动的同时，配置所述膜材料；所述第一膜形成分区在所述主扫描方向的宽度是第一宽度，所述第二膜形成分区在所述主扫描方向的宽度是比所述第一宽度更小的第二宽度；在所述母基底材料被设置在所述配置装置中的状态下，在与所述主扫 描方向大致正交的副扫描方向，在比所述第一膜形成区域更靠近所述转动 中心的位置配设所述第二膜形成区域。
11. 根据权利要求9所述的膜形成区域的配设方法，其特征在于所述配置装置在使配置所述膜材料的配置头和所述母基底材料在主扫描方向相对移动的同时，配置所述膜材料；所述第一膜形成分区在与所述主扫描方向大致正交的副扫描方向的 宽度是第三宽度，所述第二膜形成分区在所述副扫描方向的宽度是比所述 第三宽度更小的第四宽度；在所述母基底材料被设置在所述配置装置中的状态下，在所述主扫描 方向，在比所述第一膜形成区域更靠近所述转动中心的位置配设所述第二 膜形成区域。
12. 根据权利要求9 11中的任意一项所述的膜形成区域的配设方法， 其特征在于在比所述第一膜形成区域更靠近所述母基底材料的中央的位置配设 所述第二膜形成区域。
13. 根据权利要求10所述的膜形成区域的配设方法，其特征在于所述母基底材料具有在所述主扫描方向排列多个所述第一膜形成区 域的第一区域列、在所述主扫描方向排列多个所述第二膜形成区域的第二 区域列；在所述母基底材料被设置在所述配置装置中的状态下，在所述副扫描 方向，在比所述第一区域列更靠近所述转动中心的位置配设所述第二区域
14. 根据权利要求13所述的膜形成区域的配设方法，其特征在于在比所述第一区域列更靠近所述母基底材料的中央的位置配设所述第二区域列。
15.根据权利要求ll所述的膜形成区域的配设方法，其特征在于 所述母基底材料具有在所述副扫描方向排列多个所述第一膜形成区域的第三区域列、在所述副扫描方向排列多个所述第二膜形成区域的第四区域列；在所述母基底材料被设置在所述配置装置中的状态下，在所述主扫描 方向，在比所述第三区域列更靠近所述转动中心的位置配设所述第四区域
16. 根据权利要求15所述的膜形成区域的配设方法，其特征在于 在比所述第三区域列更靠近所述母基底材料的中央的位置配设所述第四区域列。
17. —种滤色器的制造方法，对于包含具有1个以上的色要素区域的滤色区域的用于形成多个滤色器的母基板，在所述色要素区域形成色要素 膜，所述母基板包含具有第一色要素区域的第一滤色区域、具有比所述第 一色要素区域的所述色要素膜的形成面积更小的第二色要素区域的第二滤色区域；在所述母基板被设置在配置色要素膜材料时使用的配置装置中的状 态下，在比所述第一滤色区域更靠近所述配置装置中具有的转动装置的转 动中心的位置配设所述第二滤色区域，在该第一滤色区域和第二滤色区域 各自的所述色要素区域，使用所述配置装置配置色要素膜材料。
18. 根据权利要求17所述的滤色器的制造方法，其特征在于所述配置装置在使用于配置所述色要素膜材料的配置头和所述母基板在主扫描方向移动的同时，配置所述色要素膜材料；所述第一色要素区域在所述主扫描方向的宽度是第一宽度，所述第二 色要素区域在所述主扫描方向的宽度是比所述第一宽度更小的第二宽度；在所述母基板被设置在所述配置装置中的状态下，在与所述主扫描方 向大致正交的副扫描方向，在比所述第一滤色区域更靠近所述转动中心的 位置配设所述第二滤色区域。
19. 根据权利要求17所述的滤色器的制造方法，其特征在于 所述配置装置在使用于配置所述色要素膜材料的配置头和所述母基板在主扫描方向移动的同时，配置所述色要素膜材料；所述第一色要素区域在所述色要素区域的与所述主扫描方向大致正 交的副扫描方向的宽度是第三宽度，所述第二色要素区域在所述副扫描方 向的宽度是比所述第一宽度更小的第四宽度；在所述母基板被设置在所述配置装置中的状态下，在所述主扫描方 向，在比所述第一滤色区域更靠近所述转动中心的位置配设所述第二滤色 区域。
20. 根据权利要求17 19中的任意一项所述的滤色器的制造方法，其 特征在于在比所述第一滤色区域更靠近所述母基板的中央的位置配设所述第 二滤色区域。
21. 根据权利要求18所述的滤色器的制造方法，其特征在于 所述母基板具有在所述主扫描方向排列多个所述第一滤色区域的第一滤色区域列、在所述主扫描方向排列多个所述第二滤色区域的第二滤色 区域列；在所述母基板被设置在所述配置装置中的状态下，在所述副扫描方 向，在比所述第一滤色区域列更靠近所述转动中心的位置配设所述第二滤 色区域列。
22. 根据权利要求21所述的滤色器的制造方法，其特征在于 在比所述第一滤色区域列更靠近所述母基板的中央的位置配设所述第二滤色区域列。
23. 根据权利要求19所述的滤色器的制造方法，其特征在于 所述母基板具有在所述副扫描方向排列多个所述第一滤色区域的第三滤色区域列、在所述副扫描方向排列多个所述第二滤色区域的第四滤色 区域列；在所述母基板被设置在所述配置装置中的状态下，在所述主扫描方 向，在比所述第三滤色区域列更靠近所述转动中心的位置配设所述第四滤 色区域列。
24. 根据权利要求23所述的滤色器的制造方法，其特征在于 在比所述第三滤色区域列更靠近所述母基板的中央的位置配设所述第四滤色区域;
全文摘要
本发明提供一种能减小对液滴喷出装置的基板的方向偏移对命中位置的位置偏移带来的影响的母基底材料、膜形成区域的配设方法、滤色器的制造方法。母基底材料具有多个包含1以上的膜形成分区的膜形成区域，其特征在于，包括具有第一膜形成分区的第一膜形成区域；具有比第一膜形成分区的膜的形成面积更小的第二膜形成分区的第二膜形成区域；在配置膜材料时使用的配置装置中设置的状态下，对于在配置装置中具有的转动装置的转动中心，在比第一膜形成区域更靠近的位置配置第二膜形成区域。
文档编号G02F1/1335GK101515082SQ200910007390
公开日2009年8月26日 申请日期2009年2月17日 优先权日2008年2月19日
发明者坂本贤治 申请人:精工爱普生株式会社