的其他变换矩阵。然后，利用该变换矩阵对修正前绘图数据各位置的坐标进行变换，通过这一变换，生成考虑到基板9变形的修正后的绘图数据。在通过该修正方式修正的绘图数据中，同上述，记号集合80包含的所有记号81的坐标和实际基板9上的记号81的坐标一致。但是记号81之间各部位设计位置的错位和上述第一修正方式的错位不同。在修正方式存储部220中，将用于求出变换矩阵时的参数等相异的修正方式，逐个作为单个的修正方式进行存储。
[0070]并且在其他修正方式中，例如，把记号集合80的多个记号81作为顶点，对基板9上的领域进行三角形分割。在该三角形分割中，在以3个记号81为顶点的各三角形领域内不包含其他记号81。在该修正方式中，以使通过记号81的设计位置求出的修正前的各三角形领域和通过记号81的测定位置求出的实际基板9的三角形领域一致的方式，进行绘图数据的修正。在修正后的绘图数据中，通过改变位置，以使得修正前的各三角形领域内的各部位位于修正后的各三角形的领域内。进而生成考虑到基板9变形的修正后的绘图数据。
[0071]在图1所示绘图装置中，在通过修正方式存储部220所存储的各修正方式修正后的绘图数据中，记号集合80所包含的所有记号81的坐标，优选地和实际基板9上的记号81的坐标(即测定位置)一致。而且，修正方式存储部220存储的修正方式数目达2个以上即可。另外，修正方式存储部220存储的修正方式，可为上述示例以外的方式。其他的修正方式包括，如对记号81之间位置的坐标进行样条插值的修正方式、对记号81之间位置的坐标进行逆距离载荷插值(空间插值:IDW)的修正方式等。
[0072]图5图示了通过数据修正部22修正绘图数据的流程图。在绘图装置I中，首先，在图2所示数据修正部22中，根据修正前的绘图数据来获得记号集合80的设计位置(即记号集合80所包含的多个记号81的设计位置)，然后将其存储在设计位置存储部221中备用(步骤Sll)。例如可以这样准备记号80的设计位置:根据由图案设计装置4制作的图案数据来获取该设计位置，然后将其存储在设计位置存储部221中。
[0073]准备好记号集合80的设计位置后，通过测定位置取得部222获取记号集合80的测定位置，即基板9上多个记号81的实际位置(步骤S12)。在步骤S12中，如图6所示，通过摄像部34对位于基板9上的多个记号81即记号集合80进行摄像(步骤S121)。接着，在步骤S121中，将通过摄像部34获取的图像发送至测定位置计算部228。在测定位置计算部228，根据该图像求出记号集合80的测定位置(步骤S122)。
[0074]获取记号集合80的测定位置后，如图5所示，分别针对修正方式存储部220所存储的多个修正方式，求出表示各修正方式修正精度的修正方式评估值(步骤S13?S15)。
[0075]在步骤S13中，如图7所示，首先从记号集合80中选择关注记号群(步骤S131)。关注记号群是记号集合80包含的多个(但比记号集合包含的所有记号81至少会少两个以上)记号81或一个记号81。接着，从多个所述修正方式中选择一个修正方式(步骤S132)。
[0076]接下来，基于在记号集合80中除去所选择的关注记号群之后的多个记号集合81 (以下简称“剩余记号群”)的设计位置及测定位置，通过所选择的修正方式，修正关注记号群的设计位置并获取修正位置(步骤S133)。然后，通过记号评估值计算部223，求出表示与关注记号群修正位置及测定位置间偏差的记号评估值(步骤134)。
[0077]记号评估值例如是指，关注记号群的修正位置和测定位置之间的距离。关注记号群为一个记号81时，记号评估值指这一个记号81的修正位置和测定位置之间的距离(以下简称“修正偏差距离”)。关注记号群为多个记号81时，记号评估值例如为关注记号群所包含的多个记号81的修正偏差距离的总和。记号评估值也可为例如关注记号群所包含的多个记号81的修正偏差距离的平均值或者最大值。
