实施例进行了描述，但是本公开不限于这些实施例，在本公开的范围之内可以进行各种修改或变形。
[0066]虽然参照示例性实施例已经对本发明进行了描述，但是应当理解，本发明不限于所公开的示例性实施例。应当对所附权利要求的范围给予最宽的解释，以使其涵盖所有这些变型例以及等同的结构和功能。
【主权项】
1.一种检测装置，其被构造为检测由具有彼此不同的栅格节距的栅格图案生成的莫尔纹图案，所述检测装置包括: 摄像单元，其被构造为拍摄所述莫尔纹图案的图像； 成像光学系统，其被构造为在所述摄像单元上形成所述莫尔纹图案的图像；以及 处理单元，其被构造为对由所述摄像单元拍摄到的所述莫尔纹图案的摄像结果进行处理,其中 所述摄像单元拍摄标记的图像，所述标记包括具有不大于所述成像光学系统的分辨能力的宽度的多个图案，所述多个图案被布置在测量方向上并且所述多个图案的宽度和间隔之间的占空比被改变，并且 所述处理单元通过对由所述摄像单元拍摄到的所述标记的所述摄像结果进行处理，来评估所述检测装置。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其中， 所述摄像单元拍摄具有所述占空比以正弦波图案变化的图案的标记的图像，并且 所述处理单元通过对由所述摄像单元拍摄到的标记的所述摄像结果进行处理，来评估所述检测装置。
3.根据权利要求1所述的检测装置，其中 所述处理单元通过对由所述摄像单元拍摄到的所述标记的所述摄像结果进行处理，来获得所述标记在改变所述图案的所述占空比的方向上的位置。
4.一种检测装置，其被构造为检测由具有彼此不同的栅格节距的栅格图案生成的莫尔纹图案，所述检测装置包括: 摄像单元，其被构造为拍摄所述莫尔纹图案的图像； 成像光学系统，其被构造为使所述摄像单元对所述莫尔纹图案的图像进行成像；以及 处理单元，其被构造为对由所述摄像单元拍摄到的所述莫尔纹图案的摄像结果进行处理,其中 所述摄像单元拍摄标记的图像，所述标记包括具有不大于所述成像光学系统的分辨能力的宽度的多个图案，所述多个图案被布置在测量方向上并且所述多个图案在非测量方向上的长度被改变，并且 所述处理单元通过对由所述摄像单元拍摄到的所述标记的所述摄像结果进行处理，来评估所述检测装置。
5.根据权利要求4所述的检测装置，其中 所述摄像单元拍摄具有以下图案的标记的图像，所述图案在非测量方向上的长度以正弦波图案变化，并且 所述处理单元通过对由所述摄像单元拍摄到的所述标记的所述摄像结果进行处理，来评估所述检测装置，进行所述检测装置的评估。
6.根据权利要求4所述的检测装置，其中 所述处理单元在所述非测量方向上对由所述摄像单元拍摄到的所述标记的图像进行积分，并且通过对由所述摄像单元拍摄到的所述标记的所述摄像结果进行处理，来评估所述检测装置。
7.根据权利要求4所述的检测装置，其中 所述处理单元通过使用通过所述积分获得的信号对由所述摄像单元拍摄到的所述标记的所述摄像结果进行处理，来获得所述标记在所述测量方向上的位置。
8.根据权利要求1所述的检测装置，其中 所述处理单元通过对由所述摄像单元拍摄到的所述标记的所述摄像结果进行处理，获得所述检测装置的所述成像光学系统的倍率，或者所述检测装置的测量重复性。
9.一种对准装置，其被构造为通过检测将在两个不同的被检测设备上分别形成的栅格图案叠加而生成的莫尔纹图案，来对所述两个不同的被测试设备进行对准，所述对准装置包括: 检测装置，其被构造为分别检测由形成在所述两个不同的被检测设备上的所述栅格图案生成的所述莫尔纹图案；以及 驱动机构，其被构造为基于所述检测装置的检测结果，确定所述两个不同的被检测设备的位置，其中 所述检测装置是根据权利要求1至权利要求8中任一项所述的检测装置。
