光学元件、光学系统以及摄像装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明设及光学元件、光学系统W及摄像装置。
【背景技术】
[0002] 在摄像机等光学设备中，为了调节向透镜等入射的入射光的光量，使用了光学光 阔、减光（ND;NeutralDensity)滤光器等。也在便携式电话、便携式终端等中推进了摄像 机的安装，也在该种摄像机中使用了光学光阔（例如，专利文献1)。将普通的光学光阔表 示在图1中。光阔910是在由遮光材料形成为板状的构件的中屯、部分形成开口部911而成 的，周边部分的光被遮挡，在形成有开口部911的中屯、部分透射光。图1的（a)是光阔910 的俯视图，图1的化）表示图1的（a)的单点划线1A-1B处的光的透射率。最近，由于便携 式电话、便携式终端的小型化、薄型化，摄像机也小型化。因此，所使用的光学光阔也小型 化，但是在小型的光学光阔910中，在开口部911的周围无法忽视光的衍射的产生，难W提 高分辨率。目P，要求一种推进摄像机的高像素化、另一方面不会使分辨率劣化的小型的光学 光阔。
[0003] 现有技术文献
[0004] 专利文献
[0005] 专利文献1 ;日本特开平11-231209号公报
[0006] 专利文献2 ;日本特开2011-221120号公报
[0007] 专利文献3 ;专利第4428961号公报
【发明内容】
[000引发巧要解决的间願
[0009] 作为成为该样的光学光阔的光学元件，如图2所示，公开了中屯、部分的光的透 射率较高、且光的透射率自中屯、部分向周边部分减少的结构的变迹滤光器（Apodization Filter)。其中，图2的（a)为在中屯、部分具有开口部921的光阔920的俯视图，图2的化） 表示图2(a)的单点划线2A-2B处的光的透射率。
[0010] 但是，使用树脂材料制造该样的光学元件时，存在光学元件翅曲为凹状或凸状的 情况。
[0011] 翅曲的光学元件的实质上的厚度增加，因此尤其是在推进小型化、薄型化的便携 式电话、便携式终端的方面存在问题。
[0012] 本发明是鉴于如上所述的问题而成的，其目的在于提供一种光学元件，其为光的 透射率自中屯、部分向周边部分单调地减少的光学元件，其中，即便在由树脂材料形成光学 元件的情况下，也没有翅曲或翅曲小。
[00。]用于解决间願的方秦
[0014] 根据本实施方式的一个观点，一种光的透射率自中屯、部分向周边部分单调地减少 的光学元件，其特征在于，具有：光吸收部，其形成于透明基板的一个面，且由吸收可见光的 一部分或者全部的材料形成，厚度自中屯、部分向周边部分单调地增加；光透射部，其由透射 可见光的材料形成，层叠于前述光吸收部；透明树脂层，其形成于前述透明基板的另一面， 且由透射可见光的材料形成，前述光吸收部、前述光透射部W及前述透明树脂层全部由树 脂材料形成。
[0015] 此外，根据本实施方式的另一观点，一种光的透射率自中屯、部分向周边部分单调 地减少的光学元件，其特征在于，具有：光吸收部，其形成于透明基板的一个面，且由吸收可 见光的一部分或者全部的材料形成，厚度自中屯、部分向周边部分单调地增加；光透射部，其 由透射可见光的材料形成，层叠于前述光吸收部；透明膜，其形成于前述光透射部之上，且 由透射可见光的材料形成，前述光吸收部W及前述光透射部由树脂材料形成，前述透明膜 由无机材料形成。
[0016] 此外，根据本实施方式的另一观点，一种光的透射率自中屯、部分向周边部分单调 地减少的光学元件，其特征在于，具有：透明中间膜，其形成于透明基板一个面，且由透射可 见光的材料形成；光吸收部，其形成于前述透明中间膜之上，，且由吸收可见光的一部分或 者全部的材料形成，厚度自中屯、部分向周边部分单调地增加；光透射部，其由透射可见光的 材料形成，层叠于前述光吸收部，前述光吸收部W及前述光透射部由树脂材料形成，前述透 明中间膜由无机材料形成。
[0017] 发巧的效果
[0018] 根据本发明，可W提供一种光学元件，其为光的透射率自中屯、部分向周边部分单 调地减少的光学元件，其由树脂材料形成，没有翅曲或者翅曲小。
【附图说明】
[0019] 图1为光阔的说明图。
[0020] 图2为变迹滤光器（apodizedfilter)的说明图。
[0021] 图3为理想的光学元件的结构图。
[0022] 图4为图3中所示的光学元件的制造方法的工序图（1)。
[0023] 图5为图3中所示的光学元件的制造方法的工序图（2)。
[0024] 图6为图3中所示的光学元件的制造方法的工序图（3)。
[0025]图7为实际所制作的光学元件的结构图。
[0026] 图8为第1实施方式中的光学元件的结构图。
[0027] 图9为第1实施方式中的光学元件的制造方法的工序图（1)。
[002引图10为第1实施方式中的光学元件的制造方法的工序图（2)。
[0029] 图11为第1实施方式中的光学元件的制造方法的工序图（3)。
[0030] 图12为第2实施方式中的光学元件的结构图。
[0031] 图13为第2实施方式中的光学元件的制造方法的工序图（1)。
[0032] 图14为第2实施方式中的光学元件的制造方法的工序图（2)。
[0033] 图15为第2实施方式中的光学元件的制造方法的工序图（3)。
[0034] 图16为第3实施方式中的光学元件的结构图。
[0035] 图17为第3实施方式中的光学元件的制造方法的工序图（1)。
[0036] 图18为第3实施方式中的光学元件的制造方法的工序图（2)。
[0037]图19为第3实施方式中的光学元件的制造方法的工序图（3)。
[003引图20为安装了第4实施方式中的摄像装置的智能手机的说明图。
[0039] 图21为第4实施方式中的摄像装置的说明图。
[0040] 图22为第4实施方式中的摄像装置的光学系统的说明图。
【具体实施方式】
[0041] 〔第1实施方式）
[0042]W下说明用于实施的方式。另外，对相同的构件等标注相同的附图标记并省略说 明。
[0043](光学元件的翅曲）
[0044] 首先，对光的透射率自中屯、部分向周边部分缓慢地减少的光学元件即所谓变迹滤 光器进行说明。该光学元件如图3所示，具有形成于透明基板10之上且由吸收可见光的材 料形成的光吸收部20、W及由透射可见光的材料形成的光透射部30。需要说明的是，图3 所示的光学元件表示没有翅曲等的理想的形状的光学元件。
[0045] 光吸收部20形成为凹状，W光吸收部20的厚度自中屯、部分向周边部分缓慢地增 加的方式形成。如此，通过W光吸收部20的厚度自中屯、部分向周边部分缓慢地变厚的方式 形成，可W使透过光吸收部20的光的光量自中屯、部分向周边部分缓慢地减少。目P，可W使 光的透射率自中屯、部分向周边部分缓慢地减少。
[0046] 光透射部30W将光吸收部20中形成为凹状的部分填埋的方式形成。此外，透明 基板10由阳T(polyethylenetere地thalate)等透射可见光的透明树脂材料形成。将该 样的光学元件用作便携式电话等中的照相机部分的光学系统的一部分时，要求使光学元件 较薄地形成。因此，对于该样的光学元件，例如，W使透明基板10的厚度约为50ym、光吸收 部20中的最厚的部分的厚度约为25ym、光透射部30中的