压电式物镜驱动台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于微驱动应用领域，涉及一种压电式物镜驱动台。
【背景技术】
[0002]目前，在生物学中光学显微镜一直都是人们探索微观世界的有力工具，人们利用它不断对微观世界加深了认知。光学显微镜的发展对人类认识生命现象起着关键性作用。随着科技水平的不断进步，光学显微镜的应用领域在扩大延伸，同时也在不断的提高其成像质量。随着社会发展的需要，人们对显微样本内部三维结构观测的需求越来越大，这就对显微镜的分辨率提出了极高的要求。然而，传统光学显微镜的呈现清晰度完全取决于光学物镜的放大倍数，而当前光学物镜的最大放大倍数只能达到1600倍(人眼分辨的清晰度为Imm左右，以1600倍放大为例，最小观察精度0.625微米)。显然传统的光学显微镜在此已不能满足需求。
[0003]但目前现有物镜驱动装置一般采用电机驱动或者手调，此类装置具有精度达不到要求、响应时间慢、体积过大且噪声大等缺点。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的是提供一种可实现纳米级定位的压电式物镜驱动台。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案如下:一种压电式物镜驱动台，包括底座、固定在所述底座上的安装环、设置在所述底座上且可相对底座移动的运动平台、固定在所述运动平台上的物镜环和推动在所述运动平台上的压电陶瓷，所述物镜环设置在所述安装环的一侧且与所述安装环平行设置，所述压电陶瓷驱动所述运动平台相对安装环移动。
[0006]进一步的，所述压电式物镜驱动台还包括移动部，所述移动部的一端与运动平台铰接，另一端铰接在所述底座上，所述压电陶瓷抵压在所述移动部上，所述移动部上设置有凹槽，所述凹槽内设置有滚珠，所述压电陶瓷抵压在所述滚珠上。
[0007]进一步的，所述移动部上还设置有可伸入至凹槽内的预紧顶丝，所述预紧顶丝与压电陶瓷相对设置在所述滚珠的两侧。
[0008]进一步的，所述压电陶瓷上设置有抵压所述滚珠的钨钢片。
[0009]进一步的，所述压电式物镜驱动台还包括随动部，所述随动部与所述移动部平行设置，所述随动部的一端与运动平台铰接，另一端铰接在底座上，所述随动部、移动部、运动平台及底座之间柔性铰链连接，所述物镜环固定在所述运动平台上。
[0010]进一步的，所述随动部、移动部、运动平台及底座围设形成一个平行四边形。
[0011]进一步的，所述底座上设有端盖，所述压电陶瓷卡固在所述端盖上。
[0012]进一步的，所述端盖上开设有卡固所述压电陶瓷的T型卡槽。
[0013]进一步的，所述压电陶瓷上连接有屏蔽线，所述底座上开设有供所述屏蔽线穿过的通孔。
[0014]进一步的，所述底座包括水平放置的底板、竖直设置在所述底板上的固定台，所述安装环固定在所述固定台上，所述运动平台位于所述固定台的后侧，所述固定台朝向运动平台侧设置有引导坡面，所述运动平台朝向固定台侧设置有与所述引导坡面配合的配合面。
[0015]借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点:本实用新型的压电式物镜驱动台通过设置运动平台，并将物镜环设置在运动平台上，然后由压电陶瓷驱动运动平台相对安装环，从而依靠压电陶瓷驱动电源的电压激励，实现运动平台的微型位移，及实现纳米级定位。
[0016]上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本实用新型的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
【附图说明】
[0017]图1是本实用新型压电式物镜驱动台的主视图；
[0018]图2是图1的侧视图；
[0019]图3是图2的剖视图；
[0020]图4是图3中后盖板的结构图；
