技术总结
本公开涉及一种光学投影阵列曝光系统。公开了一种空间光调制器成像系统。该系统包括照明模块、投影模块及照明‑投影光束分离器，该照明模块被配置为提供照明光，其中，该照明光呈现由该空间光调制器成像系统成像的数据图案；该投影模块被配置为将该照明光投射至基板；该照明投影光束分离器耦接于该照明模块与该投影模块之间；其中，该照明一投影光束分离器被配置为接收沿照明光轴的该照明光，并将所接收的照明光沿投影光轴传送至该投影模块，其中该照明光轴与该投影光轴实质上彼此平行。
技术研发人员：大卫·马克尔;托马斯·莱迪格;杰弗瑞·卡斯基;陈正方
受保护的技术使用者：应用材料公司
文档号码：201610577265
技术研发日：2013.06.04
技术公布日：2016.11.30