。
[0068] 前述实施方式包括具有大致圆形形状的光学元件。然而，光学元件不限于圆形设 计。取而代之的是，包括内部和/或外部本体部分的光学元件的设计可W具有其它非圆形 的形状。图9是示出具有呈Ξ角形的整体式本体部分902的光学元件900的一示例的平面 图的示意图。整体式本体部分902包括外部本体部分904,内部本体部分906,将外部本体 部分904连接至内部本体部分906的Ξ个弯曲较链910,W及细长间隙908。围绕整体式本 体部分902的近似几何中屯、905,弯曲较链910布置在距彼此等距的点处。当受到从外部本 体部分904或从内部本体部分906所施加的力时，弯曲较链910呈现出悬臂状运动。例如， 较链910相对于外部本体部分904在箭头920的方向上W及沿Ζ的方向上是相对柔性的， 但在平行于较链的细长侧的轴线的方向上是相对较硬的。因此，内部本体部分906被限制 成少量的尖端、倾斜，或Ζ方向的运动。相反于图1Α和图5所示的实施方式，弯曲较链910 相对于中屯、905定向在径向与切向配置之间。
[0069] 图10是示出具有呈正方形的整体式本体部分1002的光学元件1000的一平面图 的示意图。整体式本体部分1002包括外部本体部分1004、内部本体部分1006,将外部本体 部分1004连接至内部本体部分1006的Ξ个弯曲较链1010,W及细长间隙1008。围绕整体 式本体部分1002的近似几何中屯、1005,弯曲较链1010布置在距彼此等距的点处。类似于 图9所示的较链910,弯曲较链1010呈现出的悬臂状运动。例如，较链1010相对于外部本 体部分1004在箭头1020的方向上W及沿Ζ方向上是相对柔性的，但是在平行于较链的细 长侧的轴线方向上是相对较硬的。因此，内部本体部分1006被限制成少量尖端、倾斜，或Ζ 方向的运动。弯曲较链1010相对于中屯、1050切向地定向。
[0070] 虽然目前提出的示例设计包括完全围绕内部本体部分延伸的外部本体部分，但替 代配置也是可能的，其中，外部本体部分部分地围绕内部本体部分延伸。例如，图11是示出 包括整体式本体部分1102的光学元件1100的一示例的平面图的示意图，整体式本体部分 具有内部本体部分1106、包括Ξ个分离部件1104a-l104c的外部本体部分，W及分别将外 部本体部分的部件1104a-1104c连接至内部本体部分1104的Ξ个弯曲较链lllOa-lllOc。 图11所示的设计与图10的设计W类似的方式运行，不同之处在于，外部本体部分的面积已 经减小，其中，紧固件或夹具可W用于将光学元件安装至安装衬底。
[0071] 根据本文所描述的任何一个实施方式的光学元件可使用计算机数字控制（CNC) 金刚石锐削工具来制造，其中，金刚石尖端锐削工具用于形成整体式本体部分中的开口。根 据所需的最终设计，孔可W延伸穿过整体式本体部分的整个厚度或者仅部分地穿过整体式 本体部分的厚度。因为本文所描述的光学元件由整体式本体部分形成，因此光学元件的不 需要组装。
[0072] 本文所描述的光学元件可W在许多不同的应用中使用，特别是在高性能的应用 中，诸如微光刻系统中W及其中的投影光学系统。本文所描述的光学元件在其它的高精度 的应用中也可能使有用的，其中分辨率和失真相对于光学性能是非常重要的，例如，在晶片 /忍片检查工具，如空间光学期间，或反光镜，其中，由于空间的限制，光学表面图像可能是 很大的挑战，和/或其中对于孔桐尺寸，重量的限制不利地影响厚度的纵横比。
[0073] 对多个实施进行了描述。然而，应当理解的是，在不偏离本发明的构思和范围的情 况下，可W对其进行各种修改。例如，各种应力减小光学元件的设计可W使用本文所描述的 任何实施方式中的一个或更多的特征来构成。在一些实施方式中，应力减小光学元件可W 包括在整体式本体部分上形成的涂层，W提高光学元件的反射率。例如，侣、金，和/或银 的薄膜可沉积在整体式本体部分的前和/或后表面上。在一些实施方式中，多个介电材料 薄层可W沉积在整体式本体部分的前和/或后表面上，W提高反射率。根据厚度、介电指 数，和/或选择用于运些层的材料，堆找可设计成W-个或多个所需的波长并W不同的角 度来反射入射光。例如，介电堆找可W设计成反射来自一波长范围的光，诸如，在可见光范 围（例如，约300皿至约700nm)，在紫外范围（例如，约10皿至约300nm)，或在红外范围 (例如，约700nm至约0. 3mm)。介质堆找还可W设计成允许光的某些波长W不同角度的传 输。例如，用于介电堆找的普通材料包括氣化儀、二氧化娃、五氧化粗、硫化锋，W及二氧化 铁。在一些实施方式中，本文所描述的光学元件可W包括涂层，W最小化某些波长的光的反 射率。反射层和/或介电堆找可使用诸如物理气相沉积、化学气相沉积、离子束沉积、分子 束外延，W及瓣射沉积等普通技术来沉积。
[0074]因此，其它实施方式可能在W下权利要求的范围中。
【主权项】