[0021]图5为图3中铰链结构的原理图。
【具体实施方式】
[0022]下面结合附图和实施例，对本实用新型的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
[0023]参见图1至图4，本实用新型一较佳实施例所述的一种压电式物镜驱动台包括底座1、固定在所述底座I上的安装环2、设置在所述底座I上的铰链机构3、固定在所述铰链机构3上的物镜环4和抵压在所述铰链机构3上的压电陶瓷5。所述底座I包括水平放置的底板11、竖直设置在所述底板11上的固定台12，所述安装环2固定在所述固定台12上，所述安装环2通过预紧顶丝(未图示)固定在固定台12上，所述物镜环4设置在所述安装环2的一侧且与所述安装环2平行设置，所述安装环2与显微镜中的物镜(未图示)螺纹孔相连，物镜环4与显微镜的物镜(未图示)相连。所述铰链机构3固定在所述底板11上。
[0024]所述铰链机构3包括活动安装在所述底座I的底板11上的移动部31和随动部32及连接所述移动部31和随动部32的运动平台33，所述随动部32、移动部31、运动平台33及底座I之间铰链连接，其采用的铰链连接方式为柔性铰链38连接，以使得该铰链机构3紧凑、传动关系明确、无传动空程，并且无摩擦。所述移动部31相对随动部32设置，在本实施例中，所述移动部31与随动部32平行设置，该随动部32、移动部31、运动平台33及底座I围设形成一个平行四边形(如图5)。诚然，在其他实施方式中，该铰链机构3还可以为其他铰链四杆机构或者由铰链四杆机构变形后的其他铰链机构3 (如滑块机构等)，当然，也可以仅在所述底座I上设置运动平台33，该运动平台33可相对底座I移动，所述运动平台33由所述压电陶瓷5驱动以相对安装环2移动，但，本实施例所采用的铰链机构为最优实施方式。所述物镜环4固定在所述运动平台33上，所述运动平台33和物镜环4上分别对应设置有螺纹孔(未图示)，安装时，通过预紧顶丝(未图示)将物镜环4固定在运动平台33上，所述运动平台33位于所述固定台12的后侧，在本实施例中，为了达到紧密配合，所述固定台12朝向运动平台33侧设置有引导坡面13，所述运动平台33朝向固定台12侧设置有与所述引导坡面13配合的配合面34。所述移动部31上设置有凹槽35，所述凹槽35内设置有滚珠36，该滚珠36可采用钢制滚珠。
[0025]所述铰链机构3与底座I均呈一体式结构，两者围设形成机械本体，所述压电陶瓷5设置在所述机械本体内，所述压电陶瓷5抵压在所述移动部31上，所述压电陶瓷5推动移动部31的驱动力与物镜环4的延伸线相交，通过铰链机构3可以将压电陶瓷5位移放大后带动物镜环4运动实现物镜纳米级定位。所述压电陶瓷5抵压在所述滚珠36上，所述移动部31上还设置有可伸入至凹槽35内的预紧顶丝37，所述预紧顶丝37与压电陶瓷5相对设置在所述滚珠36的两侧。所述压电陶瓷5的两端分别设置有钨钢片6，该钨钢片6采用环氧胶粘连在压电陶瓷5上，其中一端的钨钢片6通过间隙配合卡固在底座I上，从而使得压电陶瓷5在机械本体内准确定位，在本实施例中，所述底座I上设置端盖14，所述压电陶瓷5卡固在所述端盖14上，端盖14上开设有卡固所述压电陶瓷5的T型卡槽141。所述压电陶瓷5上另一端的钨钢片6抵压所述滚珠36，通过将钨钢片6抵压在所述滚珠36上，从而使得移动部31与压电陶瓷5的端面不垂直时，也能保证压电陶瓷5不会受到除垂直方向以外的力，在一定程度上保护压电陶瓷5，减少了压电陶瓷5的损耗。所述压电陶瓷5上连接有屏蔽线(未图示)，所述底座I上开设有供所述屏蔽线穿过的通孔15。所述压电陶瓷5是利用压电陶瓷5的逆压电效应来工作，仅依靠外加电场的大小就能够实现驱动、压电陶瓷5克服了以往机械式、液压式、气动式、电磁式等执行器惯性大、响应慢、结构复杂、可靠性差等不足，具有体积小、结构紧凑、无机械摩擦、无间隙、分辨率高、响应快、无发热、不受磁场干扰、可在低温，真