技术特征：
技术总结
本发明提供了一种用于分配流体的装置。本文中的技术方案包括使用长形囊状部的基于囊状部的分配系统，该长形囊状部扩张以及收缩以辅助分配动作。该分配系统对通常与微型品制造的流体过滤相伴随的过滤器滞后进行补偿。该分配系统还提供了高纯度且高精度的分配单元。弯液面传感器检测过程流体在喷嘴处的弯液面的位置。长形囊状部单元通过使囊状部选择性地扩张或收缩而用于使弯液面的位置保持在特定位置处，从而移动弯液面位置或保持弯液面位置。长形囊状部的扩张还用于在完成分配动作之后的回吸动作。
技术研发人员：安东·J·德维利耶;罗德尼·L·罗宾森;大卫·特拉维斯;罗纳德·纳斯曼;詹姆斯·格罗特格德;小诺曼·A·雅各布森;大卫·黑策;利奥尔·胡利;乔舒亚·S·霍格
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2017.08.11
技术公布日：2018.02.23