涂胶系统的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种涂胶系统，该涂胶系统包括多通阀、稀释剂容器、排水管以及至少两路光刻胶管路，其中，该至少两路光刻胶管路中的每一路光刻胶管路包括四通阀、过滤缓冲装置、第一三通阀以及光刻胶容器；该四通阀的第一端与该过滤缓冲装置的一端相连接，第二端与该排水管路相连接，第三端与该稀释剂容器相连接，第四端与该多通阀相连接；该过滤缓冲装置的另一端与该第一三通阀的第一端相连；该第一三通阀的第二端与该稀释剂容器相连，第三端与该光刻胶容器相连。本发明能够大大减少由于光刻胶切换造成设备停机的时间，提高了设备的生产效率。
【专利说明】涂胶系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示领域，尤其涉及一种涂胶系统。
【背景技术】
[0002]TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,薄膜晶体管液晶显示装置)的制造一般需要经过4-6次掩膜(Mask)，光刻胶的涂布是每一道掩膜(Mask)制程必不可少的步骤。
[0003]一般在TFT-LCD设备安装之前，产线使用的光刻胶就已经检讨完毕，每条产线使用的光刻胶也已经确定，在装机后设备调试时直接使用既定的光刻胶即可，调试完成后直接进行量产。如果没有什么特殊情况，各产线使用的PR (photo resist，光刻胶)胶不会变更。但是，由于各种新工艺的出现，以及改善型PR胶的测试，使得产线不同PR胶的切换越来越频繁。
[0004]参见图1，图1是现有技术中的一种涂胶系统，该系统包括备用的光刻胶容器ir，但其对于光刻胶的切换并没有任何没有帮助。在更换另外一种光刻胶时，需要使用稀释溶剂浸泡和清洗所有的光刻胶管路，具体地，将该涂胶系统停机，拆卸稀释剂容器6'接出的稀释管道5'，参见图2，将拆卸的管道5'放入塑料桶12'中，并通过加压管道13'对稀释剂容器6'加压，从而将稀释剂容器6'中的稀释剂注入塑料桶12'内，当塑料桶12'内的稀释剂达到20L时，停止注入，并将稀释剂容器6'中的压力变为常压后将稀释管道5'重新接入三通阀3'中，而后，参见图3，在当前光刻胶容器10'中，将插入光刻胶桶IOc'内的接头从光刻胶桶IOc'中取出，放入塑料桶12'中，开始进行药液充填操作，塑料桶12'内的稀释剂依次经过三通阀IOb'、隔膜泵IOa'、四通阀9'、过滤器8'、缓冲容器7'、过滤器4'、三通阀3'，然后经过真空泵2'到达涂胶机喷嘴(Coater Nozzle)Ii后流出，该药液填充操作可以进行10次左右，此外，不同树脂类型的光刻胶需要更换过滤器8'和过滤器4'，同树脂类型则不需要更换，上述操作完成后，将接头从塑料桶12'取出并接入新PR胶桶内，再次进行充填操作，将新的PR胶充满管道，从而，排挤掉管道中的稀释剂，便可以进行新胶测试或生产，当新胶测试或生产完成后，需要切换回原来的PR胶，则还需采用上述的方法，同样只能在设备停机的状态下进行。
[0005]上述的涂胶系统更换光刻胶的过程需要10-12H的时间，且都需要在涂胶系统停机状态下进行，占用设备生产时间，降低了设备生产效率。
【发明内容】
[0006](一)要解决的技术问题
[0007]本发明要解决的技术问题是:如何减少由于光刻胶更换造成的设备停机的时间。
[0008](二)技术方案
[0009]为解决上述技术问题，本发明提供了一种涂胶系统，包括多通阀、稀释剂容器、排水管以及至少两路光刻胶管路，其中，所述至少两路光刻胶管路中的每一路光刻胶管路包括四通阀、过滤缓冲装置、第一三通阀以及光刻胶容器；
[0010]所述四通阀的第一端与所述过滤缓冲装置的一端相连接，第二端与所述排水管路相连接，第三端与所述稀释剂容器相连接，第四端与所述多通阀相连接；
