激光直接成像曝光机用移动聚焦结构及聚焦方法与流程

文档序号:12785541阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种激光直接成像曝光机用移动聚焦结构及聚焦方法,其包括曝光成像平台以及位于所述曝光成像平台正上方的曝光光路;还包括用于驱动曝光成像平台竖直升降的平台升降机构,所述平台升降机构驱动曝光成像平台竖直升降时,能使得置于曝光成像平台上PCB板的上表面位于曝光光路的成像焦面上。本发明通过平台升降机构实现曝光成像平台的整体升降,从而使得曝光成像平台上PCB板的上表面位于曝光光路的成像焦面上,与现有的聚焦相比,简化了曝光光路的光路结构,提高了光路运动时的稳定性,同时也简化了曝光光路的机械结构,降低了机械安装的难度,简化了曝光成像镜筒的聚焦步骤,安全可靠。

技术研发人员:李显杰
受保护的技术使用者:无锡影速半导体科技有限公司
文档号码:201710131483
技术研发日:2017.03.07
技术公布日:2017.06.30

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1