技术总结
本实用新型公开了一种铌酸锂薄膜多功能集成光学器件,包括:基底材料、下层电极、下缓冲层、铌酸锂薄膜、波导耦合器、Y分支波导、上缓冲层、波导耦合器吸收层电极和Y分支波导调制器电极。本实用新型所述铌酸锂薄膜多功能集成光学器件可实现3dB波导耦合器与Y波导调制器的单片集成,有利于该集成芯片的小型化,可实现光纤陀螺用集成光学器件集成度的提升、光纤陀螺仪体积的缩小以及光纤陀螺系统可靠性的提升。
技术研发人员:李萍;史云玲
受保护的技术使用者:天津领芯科技发展有限公司
文档号码:201621134437
技术研发日:2016.10.18
技术公布日:2017.04.26