专利名称：压印模具分离装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于平板显示元件用基板的压印(imprint)工艺，特别涉及一种 可以简单地从基板分离与基板粘合着的压印用压印模具的压印模具分离装置。
背景技术：
在平板显示元件用基板上形成各种功能性图案的方法中，一般采用压印 (imprint)的作业方式，并且主要使用具有平面状的压印模具(stamp)的压印装置。在此简单地说明一下所述压印装置的结构，所述装置包括腔室单元；支撑台，其设 置于所述腔室单元的内侧，用于放置涂敷有药液(例如，蚀刻阻剂(etching resist))的基 板；压印模具，其设置于所述支撑台上侧；以及固定件，其用于固定所述压印模具，使之能 够与放置在所述支撑台上的基板粘合或者分离。S卩，上述压印装置在利用固定件固定压印模具的上表面的状态下，通过常规方法 (例如降落)使压印模具与基板粘合，然后再利用所述固定件向上拉起与基板粘合的压印 模具，并使该模具从基板脱离。上述压印装置通过这种方式进行压印工艺。而且，从基板分离压印模具之前，通过常规的方法对粘合面之间的药液进行硬化。因此，依序进行如上所述的粘合、硬化及分离工序时，可以在基板的药液层上通过 压印方式简单地形成各种功能性图案。就这种压印作业方式而言，在将基板和压印模具粘合并硬化的状态下，从基板稳 定地分离压印模具的作业非常重要。即，在基板和压印模具的粘合面之间，由于存在药液的 粘接力，因此分离压印模具时，会产生非常大的阻力。最近，为了改善上述问题，提出了将压印模具的整个表面分成两部分之后，首先分 离边缘部分(第一次分离)，然后再分离中间部分(第二次分离)的方法等。但是，就这种分离方式而言，利用多个固定件抬起压印模具的边缘时，由于所述压 印模具的整个面积中用多个固定件固定的部分(压印模具的边缘部分)和非固定的部分 (压印模具的中间部分)的边界处容易发生阶梯状的折弯现象。因此，在进行压印模具的分离工作时，压印模具的形状扭曲变形且容易损坏，从而 压印模具的耐久性很快就会降低，并引发缩短寿命的问题。进而，由于压印模具和基板的尺寸越大作用于粘合面之间的粘接力就越大，因此 在进行大面积基板的压印作业时很难适当地处理上述问题。而且，就在压印装置内同时进行粘合及分离的方式而言，由于分离工作需要消耗 过多的时间，因此很难提高压印工艺的工作效率。
发明内容
本发明鉴于现有技术中存在的上述问题而作。本发明的目的在于提供一种尤其能够在分离基板和压印模具的粘合状态时，减少 压印模具的损坏程度，并可以简单地进行分离的压印模具分离装置。
为了实现上述目的，本发明的压印模具分离装置包括支撑台，其用于放置与压印模具粘合的基板；多个第一分离用固定件，其设置于所述支撑台的上侧，用于将所述压印模具整个 表面的边缘部分抬起，从而可以将所述边缘部分从基板分离开；多个第二分离用固定件，其用于抬起所述压印模具整个表面的中间部分，从而可 以将所述中间部分从基板分离开；倾斜装置，其用于倾斜所述多个第一分离用固定件，从而可通过所述多个第一分 离用固定件的倾斜动作来抬起所述压印模具的边缘部分。如上所述的本发明由于具有能够分开分离压印模具的整个表面的多个第一分离 用固定件和多个第二分离用固定件，可以简单地进行压印模具的分离工作。例如，本发明可 在压印模具的整个表面中，首先抬起边缘部分并将其分离(第一次分离)后，再抬起压印模 具的中间部分并将其分离开(第二次分离)。特别是，本发明具有与多个第一分离用固定件对应的倾斜装置，因此例如在分离 压印模具的边缘时，为了使作用于基板和压印模具之间粘合面的粘接力所致的分离阻力达 到最小化，适当地倾斜所述多个第一分离用固定件，并向侧面拉所述压印模具的边缘部分， 从而使所述边缘部分从基板剥离。本发明就是通过该方式进行分离工作。而且，将压印模具的整个表面分成两部分来进行分离时，可以适当地倾斜多个第 一分离用固定件，从而不会使边界处以阶梯状折弯，因而可以防止在进行分离工作时压印 模具扭曲变形或者损坏引起的寿命缩短。
