一种激光双通道同时输出设备和显微镜的制作方法

文档序号:11915050阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种激光双通道同时输出设备,其包括,

激光器,用于发射激光光束;

压电反射器,用于通过其扭转改变激光光束的方向;

压电驱动控制器,其与所述压电反射器连接,用于控制所述压电反射器的扭转;

第一二向色镜,用于激光光束的反射和透射;

光束分束器,用于将接收到的经第一二向色镜透射的激光分束为S光和P光,且能够调节所述S光的功率和P光的功率;

偏振分束立方体,用于接收所述S光和P光,并改变所述S光和P光的方向;

光电检测器,用于检测所述第一二向色镜反射的激光光束的光信号并与预设值比较;

反馈控制单元,所述反馈控制单元的输入端与所述光电检测器连接,所述反馈控制单元的输出端与压电驱动控制器连接;

所述反馈控制单元根据所述光电检测器接收到的光信号与预设值的比较结果,向所述压电驱动控制器发送控制信号,以控制所述压电反射器扭转;

当所述光信号与预设值不同时,所述压电驱动控制器控制所述压电反射器扭转,直至光信号与预设值相同时停止扭转;

当所述光信号与预设值相同时,所述压电反射器不发生扭转。

2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述光束分束器为液晶延迟器或含有波片的旋转器。

3.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述S光的功率和所述P光的功率独立的最小值为0,所述S光的功率和所述P光的功率独立的最大值为满功率。

4.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述偏振分束立方体镀有增透膜,以使所述光束的功率损失最小化。

5.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述激光器和所述压电反射器具有一一对应的多个。

6.根据权利要求5所述的设备,其特征在于,所述激光双通道同时输出设备还包括激光汇集单元,所述激光汇集单元用于将多个激光光束同轴合束以形成合束激光。

7.根据权利要求6所述的设备,其特征在于,激光汇集单元包括多个平行排列的第二二向色镜,且所述第二二向色镜的个数与所述激光器的个数相同;

从多个激光器发射出的平行的激光光束分别入射至多个所述第二二向色镜,从而将多束平行的激光光束进行同轴合束,其中与所述同轴合束的光的走向方向相反的一端的所述第二二向色镜仅选择性地反射所述平行的激光光束中的一束,而其他所述第二二向色镜在分别选择性地反射其他所述平行的激光光束的同时透射经其他第二二向色镜选择性地反射和/或透射的激光光束。

8.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述激光双通道同时输出设备还包括扩束镜,且所述扩束镜的个数与所述激光器的个数相同;

所述扩束镜用于将所述激光光束在经第一二向色镜反射和透射之前进行扩束。

9.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述压电反射器具有纳米级精度的调节旋钮以精确调节光束走向。

10.一种显微镜,其包括如权利要求1至9中任一项所述的激光双通道同时输出设备,以及两个显微镜单元,用于分别接收经所述偏振分束立方体改变方向的所述S光和P光。

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