专利名称：掩模版处理机及其版架的制作方法
技术领域：
掩模版处理机及其版架技术领域[0001]本实用新型涉及掩模版技术领域，更具体地说，涉及一种用于支撑掩模版的版架，还涉及一种具有上述版架的掩模版处理机。
背景技术：
[0002]掩模版处理机是专业用于处理掩模版的机器，一般掩模版曝光之后需要利用掩模版处理机进行显影、腐蚀工艺的处理等。[0003]进行工艺处理时，一般把掩模版置于掩模版处理机的版架上，其中版架上设置有用于分别架设掩模版四个角的四个突起，将方形的掩模版四个角分别卡在版架上的四个突起上，然后进行工艺处理。[0004]然而现有技术中掩模版处理机的每个版架仅设置一套架设掩模版的突起组件，而每一套突起组件只能架设一种型号的掩模版，比如架设边长为6英寸、7英寸或者5英寸的掩模版。所以在进行处理时，如果想要处理不同尺寸的掩模版，需要更换版架才可以进行处理，如此较费时费力，降低了处理效率。[0005]综上所述，如何有效地解决需要更换版架才可以进行处理不同尺寸的掩模版，较费时费力，处理效率较低问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。实用新型内容[0006]有鉴于此，本实用新型的第一个目的在于提供一种版架，该版架的结构设计可以有效地解决需要更换版架才可以进行处理不同尺寸的掩模版，较费时费力，处理效率较低，本实用新型的第二个目的是提供一种包括上述版架的掩模版处理机。[0007]为了达到上述第一个目的，本实用新型提供如下技术方案:[0008]一种版架，用于掩模版处理机，包括版架本体和设置于所述版架本体上的多组突起组件，每组所述突起组件包括四个突起，且四个所述突起位于同一圆上且周向均匀分布；所述多组突起组件的突起所在的圆为同心圆且直径均不相同，且所述突起的高度与其所在的圆的直径成正比；[0009]每个所述突起的顶端均设置有多个卡柱。[0010]优选地,所述突起组件的数量具体为三组。[0011]优选地，每个所述突起上设置有两个卡柱。[0012]优选地，所述卡柱具体为圆柱。[0013]优选地，所述突起·上还设置有用于支撑掩模版的支撑柱。[0014]优选地，所述突起通过螺钉固定于所述版架本体上。[0015]—种掩模版处理机,包括上述中任一项所述的版架。[0016]本实用新型提供的版架，用于掩模版处理机，包括版架本体和设置于版架本体上的多组突起组件，每组突起组件包括四个突起，且四个突起位于同一圆上且周向均匀分布；多组突起组件的突起所在的圆为同心圆且直径均不相同，且突起的高度与其所在的圆的直径成正比，即沿远离圆心的方向突起组件的高度依次升高，每个突起的顶端均设置有多个卡柱。[0017]应用本实用新型提供的版架时，由于本版架上设置有多组突起组件，并且多组突起组件的突起所在的圆为同心圆且直径均不相同，不同的突起组件可以卡设不同尺寸的掩模版，另外突起的高度与其所在的圆的直径成正比，即沿远离圆心的方向突起组件的高度依次升高，如此设置可以防止靠近圆心的突起组件阻碍掩模版安装在远离圆心的突起组件上，具体可以根据待处理的掩模版的尺寸选择合适的突起组件进行安装，即将待处理的掩模版的四个角卡设在突起的卡柱之间，以此将掩模版进行固定在四个突起之间，然后进行处理。该版架不必进行更换便可安装不同尺寸的掩模版，较省时省力，提高了处理效率。[0018]为了达到上述第二个目的，本实用新型还提供了一种掩模版处理机，该掩模版处理机包括上述任一种版架。由于上述的版架具有上述技术效果，具有该版架的掩模版处理机也应具有相应的技术效果。
[0019]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。[0020]图1为本实用新型实施例提供的版架的结构示意图；[0021]图2为图1中A区域的局部放大图。[0022]附图中标记如下:[0023]1-版架本体、2-突起、21-卡柱、22-支撑柱。
具体实施方式
