技术总结
本发明公开一种杂散光测量装置，其特征在于，所述测量装置沿光轴方向依次包括：光源，用于提供照明光束；照明系统，用于控制所述照明光束，包括狭缝刀口，光束整形元件和匀光元件；掩模台，其上设置有物面测试标记版；工件台，其上设置有物面测试标记版，探测器和能量传感器；探测器，用于采集剪切干涉条纹；能量传感器，用于测量参考光强；投影物镜，可将照明光束照射的物面测试标记版成像于工件台上；所述物面测试标记版包括位于中间的不透光区，以及位于不透光域区两侧的透光区，不透光区上设有小孔。
技术研发人员：孙昊;葛亮
受保护的技术使用者：上海微电子装备有限公司
文档号码：201510176866
技术研发日：2015.04.15
技术公布日：2016.11.23