一种多层膜层的中性灰度减光滤镜及其制造方法与流程

文档序号:11806743阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多层膜层的中性灰度减光滤镜,其包括基片,其特征在于,所述基片上镀有若干层膜层,所述膜层包括层叠的减反射膜和金属膜,相邻的两个所述金属膜之间设有至少一层所述减反射膜,所述减反射膜的构成材料的折射率大于1.30;所述减反射膜的膜层光学厚度的范围是1~300nm,所述金属膜的膜层光学厚度的范围是1~320nm。

2.如权利要求1所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜,其特征在于,所述减反射膜的构成材料包括至少一种选自Al2O3、AlF3、BeO、CaF2、CeF3、CeO3、Cr2O3、Dy2O3、Gd2O3、HfO2、Ho2O3、In2O3、LaF3、MgF2、MgO、NiO、Nd2O3、Pb6O11、SnO3、SiO、SiO2、Sm2O3、TiO2、Ta2O5、ThiO2、ZrO2的化合物或由上述化合物构成的混合物。

3.如权利要求1所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜,其特征在于,所述金属膜的构成材料包括至少一种选自Al、Ag、Cr、Ni、Au、Cu、Fe、Zn、Sn、Mo的金属单质或由上述金属单质构成的合金。

4.如权利要求1所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜,其特征在于,所述基片上镀有至少两层所述膜层。

5.如权利要求1所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜,其特征在于,所述滤镜在波长420~680nm的区间内,反射率的范围是1.50%~2.30%,透过率的范围是47.8%~51.3%。

6.如权利要求1所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜,其特征在于,所述滤镜在波长420~680nm的区间内,衰减最大端的反射率的范围是2.5%~3.1%,透过率的范围是11.45%~12.06%,衰减最小端的反射率的范围是1.5%~2.3%,透过率的范围是47.8%~96.3%。

7.如权利要求1所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜,其特征在于,所述滤镜为ND镜,在波长420nm-680nm的区间内,在波长580nm处,透过率最大,最大透过率为51.3%,在波长440nm处,透过率最小,最小透过率为47.8%,而在波长420nm-680nm的区间内,平均透过率50.5%;在波长420nm-680nm的区间内,在波长420nm处反射率最大,最大反射率为2.3%,在波长493nm处反射率最小,最小反射率为1.5%,而在波长420nm-680nm的区间内,平均透过率1.8%。

8.如权利要求1所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜,其特征在于,所述滤镜为GND镜,在波长420nm-680nm的区间内的衰减最大端的透过率,在波长580nm处透过率最大,最大透过率为12.06%,在波长440nm处透过率最小,最小透过率为11.45%,而在波长420nm-680nm的可视区域内,平均透过率11.95%;或者在波长420nm-680nm的区间内的衰减最大端的反射率,在波长420nm处反射率最大,最大反射率为3.1%,在波长493nm处反射率最小,最小反射率为2.5%,而在波长420nm-680nm的区间内,平均透过率1.8%;或者在波长420nm-680nm的区间内,衰减最小端的透过率在波长580nm处最大,最大透过率为96.3%,衰减最小端的透过率在波长440nm处最小,最小透过率为47.8%,而在波长420nm-680nm的区间内,平均透过率50.5%,在波长420nm-680nm的区间内,衰减最小端的反射率在波长420nm处最大,最大反射率为2.3%,衰减最小端的反射率在波长493nm处最小,最小反射率为1.5%,而在波长420nm-680nm的区间内,平均透过率1.8%。

9.如权利要求1所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜的制造方法,其包括的步骤有:

(1)将镀膜伞安装到真空室的腔体顶部,所述镀膜伞的旋转轴安装有动力源,所述真空室的腔体底部设有两个镀膜材源,修正板固定在所述真空室内,一端位于两个所述镀膜材源同一侧,采用真空泵将所述真空室抽至预定真空度;

(2)所述动力源驱动所述镀膜伞旋转,采用两个所述镀膜材源交替蒸镀所述膜层,所述膜层以预定的光学厚度和预定的次序依次层叠。

10.如权利要求9所述的多层膜层的中性灰度减光滤镜的制造方法,其中,将步骤(1)中的所述修正板取下,在步骤(1)和步骤(2)之间还包括如下步骤,在所述镀膜伞下方安装挡板,所述挡板上设有多个对称分布的渐变孔,所述渐变孔的截面为叶片形。

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