一种纳米压印模板及其制备方法与流程

文档序号:11406213阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种纳米压印模板的制备方法及纳米压印模板,该方法包括:提供基板,在所述基板上形成遮光条,所述遮光条将所述基板分隔为多个区域,每个区域对应一个待拼接的纳米压印模板单元;在所述基板及所述遮光条上涂覆压印胶;将所述纳米压印模板单元压印在其对应的区域的压印胶上;从所述基板远离所述压印胶的一侧照射紫外光,使得所述压印胶固化;将所述纳米压印模板单元从所述压印胶上脱模;去除所述遮光条上未固化的压印胶,以形成所述纳米压印模板。

技术研发人员:何晓龙;关峰
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司
技术研发日:2017.07.04
技术公布日:2017.09.01
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