作人员无需测定基板9的变形量来决定修正方式，就能够从多个修正方式中自动选择修正精度最高的合适的修正方式。通过这样，可实现绘图数据的高精度化。结果，在绘图数据I中，能够实现考虑到结合基板9变形的高精度绘图。
[0086]在绘图数据I中，如上所述，关注记号群时一个记号81，因此能够易于从集合80中选择关注记号群。通过这样，可简化关注记号群相关记号评估值的计算。另外，即使记号集合80所包含的所有记号81依次被作为关注记号群，也能够控制关注记号群的数目变多。通过这样，可缩短计算所有记号评估值所需的时间。
[0087]另外，在所述实施方式中，通过各修正方式，可求出在基板9上分布的记号集合80包含的所有记号81，分别将它们逐个一对一地作为关注记号群时的记号评估值。然后，针对各修正方式，基于基板上分布的针对所有记号81，分别求出修正方式评估值。通过这样，可实现基板9上各位置绘图数据的高精度修正。
[0088]如所述，在记号评估值为关注记号群的修正位置和测定位置之间的距离，并且修正方式评估值为各关注记号群的记号评估值总和时，可自动实现使基板9上各位置偏差总和变小的修正。另外，在记号评估值为关注记号群的修正位置和测定位置之间的距离，并且修正方式评估值为关注记号群中最大的记号评估值(即记号评估值的最大值)时，可自动实现使基板9上各位置中最大偏差值变为最小的修正。
[0089]在绘图装置I中，如上所述，测定位置取得部222包括:摄像部34，其对记号集合80进行摄像；测定位置计算部228，其根据通过摄像部34获取的图像来求出记号集合80的测定位置。通过这样，无需其他装置，就能够通过绘图装置I自动获取记号集合80的测定位置。
[0090]所述绘图装置I可进行多种变换。
[0091]在数据修正部22中，在步骤S13中，如上所述，只要通过记号评估值计算部223针对至少一种关注记号群求出记号评估值即可。然后，在步骤S15中，与各修正方式相关地，基于针对该至少一种关注记号群求出的记号评估值，通过修正方式评估值计算部224求出修正方式评估值。这时，也能够通过比较各修正方式的修正方式评估值，从多个修正方式中自动选择修正精度最高的合适的修正方式。
[0092]基于至少一种关注记号群相关的记号评估值而求出的上述修正方式评估值，例如是该至少一种关注记号群的记号评估值的总和。这时，在步骤S16中，通过修正方式选择部225选择修正方式评估值最小的修正方式。通过这样，如所述，可自动实现使基板9上各位置偏差总和变小的修正。或者，修正方式评估值是指，例如该至少一种的关注记号群的记号评估值的最大值。这时，也在步骤S16中，通过修正方式选择部225选择修正方式评估值最小的修正方式。通过这样，如上所述，能够自动实现使基板9上各位置中最大偏差值变为最小的修正。修正方式评估值，例如可以是该至少一种关注记号群的记号评估值的平均值或平方和，亦可为平方根的总和。
[0093]在绘图装置I中，在满足既定条件时，如上所述，在取得完所有种类关注记号群相关的记号评估值之前，可以基于已获取的记号评估值(即，至少一种关注记号群的记号评估值)来求出修正方式评估值。例如，在获取多种关注记号群相关的记号评估值时，一个修正方式的记号评估值所示的偏差(即，关注记号群的修正位置和测定位置之间的偏差)，比剩余的修正方式的记号评估值所示的偏差更小，如果这一结果持续了规定圈数，则基于已获取的记号评估值求出修正方式评估值。或者，在记号集合80中能够选择的所有种类的关注记号群中，也可以在获取完规定比例的关注记号群相关的记号评估值时，基于已获取的记号评估值求出修正方式评估值。
[0094]如上所述，关注记号群不限于一个记号81，也可为记号集合80的一部分即多个记号81。例如，关注记号群是两个记号81时，在记号评估值计算部223中，通过针对记号集合80中两个记号81的全部组合分别求出各自的记号评估值，获取所有种类的关注记号群相关的记号评估值。
