用于定位点状样本的光学显微机构的制作方法

文档序号:11916685阅读:来源:国知局
技术总结
一种用于定位试样中的点状样本的光学显微机构。光学显微机构具有成像镜头,探测器,成像镜头把设置在样本空间内的试样成像到该探测器上;和控制单元,该控制单元在清晰深度区域内部对试样中含有的点样样本予以定位;其中,为了在光轴(O)的方向上定位相应的点状试样,控制单元求取第一试样图像的表示点状样本的光斑的特征参数(d),并根据预定的指配信息给该特征参数指配涉及点状样本的轴向的z位置,其特征在于,在清晰深度区域内对点状样本进行定位,受控制单元控制的移调单元使得该清晰深度区域在样本空间内相对于试样沿着光轴(O)移动预定的轴向移调路程,该移调路程小于清晰深度区域的轴向延展距离(t)。

技术研发人员:约纳斯·弗林
受保护的技术使用者:莱卡微系统CMS有限责任公司
文档号码:201490000520
技术研发日:2014.03.24
技术公布日:2017.05.17

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