[0011]所述过滤缓冲装置的另一端与所述第一三通阀的第一端相连；
[0012]所述第一三通阀的第二端与所述稀释剂容器相连，第三端与所述光刻胶容器相连。
[0013]进一步地，所述过滤缓冲装置包括依次连接的第一过滤器、缓冲容器及第二过滤器。
[0014]进一步地，所述光刻胶容器包括隔膜泵、第二三通阀、接头以及光刻胶桶；
[0015]所述隔膜泵的一端连接所述第二三通阀的第一端；
[0016]所述第二三通阀的第二端与所述接头连接，所述第二三通阀通过所述接头实现与所述光刻胶桶的连接。
[0017]进一步地，所述接头包括接头主体以及贯穿所述接头主体的第一管道和第二管道，当所述接头插入所述光刻胶桶时，通过所述第一管道向所述光刻胶桶内增压，以便所述光刻胶桶内的光刻胶从所述第二管道流出。
[0018]进一步地，所述光刻胶桶包括桶体、用于盛装光刻胶的软袋以及光刻胶管，所述软袋以及所述光刻胶管设置在所述桶体内，所述光刻胶管的一端位于所述软袋之内，另一端位于所述软袋之外，当所述接头插入所述光刻胶桶时，所述光刻胶管的另一端与所述第二管道密封接合，以便所述软袋内的光刻胶从所述第二管道流出。
[0019]进一步地，还包括用于实现所述接头与所述稀释剂容器连接的接口，所述接口的一端与所述稀释剂容器相连接，另一端通过与所述接头密封接合实现所述接头与所述稀释剂容器的密封连接。
[0020]进一步地，所述接口包括接口主体、设置在所述接口主体内的稀释剂管以及设置在所述稀释剂管上的第一阀门，所述稀释剂管的一端与所述稀释剂容器连接，当所述接头插入所述接口时，所述稀释剂管的另一端与所述第二管道密封接合，以便所述稀释剂容器中的稀释剂通过所述稀释剂管流入所述第二管道。
[0021]进一步地，所述稀释剂管的另一端还通过第二阀门与所述排水管相连。
[0022](三)有益效果
[0023]本发明提供的涂胶系统包括多路光刻胶管路，不同光刻胶管路用于实现不同光刻胶的供给，当其中一路光刻胶管路工作时，即可对其他路光刻胶管路进行清洗，且该涂胶系统在不同光刻胶之间切换时，不需要对所有的管道进行清洗，从而大大减少了由于光刻胶切换造成设备停机的时间，提高了设备的生产效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0024]图1是现有技术中的一种涂胶系统的结构图；
[0025]图2是图1所示的涂胶系统中稀释剂容器接取稀释剂的示意图；
[0026]图3是图1所示的涂胶系统清洗管路的示意图；
[0027]图4是本发明实施方式提供的一种涂胶系统的结构图；
[0028]图5是本发明实施方式提供的一种接头的示意图；[0029]图6是本发明实施方式提供的一种光刻胶桶的示意图；
[0030]图7是图5所示的接头接入图6所示的光刻胶桶的示意图；
[0031]图8是本发明实施方式提供的一种接口的示意图。
【具体实施方式】
[0032]下面结合附图和实施例，对本发明的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
[0033]本发明实施方式提供了一种涂胶系统，包括多通阀、稀释剂容器、排水管以及至少两路光刻胶管路，其中，所述至少两路光刻胶管路中的每一路光刻胶管路包括四通阀、过滤缓冲装置、第一三通阀以及光刻胶容器；
[0034]所述四通阀的第一端与所述过滤缓冲装置的一端相连接，第二端与所述排水管路相连接，第三端与所述稀释剂容器相连接，第四端与所述多通阀相连接；
[0035]所述过滤缓冲装置的另一端与所述第一三通阀的第一端相连；
[0036]所述第一三通阀的第二端与所述稀释剂容器相连，第三端与所述光刻胶容器相连。
