光扫描用致动器和光扫描装置的制作方法

文档序号:11160591阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光扫描用致动器,其特征在于,所述光扫描用致动器具有:

光纤,其具有以能够振动的方式被支承的前端部;以及

压电元件,其通过沿着所述光纤的光轴方向进行伸缩,产生在与所述光轴垂直的方向上对所述光纤的所述前端部进行驱动的驱动力,

所述光扫描用致动器构成为绕所述光纤的光轴旋转非对称或具有二次旋转对称性,

所述光纤的所述前端部的谐振方向和所述压电元件的所述驱动力的方向实质上平行。

2.根据权利要求1所述的光扫描用致动器,其特征在于,

所述光扫描用致动器构成为绕所述光纤的光轴旋转非对称。

3.根据权利要求1或2所述的光扫描用致动器,其特征在于,

所述压电元件包括第1压电元件、以及隔着所述光纤而与所述第1压电元件对置配置的第2压电元件和第3压电元件。

4.根据权利要求1~3中的任意一项所述的光扫描用致动器,其特征在于,

所述光扫描用致动器具有保持所述光纤的套圈,所述压电元件固定在所述套圈的侧面。

5.一种光扫描装置,其具有:

权利要求1~4中的任意一项所述的光扫描用致动器;

光输入部,其使来自光源的照明光入射到所述光纤的与所述前端部相反的一侧的端部;

光学系统,其对对象物照射从所述光纤的所述前端部射出的光;以及

控制部,其对施加给所述压电元件的电压进行控制,使所述光纤的所述前端部进行扫描以成为期望的扫描轨迹。

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