图1是本发明一实施例涉及的压印模具分离装置的整体结构示意图；图2和图3是用于说明本发明一实施例涉及的压印模具分离装置的多个第一分离 用固定件和多个第二分离用固定件的较佳排列方式的附图；图4是用于说明本发明一实施例涉及的压印模具分离装置的流体喷射单元的详 细结构及作用的附图；图5和图6是用于说明本发明一实施例涉及的压印模具分离装置中倾斜装置的作 用的附图；图7和图8是用于说明由本发明一实施例涉及的压印模具分离装置进行压印模具 分离作业的附图；图9和图10是用于说明本发明的一实施例涉及的压印模具分离装置中倾斜装置 的其他结构及作用的附图。
具体实施例方式下面，参照附图对本发明的优选实施例进行详细说明，以使所属领域的技术人员 能够实施。本发明的实施例可以具有各种不同的实施方式，而本发明的保护范围并不局限于 下面描述的实施例。图1是本发明一实施例涉及的压印模具分离装置的整体结构示意图，其中附图标记2表示支撑台。所述支撑台2具有可装载与常规的压印用压印模具S粘合的基板G的结构。即，所述支撑台2的上侧具有装载面L，如图1所示，所述支撑台2可以在支架F的 上侧水平设置，以使所述装载面L朝上。而且，虽然未图示，但是所述支架F上最好以围绕所述支撑台2的状态设置壳体 (或者盖体)。这样一来，可以防止基板G或压印模具S被外部异物污染。为了把基板G以装载的状态固定或者解除其固定状态，所述支撑台S例如可以使 用板状的真空吸盘(vacuum chuck或静电吸盘)。因此，在所述基板G上进行压印模具S的分离工作时，可利用所述支撑台2简单地 固定基板G，从而使其不动。本发明的上述实施例所涉及的压印模具分离装置包括多个第一分离用固定件4 和多个第二分离用固定件6。所述多个第一分离用固定件4和多个第二分离用固定件6从放置在所述支撑台2 上的基板G抬起压印模具S，从而使压印模具S从与所述基板G粘合的状态分离。再次参照图1，所述多个第一分离用固定件4和多个第二分离用固定件6可使用吸 附器，例如，下部具备真空吸附单元H的销(pin)型吸附器。虽然未图示，但是所述吸附单元H通过常规的方法产生真空吸附力，并通过该真 空吸附力来固定所述压印模具S。上述多个第一分离用固定件4和多个第二分离用固定件6设置于所述支架F上， 从而将所述压印模具S的整个表面分成多个部分后进行分离工作。图2和图3是用于说明上述多个第一分离用固定件4和多个第二分离用固定件6 的较佳排列方式的附图。S卩，参照图2，所述多个第一分离用固定件4可与所述压印模具S的整个表面中的 左、右侧边缘部分对应设置，所述多个第二分离用固定件6可与压印模具S的中间部分对应设置。另外，参照图3，所述多个第一分离用固定件4可以与所述压印模具S边缘的四个 位置相对应设置。具有如上配置结构的多个第一分离用固定件4和多个第二分离用固定件6被设置 成其吸附单元H朝下，以此来固定所述压印模具S的上表面。而且，上述多个第一分离用固定件4和多个第二分离用固定件6从固定件驱动单 元M接收动力，从而可以上下方向移动。再次参照图1，所述固定件驱动单元M例如可以把常规的多个螺旋千斤顶J (screw jack)作为动力源使用，所述螺旋千斤顶具有升降用螺杆J1。即，所述多个螺旋千斤顶J设置于所述支架F的上部，并将所述多个升降用螺杆Jl 与多个第一分离用固定件4和第二分离用固定件6连接，从而使所述多个升降用螺杆Jl能 够上下方向移动所述第一分离用固定件4和第二分离用固定件6。例如，所述多个第一分离用固定件4分别与所述多个升降用螺杆Jl的端部连接， 从而可以独立地驱动。而且，所述多个第二分离用固定件6的上部分别固定于额外的固定板J2上，并通
