1.一种空间光调制器成像系统，包括：
照明模块，被配置为提供照明光；
投影模块，被配置为将该照明光投射至基板，其中该投影模块包括下列各项中的至少一项：
一比一放大倍率投射系统，提供以一比一的放大倍率投射的数据图案；及
六比一放大倍率缩小系统，提供以六比一之放大倍率缩小的数据图案；及
照明-投影光束分离器，耦接于该照明模块与该投影模块之间，其中该照明一投影光束分离器被配置为接收沿照明光轴的该照明光，并将接收的该照明光沿投影光轴传送至该投影模块，其中该照明光轴与该投影光轴实质上彼此平行，其中，所述一比一放大倍率投射系统以及所述六比一放大倍率缩小系统共用相同的照明模块和照明-投影光束分离器，其中该照明模块包括：
多个激光二极管，被配置为产生该照明光；以及
多个光纤束，被配置为将该照明光传送至该照明-投影光束分离器。
2.如权利要求1所述的空间光调制器成像系统，其中该照明模块被配置为相对于该照明光而具有远心性，且该投影模块被配置为相对于该基板而具有远心性。
3.如权利要求1所述的空间光调制器成像系统，其中该照明-投影光束分离器包括：
第一棱镜，被配置为接收沿该照明光轴的该照明光；
第二棱镜，被配置为沿该投影光轴传送该照明光；
空气间隙，分隔该第一棱镜与该第二棱镜；及
光束定向调整器，位于该第一棱镜附近，该光束定向调整器被配置为调整该照明光，使该照明光以相对于位于第二棱镜附近的数字微镜装置DMD的法线的预定入射角进入DMD，且该预定入射角实质上等于该DMD的倾角的两倍。
4.如权利要求3所述的空间光调制器成像系统，其中该第一棱镜包括：
第一直角棱镜，其中该第一直角棱镜包括：第一表面，被配置为接收正入射的该照明光；
第二表面，被配置为接收45度角的该照明光，并使该照明光实质上于该第二表面被反射；以及
第三表面，耦接至该光束定向调整器，其中该第三表面及该光束定向调整器被配置为使该照明光以该预定入射角穿过该第二表面及该空气间隙。
5.如权利要求3所述的空间光调制器成像系统，其中该第二棱镜包括：
第二直角棱镜，其中该第二直角棱镜包括：第一表面，被配置为接收来自该第一棱镜的该照明光；
第二表面，被配置为将该照明光传至该DMD，并接收从该DMD反射的该照明光，其中，该第一表面还被配置为实质上反射从该DMD反射的该照明光；以及
第三表面，被配置为沿该投影光轴传送从该第一表面反射的该照明光。
6.如权利要求3所述的空间光调制器成像系统，其中该空气间隙具有0.005毫米至0.015毫米的范围内的尺寸。
7.如权利要求3所述的空间光调制器成像系统，其中该光束定向调整器包括下列各项中的至少一项：
楔形镜，其中该楔形镜在第一端具有4.67毫米的厚度，在第二端厚具有2.18毫米的厚度，并且具有5.47°的斜率；及
反射光栅涂层，其中该反射光栅涂层是无机MgF2涂层，具有大于该空间光调制器成像系统的对应曝光波长的十倍的厚度。
8.如权利要求1所述的空间光调制器成像系统，还包括：
摄像模块，被配置为监测该空间光调制器成像系统的聚焦及对准，并检查微镜的开启-关闭行为；其中该摄像模块被配置为相对于该基板而具有远心性。
9.一种形成空间光调制器成像系统的方法，包括：
提供照明模块，其中该照明模块被配置为提供照明光；
提供投影模块，其中该投影模块被配置为将该照明光投射至基板，其中提供投影模块包括下列步骤中的至少一个步骤：
经由一比一放大倍率系统以一比一的放大倍率投射数据图案；及
经由六比一放大倍率缩小系统以六比一的放大倍率缩小来投射数据图案；及
提供照明-投影光束分离器，耦接于该照明模块与该投影模块之间，其中该照明-投影光束分离器被配置为接收沿照明光轴的该照明光，并将接收的该照明光沿投影光轴传送至该投影模块，其中该照明光轴与该投影光轴实质上彼此平行，其中，所述一比一放大倍率系统和所述六比一放大倍率缩小系统共用相同的照明模块和照明-投影光束分离器，其中提供照明模块包括：
通过多个激光二极管产生该照明光；以及
使用多个光纤束将该照明光传送至该照明一投影光束分离器。
10.如权利要求9所述的方法，其中提供该照明-投影光束分离器包括：
提供第一棱镜、光束定向调整器、数字微镜装置DMD及第二棱镜，其中该光束定向调整器位于该第一棱镜附近，该光束定向调整器被配置为调整该照明光，使该照明光以相对于位于第二棱镜附近的该DMD的法线的预定入射角进入该DMD，且该预定入射角实质上等于该DMD的倾角的两倍；
以空气间隙分隔该第一棱镜与该第二棱镜；
利用该第一棱镜接收沿该照明光轴的该照明光；
控制该照明光，使该照明光穿过该第一棱镜、该光束定向调整器、该空气间隙、该DMD及该第二棱镜；及
利用该第二棱镜沿该投影光轴传送该照明光。
11.如权利要求10所述的方法，其中该第一棱镜包括：
第一直角棱镜，其中该第一直角棱镜包括：第一表面，被配置为接收正入射的该照明光；
第二表面，被配置为接收45度角的该照明光，并使该照明光于该第二表面实质上被反射；以及
第三表面，耦接至该光束定向调整器，其中该第三表面及该光束定向调整器被配置为使该照明光以该预定入射角穿过该第二表面及该空气间隙。
12.如权利要求10所述的方法，其中该第二棱镜包括：
第二直角棱镜，其中该第二直角棱镜包括：第一表面，被配置为接收来自该第一棱镜的该照明光；
第二表面，被配置为将该照明光传至该DMD，并接收从该DMD反射的该照明光，其中，该第一表面还被配置为实质上反射从该DMD反射的该照明光；以及
第三表面，被配置为沿该投影光轴传送从该第一表面反射的该照明光。
13.如权利要求10所述的方法，其中该光束定向调整器包括下列各项中的至少一项：
楔形镜，其中该楔形镜在第一端具有4.67毫米的厚度，在第二端具有2.18毫米的厚度，并且具有5.47°的斜率；及
反射光栅涂层，其中该反射光栅涂层是无机MgF2涂层，具有大于该空间光调制器成像系统的对应曝光波长的十倍的厚度。
14.一种照明投影装配，包括：
第一棱镜，其中所述第一棱镜包括：
第一表面；
第二表面；以及
第一斜边；以及
第二棱镜，其中所述第二棱镜包括：
第三表面；
第四表面；以及
第二斜边；其中，所述第一斜边和所述第二斜边彼此相对，并且其中，所述第一斜边和所述第二斜边被空气间隙所分离。
15.如权利要求14所述的照明投影装配，还包括数字微镜装置，其中，所述数字微镜转置与所述第三表面相邻。
16.如权利要求14所述的照明投影装配，其中，所述第一表面和第四表面彼此平行。
17.如权利要求14所述的照明投影装配，其中，所述第二表面和第三表面彼此平行。
18.如权利要求14所述的照明投影装配，其中，所述第二表面是倾斜的。
19.如权利要求14所述的照明投影装配，还包括光束定向调整器。
20.如权利要求19所述的照明投影装配，其中，所述光束定向调整器是在所述第二表面上的光栅表面并且与所述第二表面接触，或者是在所述第二表面上的楔形镜并且与所述第二表面接触。