[0037]其中，该多通阀可以根据该光刻胶管路的路数进行确定，例如，若该涂胶系统包括两路光刻胶管路，则该多通阀可以为三通阀，若该涂胶系统包括三路光刻胶管路，则该多通阀可以为四通阀。该过滤缓冲装置包括依次连接的第一过滤器、缓冲容器及第二过滤器。
[0038]其中，所述光刻胶容器包括隔膜泵、第二三通阀、接头以及光刻胶桶；
[0039]所述隔膜泵的一端连接所述第二三通阀的第一端；
[0040]所述第二三通阀的第二端与所述接头连接，所述第二三通阀通过所述接头实现与所述光刻胶桶的连接。
[0041]参见图4，图4是本发明实施方式提供的一种涂胶系统的结构图，该涂胶系统包括涂胶机喷嘴1，真空泵2、多通阀3、稀释剂容器10、排水管11、第一路光刻胶管路和第二路光刻胶管路，其中，该多通阀3的第一端通过真空泵2与涂胶机喷嘴I相连，第二端与第一路光刻胶管路连接，第三端与第二路光刻胶管路连接。
[0042]其中，该第一路光刻胶管路包括四通阀41、过滤缓冲装置、第一三通阀81以及光刻胶容器91，其中，该第一路光刻胶管路的过滤缓冲装置包括依次连接的第一过滤器51、缓冲容器61、第二过滤器71，四通阀41的第一端411通过该第一路光刻胶管路的过滤缓冲装置与三通阀81的第一端相连接，第二端412与所述排水管11路相连接，第三端413与所述稀释剂容器10相连接，第四端414与所述多通阀3相连接；第二过滤器71的一端与缓冲容器61连接，另一端与三通阀81的第一端相连；三通阀81的第二端与所述稀释剂容器10相连，第三端与所述光刻胶容器91相连。光刻胶容器91包括隔膜泵91a、第二三通阀91b、光刻胶桶91c，其中，隔膜泵91a的一端与第一三通阀81的第三端相连，另一端与第二三通阀91b的第一端相连，第二三通阀91b的第二端通过接头与光刻胶桶91c相连接，优选地，该光刻胶容器91还可以包括备用的光刻胶桶，该备用的光刻胶桶可以通过接头与第二三通阀91b的第三端相连。
[0043]该第二路光刻胶管路与第一路光刻胶管路相同，四通阀42、过滤缓冲装置、第一三通阀82以及光刻胶容器92，其中，该第二路光刻胶管路的过滤缓冲装置包括依次连接的第一过滤器52、缓冲容器62、第二过滤器72，四通阀42的第一端421通过该第二路光刻胶管路的过滤缓冲装置与三通阀82的第一端相连接，第二端422与所述排水管11路相连接，第三端423与所述稀释剂容器10相连接，第四端424与所述多通阀3相连接；第二过滤器72的一端与缓冲容器62连接，另一端与三通阀82的第一端相连；三通阀82的第二端与所述稀释剂容器10相连，第三端与所述光刻胶容器92相连。光刻胶容器92包括隔膜泵92a、第二三通阀92b、光刻胶桶92c，其中，隔膜泵92a的一端与第一三通阀82的第三端相连，另一端与第二三通阀92b的第一端相连，第二三通阀92b的第二端通过接头与光刻胶桶92c相连接，优选地，该光刻胶容器92还可以包括备用的光刻胶桶，该备用的光刻胶桶可以通过接头与第二三通阀92b的第三端相连。
[0044]其中，在上述的光刻胶容器中，第二三通阀的第二端与所述接头连接，所述第二三通阀通过所述接头实现与所述光刻胶桶的连接，参见图5，所述接头包括接头主体121以及贯穿所述接头主体的第一管道122和第二管道123，当所述接头插入所述光刻胶桶时，通过所述第一管道122向所述光刻胶桶内增压，以便所述光刻胶桶内的光刻胶从所述第二管道123流出。
[0045]其中，参见图6，所述光刻胶桶包括桶体131、用于盛装光刻胶的软袋132以及光刻胶管133，所述软袋132以及所述光刻胶管133设置在所述桶体131内，所述光刻胶管的一端位于所述软袋之内，另一端位于所述软袋之外，参见图7，当上述的接头插入所述光刻胶桶时，所述光刻胶管133的另一端与所述接头中的第二管道123密封接合，以便所述软袋内的光刻胶从所述第二管道123流出。