5过所述升降用螺杆Jl移动固定板J2，从而以上下方向同时驱动多个固定件。虽然未图示，所述螺旋千斤顶J通过常规方法(蜗轮(worm gear)、锥齿轮)接收 齿轮电机(geared motor)的动力，并使所述升降用螺杆Jl进行线性(linear)运动，这种 结构不仅适用于大型重量物体的输送，而且还具有自锁(self locking)功能，因此可以保 障进一步提高的操作安全性。并且，虽然未图示，但是本发明除了所述螺旋千斤顶J以外，还可以利用气缸并通 过常规方法来推拉所述多个第一分离用固定件4或多个第二分离用固定件6，从而使其上 下方向移动。上述多个第一分离用固定件4和多个第二分离用固定件6在进行从所述基板G分 离粘合在基板G上的压印模具S的作业时，可以将所述压印模具S的整个表面划分，并通过 两次分离动作(第一次分离、第二次分离)来分离压印模具S。本发明的上述实施例所涉及的压印模具分离装置还可以包括流体喷射单元8。所述流体喷射单元8可以向所述基板G和压印模具S的粘合面之间喷射分离用流 体W。再次参照图1，所述流体喷射单元8可以由喷射分离用流体W的多个分离用喷嘴N 构成。并且，所述多个分离用喷嘴N可以安装于所述支架F上，并与所述支撑台2相隔一 定距离，从而可以向所述基板G和压印模具S的粘合面之间喷射流体。所述分离用流体W可以使用氮气或者洁净干燥空气(CDA =Clean DriedAir)。如此用多个分离用喷嘴N向基板G和压印模具S的粘合面之间喷射分离用流体W 的结构是所属技术领域的技术人员容易实施的，因此在此不再详细说明。就上述流体喷射单元8的结构而言，通过所述多个第一分离用固定件4和多个第 二分离用固定件6来进行压印模具S的分离工作时，可通过分离用流体W的喷射压力有效 地消除作用于基板G和压印模具S的粘合面之间的药液Gl (例如，蚀刻阻剂)的粘接力。图4是用于说明所述流体喷射单元8的作用的附图。参照图4，本发明可以在通过所述多个第一分离用固定件4从基板G分离或者已经 分离压印模具S的边缘部分的状态下，向基板G和压印模具S的粘合面之间喷射分离用流 体W，从而消除药液的粘接力。因此，只要具备如上所述的流体喷射单元8，在从基板G分离压印模具S时，就能够 减少因作用于粘合面之间的药液的粘接力而产生的分离阻力，从而可以更加简单地进行所 述压印模具S的分离工作。并且，虽然未图示，但是本发明还可以通过以下方式进行分离工作，例如，在利用 所述多个第一分离用固定件4抬起所述压印模具S的边缘部分的状态下，若向已分离的缝 隙喷射分离用流体W，则会通过流体压力来推动压印模具S的中间部分，从而在压印模具S 的中间部分更加稳定地吸附于所述第二分离用固定件6的状态下进行分离(第二次分离)工作。另外，本发明一实施例涉及的压印模具分离装置包括倾斜装置10。所述倾斜装置10可以使所述多个第一分离用固定件4倾斜。图5是用于说明所述倾斜装置10的详细结构的附图。