[0095]在所述数据处理装置2中，数据修正部22进行的修正，不一定是针对表示图案的光栅数据进行。例如，可通过数据修正部22修正表示图案的向量数据，然后通过将修正的向量数据变换为光栅数据，从而生成最终的绘图数据。
[0096]测定位置取得部222，不是一定包括摄像部34和测定位置计算部228。测定位置计算部222可以是数据接受部，例如，接受并取得由受理操作人员输入的记号集合80的测定位置的数据或者从其他装置发送来的记号集合80的测定位置的数据。
[0097]包括设计位置存储部221、测定位置取得部222、记号评估值计算部223、修正方式评估值计算部224、修正方式选择部225及绘图数据修正部226的装置(例如，上述的计算机系统)，基于基板9上的记号81的位置信息，可以作为对绘制在基板9上的图像的绘图数据进行修正的数据修正装置而单独使用。或者，该数据修正装置亦可和除曝光装置3以外的其他装置一起使用。
[0098]上述实施方式及各变形示例的构成，可在互不矛盾的前提下适当组合。
[0099]该发明虽进行了详细说明，但并不限于所述说明中的示例做法。因此，只要不逾越本发明范围，可有多种变换和样式。
【主权项】
1.一种数据修正装置，基于基板上的记号位置信息，对要在基板上绘制的图像的绘图数据进行修正，其特征在于，包括: 设计位置存储部，其存储记号集合的设计位置，所述记号集合是指，位于基板上并且用于修正绘图数据的多个记号， 测定位置取得部，其获取所述记号集合的测定位置， 记号评估值计算部，其基于除了从所述记号集合中选出的关注记号群之外的剩余记号群的测定位置和设计位置，通过算法相异的多个修正方式，分别对所述关注记号群的设计位置进行修正，来获取修正位置，针对各修正方式求出目标评估值，所述目标评估值表示所述关注记号群的所述修正位置和测定位置之间的偏差， 修正方式评估值计算部，其以与所述各修正方式相关的方式，基于通过所述记号评估值计算部针对至少一种关注记号群求出的记号评估值，求出表示所述各修正方式的修正精度的修正方式评估值， 修正方式选择部，其对多个所述修正方式的修正方式评估值进行比较，选择修正精度最高的修正方式， 绘图数据修正部，其利用由所述修正方式选择部选择的所述修正方式，来修正所述绘图数据。2.根据权利要求1所述的数据修正装置，其特征在于， 所述关注记号群是一个记号。3.根据权利要求2所述的数据修正装置，其特征在于， 所述记号评估值，是所述关注记号群的所述修正位置和所述测定位置之间的距离， 所述修正方式评估值，是所述至少一种关注记号群的记号评估值的总和， 所述修正方式选择部，选择所述修正方式评估值最小的修正方式。4.根据权利要求2所述的数据修正装置，其特征在于， 所述记号评估值，是所述关注记号群的所述修正位置和所述测定位置之间的距离， 所述修正方式评估值，是所述至少一种关注记号群的记号评估值的最大值， 所述修正方式选择部，选择所述修正方式评估值最小的修正方式。5.根据权利要求2所述的数据修正装置，其特征在于， 所述记号评估值计算部，针对所述各修正方式，求出将所述记号集合所含的全部记号分别作为关注记号群时的记号评估值， 所述修正方式评估值计算部，针对所述各修正方式，基于所述全部记号的记号评估值来求出修正方式评估值。6.根据权利要求5所述的数据修正装置，其特征在于， 所述记号评估值，是所述关注记号群的所述修正位置和所述测定位之置间的距离， 所述修正方式评估值，是所述至少一种关注记号群的记号评估值的总和， 所述修正方式选择部，选择所述修正方式评估值最小的修正方式。7.根据权利要求5所述的数据修正装置，其特征在于， 所述记号评估值，是所述关注记号群的所述修正位置和所述测定位置之间的距离， 所述修正方式评估值，是所述至少一种关注记号群的记号评估值的最大值， 所述修正方式选择部，选择所述修正方式评估值最小的修正方式。8.根据权利