[0046]此外，该涂胶系统还包括用于实现所述接头与所述稀释剂容10连接的接口，所述接口的一端与所述稀释剂容器相连接，另一端通过与所述接头密封接合实现所述接头与所述稀释剂容器的密封连接。其中，对于第一路光刻胶管路，设置接口 91d，用于实现第一路光刻胶管路中的接头与稀释剂容器的连接，对于第二路光刻胶管路，设置接口 92d，用于实现第二路光刻胶管路中的接头与稀释剂容器的连接。
[0047]参见图8，所述接口包括接口主体141、设置在所述接口主体141内的稀释剂管142以及设置在所述稀释剂管142上的第一阀门143，所述稀释剂管142的一端与所述稀释剂容器10连接，当所述接头插入所述接口时，所述稀释剂管142的另一端与所述第二管道123密封接合，以便所述稀释剂容器中的稀释剂通过所述稀释剂管142流入所述第二管道。优选地，所述稀释剂管的另一端还通过第二阀门144与所述排水管10相连，从而可以将管道内的气泡排除，具体地，将第一阀门143关闭，第二阀门144开启，对稀释剂容器10加压，从而可以将管道内的稀释剂和气泡排入排水管内。优选地，还可以对上述的接口设置保护盖，以在接口不工作的状态下对接口进行保护。
[0048]对于图4所示的涂胶系统，在计划进行新的光刻胶测试或生产前一天或几个小时，当该涂胶系统采用第一路光刻胶管路正常量产时，采用以下步骤对第二路光刻胶管路进行清洗:
[0049]步骤S1:拧开第二路光刻胶管路的接口 92d上的保护盖，把光刻胶桶92c对应的接头接入到接口 92d中；
[0050]步骤S2:采用稀释剂容器中的稀释剂对第二路光刻胶管路进行清洗，具体地，将接口 92d中的第一阀门打开，并对稀释剂容器10加压，对应管路15阀门开启，使稀释剂经过第二路光刻胶管路的第二三通阀92b到达隔膜泵92a，并对隔膜泵92a加压，从而使得稀释剂在稀释剂容器内的压力和92a动力双重作用下进行供给，当稀释剂到达管路17，开启第一三通阀82，从而到达第二过滤器72，经过缓存容器62和第一过滤器52到达四通阀42，控制四通阀42的第一端421和第二端422开启，冲洗管路的稀释剂顺着管路18到排水管，其中，清洗的过程可以维持15分钟，当清洗完毕后关闭管道15和接口 92d内的第一阀门，拔出接头，并盖上接口 92d的保护盖。
[0051]步骤S3:将第二路光刻胶管道内充填新光刻胶，具体地，将接头插入新光刻胶桶，并通过该接头对该新光刻胶桶增压，在桶内的压力和隔膜泵92a的压力下，新光刻胶经过第一三通阀82、第二过滤器72、缓冲容器62、第一过滤器52、管道18流入排水管11内。此过程维持15分钟左右即可完全排掉管道中的稀释剂。
[0052]步骤S4:采用稀释剂冲洗连接真空泵2的管路和涂胶机喷嘴1，具体地，设备停机，并开启管道16，开启四通阀42的第三端423和第四端424，稀释剂通过管道19、多通阀3、真空泵2，从涂胶机喷嘴I中吐出。此过程只需维持2-3分钟即可。
[0053]步骤S5:进行新PR胶供应操作，与步骤S3相似，PR胶经过第二路光刻胶管路进行供应，将四通阀42的第一端421和第四端424开启，使新光刻胶直接到涂胶机喷嘴1，经过2-3分钟光刻胶充填即可。
[0054]步骤S6:采用第二路光刻胶管路进行光刻胶测试或生产。
[0055]其中，上述步骤中只有步骤S4和步骤S5需在设备停机的状态下进行操作，从而大大减小了由于光刻胶切换造成设备停机的时间。
[0056]当新光刻胶使用完再切换成原来的光刻胶时，只需要使用稀释剂冲洗管道19、多通阀3、真空泵2，然后通过第一光刻胶光路供胶即可。此过程在节省时间的同时还可以节省大量的光刻胶和稀释剂，且对于频繁更换两种光刻胶的情况，其优势更加明显。
[0057]对于需要使用普通光刻胶和有机光刻胶的情况，第一路光刻胶管路可以用于普通光刻胶的供给，第二路光刻胶管路可以用于有机光刻胶的供给，在普通光刻胶和有机光刻胶之间切换时，每路光刻胶管路不需要更换过滤器，从而大大节省生产成本。
