一种维修装置及系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体设备制造技术领域，具体涉及一种维修装置及系统。
【背景技术】
[0002]彩膜基板在制程过程中，如果受环境或设备内部粉尘等异物污染，异物会残留在彩膜基板各膜层中形成缺陷点，在最终产品中形成两点、暗点、亮线等不良，所以在实际生产中必须对缺陷点进行维修，提升良品率。
[0003]常用的彩膜基板不良维修方法为激光镭射法，此方法利用红外激光光束，对缺陷点进行镭射，使不良异物灰化，从而实现维修。但在实际应用过程中，由于彩膜基板上存在一定的像素和黑框矩阵，维修缺陷点时必须确保正常的像素和黑框矩阵不受影响，面积较大的缺陷点涉及多个像素，而现有镭射技术只能对每个像素的开口区域逐个维修，以保证黑框矩阵区域和正常像素不受影响。
[0004]现有的激光镭射方案存在以下技术缺陷:
[0005]1、通常，一个一般大小的缺陷点需要镭射至少30?40次，平均镭射一次耗时约40秒，维修单个缺陷点耗时长。此外，镭射的同时需要确保黑框矩阵的完整性，必须对逐个开口部内的黑色不良缺陷点逐一进行镭射，对于批量性的缺陷点或占像素点较多的缺陷点，维修耗时约需要30min，维修效率低，无法满足实际生产效率的需求。
[0006]2、在TFT/LCD基板的制造过程中，最常见的工艺为采用掩膜板曝光制造具有一定像素周期的彩色滤光片，在曝光过程中如果掩膜板受到异物污染，在曝光中会产生共同缺陷，即在基板内对称分布的、形态相同的缺陷。如图1所示，图中为一张彩膜基板，黑点表示形态相同、位置对称的缺陷点，共同缺陷通常为批量性发生的缺陷，但由于同一基板内不同缺陷需要逐一维修，耗时长，效率低，共同缺陷点较多时不得不放弃维修，造成极大的浪费。
【发明内容】
[0007]本发明针对现有技术中存在的上述不足，提供一种维修装置及系统，用以解决激光镭射的效率低的问题。
[0008]本发明为解决上述技术问题，采用如下技术方案:
[0009]本发明提供一种维修装置，包括:用于放置彩膜基板的平台和至少一组维修部，维修部设置在平台的上方，包括:激光光束分散部件、用于发射激光的激光发射器和用于聚拢激光的挡板罩；
[0010]激光发射器设置于挡板罩的上方，并借助激光传导光纤将激光传导至挡板罩内；[0011 ]激光光束分散部件设置在挡板罩内，用于将激光发射器发射的激光分散为多个激光光束，以使所述激光光束分别镭射彩膜基板的多个缺陷点。
[0012]优选的，所述激光光束分散部件包括相互垂直且高度位置不同的第一挡板组和第二挡板组，第一挡板组包括多个能够转动的第一挡板，第二挡板组包括多个能够转动的第二挡板，第一挡板与第二挡板能够形成多个开口区域，以使激光通过所述开口区域，并被分散为多个激光光束。
[0013]优选的，所述第一挡板组还包括第一驱动部，第一驱动部与第一挡板相连，用于驱动第一挡板转动，以使两两相邻的第一挡板之间形成狭缝；
[0014]所述第二挡板组还包括第二驱动部，第二驱动部与第二挡板相连，用于驱动第二挡板转动，以使两两相邻的第二挡板之间形成狭缝；
[0015]两两相邻的第一挡板之间形成的狭缝与两两相邻的第二挡板之间形成狭缝形成所述开口区域，当各第一挡板均处于水平状态时，第一挡板组闭合，当各第二挡板均处于水平状态时，第二挡板组闭合。
[0016]优选的，各第一挡板的宽度相等，各第二挡板的宽度相等。
[0017]优选的，在所述挡板罩的侧壁上设置有一组第一滑轨和一组第二滑轨，第一滑轨相对设置于第一挡板的两端的挡板罩的侧壁上，第二滑轨相对设置于第二挡板的两端的侧壁上；
[0018]第一滑轨内设置有第一滑块，第一滑块能够在第一滑轨内滑动，设置在第一挡板两端的第一滑块能够分别带动第一挡板的两端向相反方向倾斜；