[0024]本实用新型的第一个目的在于提供一种版架，该版架的结构设计可以有效地解决需要更换版架才可以进行处理不同尺寸的掩模版，较费时费力，处理效率较低，本实用新型的第二个目的是提供一种包括上述版架的掩模版处理机。[0025]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。[0026]请参阅图1- 图2，图1为本实用新型实施例提供的版架的结构示意图；图2为图1中A区域的局部放大图。[0027]本实用新型实施例提供的版架，用于掩模版处理机，包括版架本体I和设置于版架本体I上的多组突起组件，每组突起组件包括四个突起2，且四个突起2位于同一圆上且周向均匀分布；多组突起组件的突起2所在的圆为同心圆且直径均不相同，且突起2的高度与其所在的圆的直径成正比，即沿远离圆心的方向突起组件的高度依次升高，每个突起2的顶端均设置有多个卡柱21。[0028]应用本实用新型实施例提供的版架时，由于本版架上设置有多组突起组件，并且多组突起组件的突起2所在的圆为同心圆且直径均不相同，不同的突起组件可以卡设不同尺寸的掩模版，另外突起2的高度与其所在的圆的直径成正比，即沿远离圆心的方向突起组件的高度依次升高，如此设置可以防止靠近圆心的突起组件阻碍掩模版安装在远离圆心的突起组件上，具体可以根据待处理的掩模版的尺寸选择合适的突起组件进行安装，即将待处理的掩模版的四个角卡设在突起2的卡柱21之间，以此将掩模版进行固定在四个突起2之间，然后进行处理。该版架不必进行更换便可安装不同尺寸的掩模版，较省时省力，提高了处理效率。[0029]其中，突起组件的数量可以为三组，一组突起组件可以放置5英寸的掩模版，一组突起组件可以放置6英寸的掩模版，另一组突起组件可以放置7英寸的掩模版。[0030]具体的，每个突起2上可以设置两个卡柱21，掩模版的角卡设在两个卡柱21之间即可。进一步，卡柱21可以具体为圆柱。当然也可以为方柱，在此不作限定。[0031]其中，突起2上还可以设置用于支撑掩模版的支撑柱22。其中支撑柱22是顶端为平面的柱体。[0032]优选地，突起2可以通过螺丝的方式设置于版架本体I上，如此设置，可以单独加工突起2和版架本体I然后将两者进行连接。当然突起2和版架本体I一体式加工成型，在此不作限定。[0033]基于上述实施例中提供的版架，本实用新型还提供了一种掩模版处理机，该掩模版处理机包括上述实施例中任意一种版架。由于该掩模版处理机采用了上述实施例中的版架，所以该掩模版处理机的有益效果请参考上述实施例。[0034]本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。[0035]对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的 范围。
权利要求1.一种版架，用于掩模版处理机，其特征在于，包括版架本体(I)和设置于所述版架本体(I)上的多组突起组件，每组所述突起组件包括四个突起(2)，且四个所述突起(2)位于同一圆上且周向均匀分布；所述多组突起组件的突起(2)所在的圆为同心圆且直径均不相同，且所述突起(2)的高度与其所在的圆的直径成正比； 每个所述突起(2)的顶端均设置有多个卡柱(21)。
2.根据权利要求1所述的版架，其特征在于，所述突起组件的数量具体为三组。
3.根据权利要求1所述的版架，其特征在于，每个所述突起(2)上设置有两个卡柱(21)。
4.根据权利要求1所述的版架，其特征在于，所述卡柱(21)具体为圆柱。
5.根据权利要求1所述的版架，其特征在于，所述突起(2)上还设置有用于支撑掩模版的支撑柱(22)。
6.根据权利要求1所述的版架，其特征在于，所述突起(2)通过螺钉固定于所述版架本体(I)上。
7.—种掩 模版处理机,其特征在于,包括如权利要求1-6中任一项所述的版架。
专利摘要本实用新型公开了一种版架，用于掩模版处理机，包括版架本体和设置于所述版架本体上的多组突起组件，每组所述突起组件包括四个突起，且四个所述突起位于同一圆上且周向均匀分布；所述多组突起组件的突起所在的圆为同心圆且直径均不相同，且所述突起的高度与其所在的圆的直径成正比；每个所述突起的顶端均设置有多个卡柱。具体可以根据待处理的掩模版的尺寸选择合适的突起组件进行安放，即将待处理的掩模版的四个角卡设在突起的卡柱之间，以此将掩模版进行固定在四个突起之间，然后进行处理。该版架不必进行更换便可安放不同尺寸的掩模版，较省时省力，提高了处理效率。本实用新型还公开了一种包括上述版架的掩模版处理机。
文档编号G03F1/68GK203117635SQ20132003994
公开日2013年8月7日 申请日期2013年1月24日 优先权日2013年1月24日
发明者黄宏君, 沈俊然 申请人:无锡华润微电子有限公司