[0078]针对所选择的修正方式求出记号评估值后，回到步骤S132，选择下一个修正方式(步骤S135，S132)。在下一个修正方式中，仍通过步骤S133、S134求出记号评估值。在数据修正部22中，针对修正方式存储部220所存储的各修正方式，通过步骤S132?S135，求出各修正方式的记号评估值(步骤S13)。
[0079]步骤S13结束后，如图5所示，确认是否存在下一个关注记号群(步骤S14)。若没有下一个关注记号群，则进入步骤S15。若存在下一个关注记号群，则回到步骤S13选择下一个关注记号群，针对各修正方式求出记号评估值(S131?S135)。然后，重复步骤S131?S135、S14，直到没有下一个关注记号群为止。在记号评估值计算部223中，针对各修正方式，求出至少一种关注记号群的记号评估值。
[0080]在本实施方式中，各关注记号群是一个记号81，并且将记号集合80所包含的所有记号81分别作为关注记号群时(S卩，就所述至少一种关注记号群而言，将记号集合80所包含的所有记号81分别作为关注记号群时)的记号评估值，是针对各修正方式而通过记号评估值计算部223求出的，下面对此进行说明。换言之，在记号评估值计算部223中，针对各修正方式，把记号集合80所包含的各记号81依次作为关注记号群，反复进行步骤S131?S135、S14，求出所有种类关注记号群相关的记号评估值。而且，在记号评估值计算部223中，针对一种修正方式，求出记号81相关的所有记号评估值后，也可针对其他修正方式，求出记号81相关的所有记号评估值。
[0081 ] 在步骤S15中，与各修正方式相关地，基于通过步骤S13、S14求出的各关注记号群的记号评估值(即，针对全部记号81求出的记号评估值)，通过修正方式评估值计算部224求出修正方式评估值。修正方式评估值表示存储在修正方式存储部220中的各修正方式的修正精度。修正方式评估值，例如为针对所有记号81分别求出的记号评估值的总和。或者，修正方式评估值例如为针对所有记号81分别求出的记号评估值的最大值。
[0082]求出修正方式评估值，通过修正方式选择部225，对修正方式存储部220里存储的多个修正方式各自的修正方式评估值进行比较。然后，选择修正精度最高的修正方式，来作为修正基板9使用的修正方式(步骤S16)。在修正方式评估值是针对所有记号81分别求出的记号评估值的总和时，修正方式选择部225会选择修正方式评估值最小的修正方式，来作为修正精度最高的修正方式。在修正方式评估值为针对所有记号81分别求出的记号评估值中的最大值时，同样地，修正方式选择部225会选择修正方式评估值最小的修正方式，来作为修正精度最高的修正方式。
[0083]然后，通过绘图数据修正部226，运用由修正方式选择部225选择的修正方式来修正绘图数据(步骤S17)。修正后的绘图数据，被从绘图数据修正部226发送到曝光装置3的绘图控制器31。在图1所示的曝光装置3中，通过绘图控制器31，基于该修正后的绘图数据控制光出射部33和扫描机构35，在基板9上进行绘图(步骤S18)。
[0084]如所述说明，在绘图装置I中，通过测定位置取得部222获取基板9上的多个记号81即记号集合80的测定位置。在记号评估值计算部223中，基于从记号集合80中选出的除了关注记号群之外的剩余记号群的测定位置及设计位置，通过多个修正方式分别修正关注记号群的设计位置，进而通过各修正方式获取关注记号群的修正位置。然后，针对各修正方式，求出表示关注记号群修正位置和测定位置间偏差的记号评估值。在修正方式评估值计算部224中，与各修正方式相关地，基于针对各关注记号群求出的记号评估值，求出表示修正方式的修正精度的修正方式评估值。然后，在修正方式选择部225中，比较多个修正方式的修正方式评估值，选择修正精度最高的修正方式，通过绘图数据修正部226按所选择的修正方式修正绘图数据。
[0085]这样，在绘图装置I中，操