[0019]第二滑轨内设置有第二滑块，第二滑块能够在第二滑轨内滑动，设置在第二挡板两端的第二滑块能够分别带动第二挡板的两端向相反方向倾斜。
[0020]进一步的，还包括显微镜，显微镜设置于所述激光光束分散部件的下方。
[0021]优选的，所述平台的上方设置有至少一个第一导轨和至少一个第二导轨，第一导轨与第二导轨相互垂直，第一导轨能够沿第二导轨移动；
[0022]所述激光发射器固定于第一导轨上，所述激光光束分散部件和挡板罩通过安装背板固定于第一导轨上，所述安装背板能够沿第一导轨移动。
[0023]优选的，所述第二导轨为两个，两个第二导轨平行设置，第一导轨的两端能够分别在所述两个第二导轨上移动；
[0024]当所述第一导轨为多个，且各第一导轨上均设置有多个维修部时，各第一导轨上的维修部数量相同且位置对应设置。
[0025]进一步的，所述维修装置还包括粉尘吸收装置，粉尘吸收装置设置于所述安装背板上，并位于所述激光光束分散部件与平台之间，包括:粉尘回收器、粉尘聚集器和用于产生负压的吸收管；
[0026]吸收管的前端设置有开口，吸收管的末端与粉尘回收器相连，能够利用负压吸收激光镭射缺陷点产生的粉尘；
[0027]粉尘聚集器呈圆弧状，设置于吸收管的前端的开口处，用于临时收集激光镭射缺陷点产生的粉尘。
[0028]进一步的，所述粉尘吸收装置还包括用于产生气流的吹气管，所述吹气管呈鸭嘴型，且所述吹气管的开口低于所述吸收管的开口。
[0029]优选的，所述吸收管开口向下且呈喇叭口状。
[0030]本发明还提供一种维修系统，包括:检查装置、控制器和如前所述的维修装置，
[0031]检查装置用于，确定缺陷点的坐标；
[0032]控制器用于，根据所述缺陷点的坐标，以及用户输入的缺陷点的尺寸，控制所述维修装置的激光光束分散部件，在所述缺陷点的上方，将激光发射器发射的激光分散为与所述缺陷点数量相同、大小相等的激光光束。
[0033]本发明能够实现以下有益效果:
[0034]本发明利用平台放置彩膜基板，在平台上方利用挡板罩聚拢激光发射器发射的激光，并利用激光光束分散部件将激光分散为多个激光光束，以使各激光光束分别镭射彩膜基板的多个缺陷点，从而实现利用一个激光源同时镭射彩膜基板上的多个缺陷点，缩短缺陷点的维修时间，提高维修效率；即使一张彩膜基板上存在较多缺陷点，也可以同步维修，避免放弃维修带来的浪费。
【附图说明】
[0035]图1为彩膜基板上共同缺陷点的示意图；
[0036]图2a为本发明实施例提供的维修装置的主视图；
[0037]图2b为本发明实施例提供的维修装置的俯视图；
[0038]图3为本发明实施例提供的激光光束分散部件的立体图；
[0039]图4a为本发明实施例提供的X方向挡板闭合时的示意图；
[0040]图4b为本发明实施例提供的X方向挡板打开形成狭缝的示意图；
[0041 ]图4c为本发明实施例提供的Y方向挡板闭合时的示意图；
[0042]图4d为本发明实施例提供的Y方向挡板打开形成狭缝的示意图；
[0043]图5为本发明实施例提供的激光光束分散部件的俯视图；
[0044]图6为本发明实施例提供的维修系统的结构示意图。
[0045]图例说明:
[0046]1、平台2、维修部3、激光发射器
[0047]4、挡板罩5、转轴6、第一驱动部
[0048]7、第二驱动部 8、开口区域 9、显微镜
[0049]10、安装背板 11、第一导轨 12、第二导轨
[0050]13、粉尘回收器14、粉尘聚集器15、吹气管
[0051]16、吸收管 41、第一滑轨 42、第二滑轨
[0052]411、第一滑块 421、第二滑块 61、检查装置
[0053]62、控制器 63、维修装置
【具体实施方式】
[0054]下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0055]本