1. 一种光学元件，包括整体式本体部分，所述整体式本体部分包括： 内部本体部分； 外部本体部分，其围绕所述内部本体部分至少部分地延伸； 以及正好三个弯曲铰链，其将所述内部本体部分连接至所述外部本体部分， 其中，所述内部本体部分和所述外部本体部分中的一个限定配置成反射、折射，或衍射 光的光学活性部分， 所述内部本体部分和所述外部本体部分中的另一个限定安装部分。2. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，所述正好三个弯曲铰链使所述安装部分安 装到另一部件上，而不会降低所述光学活性部分的光学性能。3. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，所述内部本体部分是所述光学活性部分，并 且所述光学活性部分是反射镜。4. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，所述正好三个弯曲铰链中的每个相对于所 述整体式本体部分的几何中心基本上沿切线方向延伸。5. 根据权利要求4所述的光学元件，其中，所述正好三个弯曲铰链中的每个沿切向方 向的约30度内的方向延伸。6. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，所述内部本体部分具有圆形的形状。7. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，所述内部本体部分具有非圆形的形状。8. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，每个弯曲铰链通过所述内部本体部分与所 述外部本体部分之间的间隙与相邻弯曲铰链分离。9. 根据权利要求8所述的光学元件，其中，所述弯曲铰链中的至少一个和至少一个所 述间隙是弓形的形状。10. 根据权利要求9所述的光学元件，其中，所述间隙中的至少一个具有的弧长长于所 述弯曲铰链中的至少一个的弧长。11. 根据权利要求8所述的光学元件，其中，每个间隙从所述整体式本体部分的第一表 面延伸至所述整体式本体部分的对置第二表面，穿过所述整体式本体部分的厚度。12. 根据权利要求8所述的光学元件，其中，每个间隙具有第一端部部分和对置第二端 部部分，其中，第一间隙的所述第一端部部分在径向方向上与相邻间隙的所述第二端部部 分重叠。13. 根据权利要求12所述的光学元件，其中，第一弯曲铰链位于所述第一间隙的第一 端部部分与所述相邻间隙的第二端部部分之间。14. 根据权利要求13所述的光学元件，其中，所述第一弯曲铰链的厚度小于所述内部 本体部分的厚度并且小于所述外部本体部分的厚度。15. 根据权利要求14所述的光学元件，其中，所述第一弯曲铰链的顶面相对于所述内 部本体部分和所述外部本体部分的顶面是凹进的，并且所述第一弯曲铰链的底面相对于所 述内部本体部分和所述外部本体部分的底面是凹进的。16. 根据权利要求13所述的光学元件，其中，所述外部本体部分包括完整地连接至所 述第一弯曲铰链的搁板部分。17. 根据权利要求13所述的光学元件，其中，所述内部本体部分包括整体地连接至所 述第一弯曲铰链的伸出部分。18. 根据权利要求13所述的光学元件，其中，每个间隙的所述第二端部部分从所述缝 隙的第一端部部分径向地偏移。19. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，所述正好三个弯曲铰链中的每个相对于所 述整体式本体部分的几何中心基本上沿径向方向延伸。20. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，至少一个弯曲铰链具有的厚度小于所述整 体式本体部分的厚度。21. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，所述整体式本体部分的厚度从所述整体式 本体部分的几何中心沿径向方向减少或增加。22. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，所述整体式本体部分由以下组成的组中选 择的材料制成：玻璃、金属、玻璃-陶瓷基质、陶瓷、石英、硅、锗，以及铍。23. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，所述光学活性部分是透镜。24. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，所述光学活性部分是镜子。25. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，所述光学元件还包括在所述整体式本体部 分上的反射层。26. 根据权利要求25所述的光学元件，其中，所述反射层包括多个层。27. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，孔洞位于所述内部本体部分的中心处。28. 根据权利要求1所述的光学元件，其中，所述外部本体部分包括三个分离部件，每 个部件连接至相应的弯曲铰链。
【专利摘要】一种光学元件包括整体式本体部分，该整体式本体部分具有内部本体部分、围绕内部本体部分至少部分延伸的外部本体部分，以及将内部本体部分连接至外部本体部分的正好三个弯曲铰链。内部本体部分和外部本体部分中的一个限定配置成反射、折射，或衍射光的光学活性部分，并且内部本体部分和外部本体部分中的另一个限定安装部分。
【IPC分类】G02B7/182, G02B7/00
【公开号】CN105283789
【申请号】CN201480016954
【发明人】M.布雷默
【申请人】齐戈股份有限公司
【公开日】2016年1月27日
【申请日】2014年2月12日
【公告号】EP2956811A1, US9176299, US20140226223, WO2014127023A1