技术总结
本发明提供压印装置、压印方法以及物品的制造方法。所述压印装置通过使用模具来对基板上的压印材料形成图案，所述压印装置包括：倾斜单元，其被构造为使所述模具和所述基板相对地倾斜；检测单元，其被构造为检测由所述模具反射的光与由所述基板反射的光之间的干涉图案；以及控制单元，其被构造为，基于在所述模具与所述基板上的压印材料彼此接触的状态下、由所述检测单元检测到的所述干涉图案，控制所述倾斜单元，以减小在所述状态下、所述模具和所述基板之间的相对倾斜。
技术研发人员：藤本正敬;山崎拓郎;船吉智美;山口裕充;
受保护的技术使用者：佳能株式会社;
文档号码：201610007113
技术研发日：2016.01.05
技术公布日：2016.07.13