S卩，所述倾斜装置10例如可以由输送单元Ul构成，而所述输送单元Ul具有可依 据空气压力进行线性运动的输送单元块Bi。所述输送单元Ul可以设置于所述第一分离用固定件4和所述螺旋千斤顶J之间， 其中主体固定于所述螺旋千斤顶J的升降用螺杆Jl的端部，输送单元块Bl可连接固定于 所述多个第一分离用固定件4的上部。而且，以图5为基准时，所述输送单元Ul通过所述输送单元块Bl可以左右方向移 动第一分离用固定件4的上端部。就这种结构而言，通过所述多个第一分离用固定件4将所述压印模具S的整个表 面中的边缘部分分离时，可通过把所述第一分离用固定件4倾斜，就可以更加容易分离该 边缘部分。图6是用于说明所述倾斜装置10的作用的附图。S卩，参照图6，在利用所述多个第一分离用固定件4固定压印模具S的整个表面中 的边缘部分的状态下，向左侧移动所述输送单元Ul的输送单元块Bi。这样一来，所述第一分离用固定件4的上部随着所述输送单元块Bl向左侧移动的 同时，可以实现所述吸附单元H的倾斜。因此，可通过向侧面拉动所述压印模具S的整个表 面中的边缘部分的同时将其剥开的方式来进行分离(第一次分离)工作。如此，与简单地向上抬起压印模具S后将其从基板G分离的现有分离方式相比较， 通过倾斜进行分离的方式可以使因作用于粘合面的粘接力所产生的分离阻力达到最小化。尤其是，若在多个第一分离用固定件4倾斜的状态下进行分离工作，则在把所述 压印模具S的整个表面分成边缘和中间两部分之后，经两次分离动作进行分离时，可以防 止其边界处以阶梯状折弯而导致压印模具S扭曲变形或者损坏的现象。因此，本发明的上述实施例涉及的压印模具分离装置，在与压印模具S粘合的基 板G放置于所述支撑台2上的状态下，可利用所述多个第一分离用固定件4及多个第二分 离用固定件6将所述压印模具S的整个表面分成两部分之后，将其从基板G简单地分离开。图7和图8是用于说明利用本发明的上述实施例的压印模具分离装置分离压印模 具的附图。S卩，如图7所示，在利用所述多个第一分离用固定件4固定所述压印模具S的整个 表面中的边缘部分的状态下，倾斜所述多个第一分离用固定件4。这样一来，通过所述多个第一分离用固定件4的倾斜动作从基板G抬起所述压印 模具S的整个表面中的边缘部分，从而分离该边缘部分(第一次分离)。然后，如图8所示，在利用所述多个第二分离用固定件6固定所述压印模具S的整 个表面的中间部分的状态下，向上移动所述多个第二分离用固定件6。那么，所述压印模具S的整个表面的中间部分就会随着所述多个第二分离用固定 件6移动的同时从基板G分离(第二次分离)。经过如上所述的两次分离动作，可以将压印 模具S的整个表面分成两个部分后，再从基板G分离。如此，首先分离所述压印模具S的整个表面的边缘部分的方式，例如与将压印模 具S的整个表面一次性抬起后分离的方式相比较时，即使基板G和压印模具S的粘合面之 间存在药液Gl的粘接力，也可较容易地分离压印模具S。而且，通过所述多个第一分离用固定件4的倾斜动作向侧面拉动压印模具S的边缘部分的同时将其分离的方式，不仅可以使压印模具S的分离阻力达到最小化，而且当将 压印模具S的中间部分和边缘部分分开来进行分离时，可以防止由于它们的边界处以阶梯 状折弯，从而使所述压印模具S扭曲变形或者损坏的现象。图9用于说明倾斜装置10的其它结构。本实施例与上述实施例相比较，其区别在 于，所述多个第一分离用固定件4通过旋转单元U2的驱动进行旋转运动的同时，形成倾斜 状态。S卩，参照图9，所述旋转单元U2可以使用具有旋转轴B2的旋转式气缸(或者步进 电机)，其主体固定于所述升降用螺杆Jl的端部，而旋转轴B2可连接固定于所述第一分离 用固定件4的上部。而且，在所述第一分离用固定件4中吸附单元H的上侧用常规的方法(例如，铰链 销结合)设置有铰接单元HI。就这种结构而言，可以通过所述旋转单元U2产生及传递旋转力的同时，倾斜所述 多个第一分离用固定件4。图10是用于说明所述倾斜装置10的其他结构的作用的附图。