10.一种压印装置，其被构造为通过使用形成有图案的模具，来在供给到基板上的压印材料上形成图案，所述压印装置包括: 检测装置，其被构造为检测由在所述模具上形成的栅格图案和在所述基板上形成的栅格图案生成的莫尔纹图案，在所述基板上形成的所述栅格图案具有与在所述模具上形成的栅格图案的栅格节距不同的栅格节距；以及基准标记，其用于评估所述检测装置，其中所述检测装置包括: 摄像单元，其被构造为拍摄所述基准标记的图像； 成像光学系统，其被构造为使所述摄像单元对所述基准标记进行成像；以及处理单元，其被构造为对由所述摄像单元拍摄到的所述基准标记的摄像结果进行处理，并且 所述摄像单元拍摄基准标记的图像，所述基准标记包括具有不大于所述成像光学系统的分辨能力的宽度的多个图案，所述多个图案被布置在测量方向上并且所述多个图案的宽度和间隔之间的占空比被改变，并且 所述处理单元通过对由所述摄像单元拍摄到的所述基准标记的所述摄像结果进行处理，来评估所述检测装置。
11.一种压印装置，其被构造为通过使用形成有图案的模具来在供给到基板上的压印材料上形成图案，所述压印装置包括: 检测装置，其被构造为检测由在所述模具上形成的栅格图案和在所述基板上形成的栅格图案生成的莫尔纹图案，在所述基板上形成的栅格图案具有与在所述模具上形成的栅格图案的栅格节距不同的栅格节距；以及 基准标记，其用于评估所述检测装置，其中 所述检测装置包括: 摄像单元，其被构造为拍摄所述基准标记的图像； 成像光学系统，其被构造为使所述摄像单元对所述基准标记进行成像；以及 处理单元，其被构造为对由所述摄像单元拍摄到的所述基准标记的摄像结果进行处理， 所述摄像单元拍摄基准标记的图像，所述基准标记包括具有不大于所述成像光学系统的分辨能力的宽度的多个图案，所述多个图案被布置在测量方向上并且所述多个图案在非测量方向上的长度被改变，并且 所述处理单元通过对由所述摄像单元拍摄到的所述基准标记的所述摄像结果进行处理，来评估所述检测装置。
12.根据权利要求10所述的压印装置，所述压印装置包括: 基板台，其被构造为保持所述基板，其中 所述基准标记被配设在所述基板台上。
13.物品的制造方法，所述制造方法包括: 通过使用根据权利要求10至权利要求12中任一项所述的压印装置在基板上形成图案；以及 对在形成所述图案的处理中形成有所述图案的基板进行处理。
【专利摘要】本公开提供了一种检测装置、压印装置及物品的制造方法。所述检测装置被构造为检测由具有彼此不同的栅格节距的栅格图案生成的莫尔纹图案，所述检测装置包括：摄像单元，其被构造为拍摄所述莫尔纹图案的图像；成像光学系统，其被构造为使摄像单元对所述莫尔纹图案进行成像；以及处理单元，其被构造为对由所述摄像单元拍摄到的所述莫尔纹图案的摄像结果进行处理，其中所述摄像单元拍摄包括具有不大于所述成像光学系统的分辨能力的宽度的多个图案的标记，所述多个图案布置在测量方向上并且所述多个图案的宽度和间隔之间的占空比被变化，并且所述处理单元通过对由所述摄像单元拍摄到的标记的所述摄像结果进行处理，来评估所述检测装置。
【IPC分类】G01B11-00, G03F7-00
【公开号】CN104849956
【申请号】CN201510080276
【发明人】稻田博志, 三岛和彦, 宫春隆文
【申请人】佳能株式会社
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年2月13日
【公告号】US20150235880