专利名称：有机光导鼓表面的类金刚石镀膜改性处理的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种静电成像设备中有机光导鼓的表面类金刚石镀膜改性处理方法。
背景技术：
有机光导鼓是激光打印机、复印机图像部件的心脏，图像质量的好坏和光导性能 直接相关。由于有机光导鼓长期与刮刀、充电辊等部件接触，会产生光电疲劳、机械磨损和 表面裂纹等，造成打印质量下降。因此，若能对有机光导鼓表面进行改性处理，从而延长其 打印寿命，对打印行业将会有着相当重要的进步意义。另外，由于有机光导鼓表面的感光材 料含有重金属等有毒物质，报废的有机光导鼓对环境造成了很大的潜在威胁。若能在其表 面进行改性处理，最大限度的降低感光材料被破坏的可能，则会给环境保护和社会进步带 来更大的利益。针对这些现象，目前已采取了一些措施，如尽量减少有机光导鼓暴露在强光下，专 利CN1455301A就公开了一种增加有机光导鼓耐光疲劳的方法，即在电荷产生层和电荷传 输层之间用光稳定剂涂布一层隔离层并在电荷传输层中添加适量的光屏蔽剂以减少光电 疲劳。但该方法只是在一定程度上通过减小有机光导鼓的光电性能下降来延长使用寿命， 并没有很好的增加有机光导鼓的耐磨性。类金刚石薄膜(DLC)具有高绝缘性、高导热性、高耐磨性、高耐腐蚀性等性能，是 理想的保护性功能薄膜。至今还未见有在有机光导鼓表面沉积类金刚石薄膜的报道。
发明内容
本发明的目的是为提高有机光导鼓表面耐磨性，提供一种工艺简单、成本低廉的 激光打印机、复印机等静电成像设备用有机光导鼓表面类金刚石镀膜改性处理方法。本发明的另外一个目的是提出一种方法，使得有机光导鼓经表面改性处理后能延 长使用寿命。该方法不仅适用于新的有机光导鼓，而且适用于表皮没有破损的旧有机光导 鼓。本发明的技术方案包括以下步骤(1)基体表面预处理取部分有机光导鼓，用无油的压缩空气吹干净表面的碳粉 及脏污，然后用脱脂棉或无纺布沿有机光导鼓表面同一个方向轻轻擦拭干净。将有机光导 鼓放入去离子水中超声清洗5min。(2)基体表面离子束溅射为提高沉积膜与基体的结合强度，将预处理后的有机 光导鼓基体放入真空镀膜设备反应室后，对基体表面进行离子束溅射以清除表面污染。用 机械泵将真空室气压抽至10Pa，然后依次通入Ar2和H2,使真空室气压稳定在20Pa。(3)基体表面沉积镀膜通入C2H2气体，开启电源产生等离子体Ar+，Ar+轰击C2H2 分子使其分解和离解，在有机光导鼓表面沉积生成类金刚石薄膜。沉积过程持续40min结 束ο本发明的优点在于
(1)在有机光导鼓表面镀覆一层类金刚石薄膜，能够极大的增加耐磨性、延长打印 寿命；(2)用射频等离子体增强化学气相沉积技术在有机光导鼓表面沉积一层类金刚石 薄膜，成膜速度快、工艺简单、成本低廉。
图1.所示为本发明技术方案的实施步骤流程图。
具体实施例方式实施例取部分有机光导鼓，对其进行表面预处理用无油的压缩空气吹干净表面的碳粉、 脏污，然后用脱脂棉或无纺布顺向轻轻擦试表面，放入去离子水中超声清洗5min后吹干。 采用射频等离子体增强化学气相沉积技术在旧有机光导鼓表面沉积一层类金刚石薄膜。具 体沉积过程如下1、将清洗后的有机光导鼓取出后在空气中自然晾干，置于等离子体化学气相沉积 装置反应室中，用机械泵将真空室气压抽至10Pa，然后依次通入Ar2和H2,使得真空室气压 维持在20Pa ；2、开启电源产生等离子体轰击衬底，通入C2H2气体，沉积类金刚石薄膜，所述的类 金刚石薄膜为纳米级。沉积过程持续40min，结束过程；3、打开真空室取出有机光导鼓进行摩擦磨损实验、打印测试等一系列性能检测。 测试结果表明DLC薄膜的摩擦系数较低，在0. 03-0. 1之间，能有效起到保护和减磨作用， 且镀膜后的有机光导鼓能延长打印寿命至少一个周期。
权利要求
有机光导鼓表面的类金刚石镀膜改性处理，其特征在于具体步骤为(1)基体表面预处理用无油的压缩空气吹干净表面的碳粉、脏污，然后用脱脂棉或无纺布顺向轻轻擦试表面，用去离子水超声清洗后吹干，(2)基体表面离子束溅射为提高沉积膜与基体的结合强度，将基体放入真空室后，对基体表面进行离子束溅射以清除表面污染，(3)基体表面沉积镀膜采用射频等离子体增强化学气相沉积技术在旧有机光导鼓表面沉积一层类金刚石(DLC)薄膜。
2.根据权利要求1中所述的有机光导鼓表面的类金刚石镀膜改性处理，其特征在于 该表面改性处理技术适用于新的有机光导鼓及表皮没有破损的旧有机光导鼓。
3.根据权利要求1中所述的有机光导鼓表面的类金刚石镀膜改性处理，其特征在于 所述的类金刚石薄膜为纳米级，且所制备的DLC薄膜的摩擦系数较低，范围在0. 03-0. 1之 间。
全文摘要
本发明公开了有机光导鼓表面的类金刚石(DLC)镀膜改性处理方法。表面改性采用射频等离子体增强化学气相沉积技术，以C2H2、H2、Ar2混合气体作为反应源气体，在有机光导鼓表面镀上一层类金刚石薄膜，与基体表面结合牢固。经过该方法处理后的有机光导鼓耐磨性增强、光电性能稳定、打印寿命延长。
文档编号G03G5/147GK101887221SQ201010205430
公开日2010年11月17日 申请日期2010年6月22日 优先权日2010年6月22日
发明者袁鹏 申请人:富美科技有限公司