S卩，如图10所示，在利用所述第一分离用固定件4支撑所述压印模具S的边缘部 分的状态下，通过所述旋转单元U2朝附图所示的方向旋转所述第一分离用固定件4。这样一来，所述第一分离用固定件4旋转时，所述吸附单元H可以通过铰接单元 H1，并以从基板G向侧面拉动及剥开所述压印模具S的边缘部分的状态倾斜。因此，以上述旋转方式倾斜多个第一分离用固定件4会使所述压印模具S的边缘 部分简单地分离开。并且，所述倾斜装置10除了上述结构以外，还可以通过各种动力传递的方式倾斜 所述多个第一分离用固定件4。理所当然，这些结构也属于本发明的保护范围。
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权利要求
一种压印模具分离装置，其特征在于，包括支撑台，其用于放置与压印模具粘合的基板；多个第一分离用固定件，其设置于所述支撑台的上侧，用于将所述压印模具整个表面的边缘部分抬起，并将所述边缘部分从基板分离开；多个第二分离用固定件，其用于抬起所述压印模具整个表面的中间部分，并将所述中间部分从基板分离开；倾斜装置，其用于倾斜所述多个第一分离用固定件，并通过所述多个第一分离用固定件的倾斜动作来抬起所述压印模具的边缘部分。
2.根据权利要求1所述的压印模具分离装置，其特征在于所述支撑台由板状真空吸盘构成，其具有与所述基板面积相对应的装载面。
3.根据权利要求1所述的压印模具分离装置，其特征在于所述多个第一分离用固定件和多个第二分离用固定件由多个真空吸附器构成，所述多 个真空吸附器具有通过吸附力固定所述压印模具一表面的吸附单元。
4.根据权利要求1所述的压印模具分离装置，其特征在于所述多个第一分离用固定件被配置成其能够固定压印模具一表面的两个边缘或四个 边缘处。
5.根据权利要求1所述的压印模具分离装置，其特征在于所述倾斜装置由具有输送单元块的输送单元构成，并通过所述输送单元块传递动力的 同时，使所述多个第一分离用固定件倾斜，其中所述输送单元块能够线性运动。
6.根据权利要求1所述的压印模具分离装置，其特征在于所述倾斜装置由具有旋转轴的旋转单元构成，并通过所述旋转轴传递动力的同时，使 所述多个第一分离用固定件倾斜，其中所述旋转轴能够旋转运动。
7.根据权利要求1所述的压印模具分离装置，其特征在于所述倾斜装置根据所述多个第一分离用固定件的倾斜动作从基板向侧面拉动所述压 印模具的边缘部分，从而使所述边缘部分脱离基板。
8.根据权利要求1所述的压印模具分离装置，其特征在于所述压印模具分离装置还包括流体喷射单元，所述流体喷射单元由向所述基板和压印 模具的粘合面之间喷射分离用流体的多个分离用喷嘴构成。
9.根据权利要求8所述的压印模具分离装置，其特征在于所述分离用流体为氮气或洁净干燥空气。
全文摘要
本发明公开一种压印模具分离装置，其可以简单地把基板和压印模具从粘合状态分离。该装置包括支撑台，其用于放置与压印模具粘合的基板；多个第一分离用固定件，其设置于所述支撑台的上侧，将所述压印模具整个表面的边缘部分抬起，从而可以将所述边缘部分从基板分离开；多个第二分离用固定件，其用于抬起所述压印模具整个表面的中间部分，从而可以将所述中间部分从基板分离开；以及倾斜装置，其用于倾斜所述多个第一分离用固定件，从而可通过所述多个第一分离用固定件的倾斜动作来抬起所述压印模具的边缘部分。
文档编号G03F7/00GK101930169SQ20091017886
公开日2010年12月29日 申请日期2009年9月29日 优先权日2009年6月26日
发明者朴春成, 李真香, 郑昌镐, 金德洙 申请人:显示器生产服务株式会社