[0058]此外，上述的各步骤的一系列动作都可以设定为机能动作，通过在触摸面板(Touch panel)上点击对应的机能动作，设备就可以自动的开启相应的阀门、三通阀和四通阀等等，并执行相应的命令。不但省时且操作方便，并且节省人力。
[0059]本发明实施方式提供的涂胶系统包括多路光刻胶管路，不同光刻胶管路用于实现不同光刻胶的供给，当其中一路光刻胶管路工作时，即可对其他路光刻胶管路进行清洗，且该涂胶系统在不同光刻胶之间切换时，不需要对所有的管道进行清洗，从而大大减少了由于光刻胶切换造成设备停机的时间，提高了设备的生产效率。
[0060]以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关【技术领域】的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。
【权利要求】
1.一种涂胶系统，其特征在于，包括多通阀、稀释剂容器、排水管以及至少两路光刻胶管路，其中，所述至少两路光刻胶管路中的每一路光刻胶管路包括四通阀、过滤缓冲装置、第一三通阀以及光刻胶容器； 所述四通阀的第一端与所述过滤缓冲装置的一端相连接，第二端与所述排水管路相连接，第三端与所述稀释剂容器相连接，第四端与所述多通阀相连接； 所述过滤缓冲装置的另一端与所述第一三通阀的第一端相连； 所述第一三通阀的第二端与所述稀释剂容器相连，第三端与所述光刻胶容器相连。
2.根据权利要求1所述的涂胶系统，其特征在于，所述过滤缓冲装置包括依次连接的第一过滤器、缓冲容器及第二过滤器。
3.根据权利要求1所述的涂胶系统，其特征在于，所述光刻胶容器包括隔膜泵、第二三通阀、接头以及光刻胶桶； 所述隔膜泵的一端连接所述第二三通阀的第一端； 所述第二三通阀的第二端与所述接头连接，所述第二三通阀通过所述接头实现与所述光刻胶桶的连接。
4.根据权利要求3所述的涂胶系统，其特征在于，所述接头包括接头主体以及贯穿所述接头主体的第一管道和第二管道，当所述接头插入所述光刻胶桶时，通过所述第一管道向所述光刻胶桶内增压，以便所述光刻胶桶内的光刻胶从所述第二管道流出。
5.根据权利要求4所述的涂胶系统，其特征在于，所述光刻胶桶包括桶体、用于盛装光刻胶的软袋以及光刻胶管，所述软袋以及所述光刻胶管设置在所述桶体内，所述光刻胶管的一端位于所述软袋之内，另一端位于所述软袋之外，当所述接头插入所述光刻胶桶时，所述光刻胶管的另一端与所述第二管道密封接合，以便所述软袋内的光刻胶从所述第二管道流出。
6.根据权利要求4所述的涂胶系统，其特征在于，还包括用于实现所述接头与所述稀释剂容器连接的接口，所述接口的一端与所述稀释剂容器相连接，另一端通过与所述接头密封接合实现所述接头与所述稀释剂容器的密封连接。
7.根据权利要求6所述的涂胶系统，其特征在于，所述接口包括接口主体、设置在所述接口主体内的稀释剂管以及设置在所述稀释剂管上的第一阀门，所述稀释剂管的一端与所述稀释剂容器连接，当所述接头插入所述接口时，所述稀释剂管的另一端与所述第二管道密封接合，以便所述稀释剂容器中的稀释剂通过所述稀释剂管流入所述第二管道。
8.根据权利要求7所述的涂胶系统，其特征在于，所述稀释剂管的另一端还通过第二阀门与所述排水管相连。
【文档编号】G03F7/16GK103645607SQ201310705474
【公开日】2014年3月19日 申请日期:2013年12月19日 优先权日:2013年12月19日
【发明者】曹景博, 徐海涛, 鲁成祝, 江涛, 黄炳相, 王守波 申请人:合肥京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司