一种用于不同平面样品对准的装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光学元件领域中的一种对准装置，更具体地涉及对不同平面上样品进行精确对准的装置。
【背景技术】
[0002]在同步辐射干涉光刻实验中，需要对亚毫米级的样品进行不同平面上的精确对准，例如对固定在样品夹一面的面积0.4*0.4mm2，中心间隔0.4mm的样品进行另一面上的中心狭缝遮挡，要求精度小于0.1mrn0现有技术使用昂贵的数码显微镜(例如CCD显微镜)进行对准，其装置结构复杂，价格昂贵，对于一般实验室用户以及仅要求亚毫米级对准的要求而言，使用光学显微镜显然成本太高而且不够方便快捷。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种用于不同平面样品对准的装置，从而解决普通实验室用户进行不同平面上亚毫米级对准时成本太高且不方便的问题。
[0004]本实用新型提供的用于不同平面样品对准的装置，包括:竖向设置的支架；上基板和下基板，上基板和下基板在水平方向上平行布置且通过支架连接为框架结构，上基板和下基板上分别设置有上对准十字线与下对准十字线，上对准十字线与下对准十字线的中心的连线垂直于上基板和下基板，上对准十字线与下对准十字线在竖直方向上的投影完全重合；以及样品台，样品台平行于上基板设置且通过支架固定于上基板的上方，样品台的中心处具有通孔，通孔的中心处于上基板和下基板的中心连线上。
[0005]上对准十字线与下对准十字线的线条均延伸至上基板和下基板的边框。
[0006]样品台的通孔为变截面孔。
[0007]上基板和下基板均为透明的玻璃基板。
[0008]下基板上还设置有辅助光源，辅助光源包围下对准十字线。
[0009]下基板上还设置有水平仪。
[0010]下基板下方还设置有若干可调节的支脚。
[0011]本实用新型通过采用最简单的“三点一线”的光学原理，通过上对准十字线和下对准十字线实现处于不同平面上的样品间的图案对准，简单方便而且对准精度能小于0.1毫米。
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的原理示意图；
[0013]图2是根据本实用新型的一个实施例的正面示意图。
【具体实施方式】
[0014]以下结合具体实施例，对本实用新型做进一步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本实用新型而非用于限制本实用新型的范围。
[0015]图1示出了本实用新型的原理图，由图1可知，本实用新型采用了三点一线的光学对准原理，先在竖直方向上设置两个对准十字线:上对准十字线12与下对准十字线13，两个对准十字线分别沿X、Y向延伸到装置的边框位置，而且线条粗细相同，两个对准十字线的交点的连线垂直于带下对准十字线13的底部平面；然后确认人眼位于两个对准十字线的交点的连线的上方，此时可以看到上下两对准十字线的X、Y向任意两条对应线在视场中重合；最后将需要对准的底层样品对准对准十字线的中心并进行固定，通过人眼判断第二层样品与底层样品的对准，对准时，每层样品上的图案的参照线在竖直方向的投影均与上对准十字线12与下对准十字线13重合。
[0016]图2示出了根据本实用新型的一个实施例，由图2可知，本实用新型包括样品台21、上基板22、下基板23和支架24，其中，上基板22和下基板23在水平方向上平行布置且通过竖向设置的支架24连接为框架结构，上基板22和下基板23上分别设置有上对准十字线12与下对准十字线13(如图1所示)。样品台21平行于上基板22设置且通过支架24固定于上基板22的上方。样品台21的中心部分与上基板22和下基板23的中心部分处于同一竖直线上。样品台21的中间部分具有通孔，该通孔为变截面孔以方便放置不同大小的样品，上基板22和下基板23均为透明的玻璃基板。在图2所示的实施例中，下基板23上还设置有辅助光源25，辅助光源25包围下对准十字线13且不妨碍上下对准十字线的对准。辅助光源25的照射亮度可以根据人眼的舒适度进行光强调节，使操作者直接通过肉眼就能准确实现不同平面上样品图案的准确对准。
[0017]另外，下基板23上还设置有水平仪26，下基板23下方还设置有若干支脚27，支脚27可调节下基板23的水平度，当水平仪26内的气泡位于中心位置时，即可判断下基板23处于水平位置。
[0018]本实用新型在操作时，例如对固定在样品夹一面的面积0.4*0.4_2，中心间隔0.4mm的样品进行另一面上的中心狭缝遮挡时。首先需要调节下基板23处于水平状态，然后进行人眼的定位，通过目测上对准十字线12和下对准十字线13是否重合以最终确认人眼位置，即对准十字线中心的垂直上方位置。人眼位置确认后，再移动该样品到样品台21的中心位置处进行对准，对准过程中人眼位置始终保持固定，待样品上的图案的参照线与上下对准十字线对准后，再将铜丝放置于样品台上进行对准并遮挡住中心狭缝，其对准精度小于0.1毫米。另外，本实用新型的设计简单实用，成本低廉。
[0019]以上所述的，仅为本实用新型的较佳实施例，并非用以限定本实用新型的范围，本实用新型的上述实施例还可以做出各种变化。即凡是依据本实用新型申请的权利要求书及说明书内容所作的简单、等效变化与修饰，皆落入本实用新型专利的权利要求保护范围。本实用新型未详尽描述的均为常规技术内容。
【主权项】
1.一种用于不同平面样品对准的装置，其特征在于，所述装置包括: 竖向设置的支架； 透明的上基板和下基板，所述上基板和所述下基板在水平方向上平行布置且通过所述支架连接为框架结构，所述上基板和所述下基板上分别设置有上对准十字线与下对准十字线，所述上对准十字线与所述下对准十字线的中心的连线垂直于所述上基板和所述下基板，所述上对准十字线与所述下对准十字线在竖直方向上的投影完全重合；以及 样品台，所述样品台平行于所述上基板设置且通过所述支架固定于所述上基板的上方，所述样品台的中心处具有通孔，所述通孔的中心处于所述上基板和所述下基板的中心连线上。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述上对准十字线与所述下对准十字线的线条均延伸至所述上基板和所述下基板的边框。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述样品台的所述通孔为变截面孔。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述上基板和所述下基板均为透明的玻璃基板。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述下基板上还设置有辅助光源，所述辅助光源包围所述下对准十字线。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述下基板上还设置有水平仪。
7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述下基板下方还设置有若干可调节的支脚。
【专利摘要】本实用新型提供一种用于不同平面样品对准的装置，包括：竖向设置的支架；上基板和下基板，上基板和下基板在水平方向上平行布置且通过支架连接为框架结构，上基板和下基板上分别设置有上对准十字线与下对准十字线，上对准十字线与下对准十字线的中心的连线垂直于上基板和下基板，上对准十字线与下对准十字线在竖直方向上的投影完全重合；以及样品台，样品台平行于上基板设置且通过支架固定于上基板的上方，样品台的中心处具有通孔，通孔的中心处于上基板和下基板的中心连线上。本实用新型通过“三点一线”的光学原理，实现处于不同平面上的样品间的图案对准，对准精度能小于0.1毫米。
【IPC分类】G03F9-00
【公开号】CN204557050
【申请号】CN201520095051
【发明人】赵俊, 薛超凡, 吴衍青, 杨树敏, 王连升, 邰仁忠
【申请人】中国科学院上海应用物理研究所
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年2月10日