交错地设置于置放台21的底部，或将加热单元22及冷却单元23设置于置放台21的内部。该转印体载台2的底部也可进一步设置一阻热层24，该阻热层24以隔热性良好的材料制成，该阻热层24设置于冷却单元23的底部，以阻隔该转印体载台2的温度向下传递。
[0071]该转印体载台2可以进一步利用一第一升降机构5驱动升降，该第一升降机构5优选是设置于腔体I外部，该第一升降机构5具有一第一动力装置51，该第一动力装置51的构造并不限制，在本实施例中，该第一动力装置51可为步进马达或伺服马达等，第一动力装置51可以适当的设置于机体7内，该第一动力装置51通过一第一导螺杆组52连接于转印体载台2的底部，使得该第一升降机构5与转印体载台2连接，可用以驱动该转印体载台2上升及下降。
[0072]该软性材料载台3设置于腔体I的开口 12处，该软性材料载台3可用以放置一软性材料(如软性光罩)200，该软性材料200可更换地设置于软性材料载台3上。该软性材料载台3的形状及构造并不限制，在本实施例中，该软性材料载台3呈平板状，该软性材料载台3能开合地设置于腔体I的开口 12处，且在该软性材料载台3与软性材料200之间可设有密封环31，另于该软性材料载台3与腔体I之间也可设有密封环(图略)，藉以增加气密性。该软性材料载台3设有一透孔32，该透孔32可为一圆形孔，透孔32位于软性材料200的下方，使得软性材料200可以通过透孔32伸入腔体I的下腔室11内。
[0073]该上盖4设置于软性材料载台3的上方，该上盖4的形状及构造并不限制。在本实施例中，该上盖4包含一上盖本体41及一玻璃板42，该上盖本体41设有一开孔411，玻璃板42嵌设于上盖本体41的开孔411中。该上盖4可升降地设置于软性材料载台3的上方，且该上盖4与软性材料载台3及软性材料200之间也可以分别设有密封环43及44，藉以增加气密性。
[0074]该上盖4可以利用一第二升降机构6驱动升降，该第二升降机构6优选是设置于上盖4的上方，该第二升降机构6具有至少一第二动力装置61，该第二动力装置61的构造并不限制，在本实施例中，该第二动力装置61可为气压缸，且可设置两个第二动力装置61，第二动力装置61可利用一固定座62固定或活动地设置于机体7内，该第二动力装置61与上盖4连接，使得该第二升降机构6与上盖4连接，可用以驱动该上盖4上升及下降。该第二升降机构6驱动上盖4下降时，可将上盖4压制固定于软性材料载台3及软性材料200上，使该上盖4选择性地压制固定于软性材料载台3及软性材料200上。上盖4与软性材料200之间形成有一上腔室45，该上腔室45邻近于软性材料200。该上盖4可设有一第三接头46，第三接头46可与供气装置连接，以便于对上腔室45供气，使上腔室45能形成正压的状态。
[0075]如图4及图5所示，当该转印体100放置于转印体载台2，并且以负压吸附后，下腔室11抽真空以形成负压，此时软性材料200会因负压产生的吸力而微幅下垂凹陷变形，而后以第一升降机构5驱动转印体载台2上升，让转印体100接近软性材料200，直至两者完全的贴合，这动作也可以反复数次。这动作为消泡动作，主要是为了避免在转印体100与软性材料200之间会有空气存在，影响金属移除品质与良率。而后，对上腔室45供气，使上腔室45形成正压的状态，使转印体100及软性材料200稳定地接触，转印体100接触软性材料200上欲移除的金属201，同时起动该加热单元22，对转印体100及软性材料200进行加热，使软性材料200上欲移除的金属201转印至转印体100上。当下腔室11及上腔室45恢复常态压力，软性材料200即可向上移动复位，且第一升降机构5可以驱动转印体载台2下降复位，使转印体100与软性材料200分离，此时金属201已由软性材料200上剥离，且附着于转印体100上，进而完成软性材料的金属移除操作，上述操作也可以因应需要重复一至两次，使软性材料200的金属更确实地被移除。
[0076]请参阅图6及图7，该机体7内也可进一步设置一移动装置8，该移动装置8与第二升降机构6及上盖4连接，该移动装置8具有一第三动力装置81，该第三动力装置81的构造并不限制，在本实施例中，该第三动力装置81可为步进马达或伺服马达等，第三动力装置81通过一第二导螺杆组82与第二升降机构6及上盖4连接，使得该移动装置8与第二升降机构6及上盖4连接，可用以驱动该第二升降机构6及上盖4沿着水平方向移动，使得该上盖4可被驱动离开软性材料载台3的上方，以便于取放转印体100与软性材料200。该腔体I的一侧也可以设置有工作台9，可供放置软性材料200。另，移动装置8与第二升降机构6及上盖4之间也可以进一步设置一第三升降机构10，可用以驱动该第二升降机构6及上盖4上升及下降。
[0077]本实用新型软性材料的金属移除装置，包括腔体、转印体载台、软性材料载台及上盖，该软性材料载台可用以放置软性材料(如软性光罩)，该转印体载台可用以承载转印体，该腔体内部形成有下腔室，该上盖与该软性材料之间形成有上腔室，藉此，可利用气压方式使转印体及软性材料接触，同时可以利用软性材料载台的加热单元，对转印体及软性材料进行加热，使软性材料上的金属转印至转印体上，用于移除软性材料的金属，其操作简单容易，使生产成本得以降低。
[0078]然而以上所述仅为本实用新型的优选实施例，非意欲局限本实用新型的专利保护范围，故举凡运用本实用新型说明书及图式内容所为的等效变化，同理皆包含于本实用新型的权利保护范围内，合予陈明。
【主权项】
1.一种软性材料的金属移除装置，其特征在于，所述软性材料的金属移除装置包括: 一腔体，所述腔体的内部形成有一下腔室，所述腔体的顶部设有一开口，所述开口与所述下腔室相连通； 一转印体载台，所述转印体载台设置于所述腔体的所述下腔室内，所述转印体载台包含一置放台、一加热单元及一冷却单元，所述置放台用于承载一转印体； 一软性材料载台，所述软性材料载台设置于所述腔体的所述开口处，所述软性材料载台用以放置一软性材料，所述软性材料载台设有一透孔；以及 一上盖，所述上盖选择性地压制固定于所述软性材料载台及所述软性材料上，所述上盖与所述软性材料之间形成有一上腔室，所述上腔室能形成正压的状态。2.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置，其特征在于，所述腔体的侧壁设有一第一接头，所述第一接头用于连接抽气装置，所述腔体的侧壁设有一第二接头，所述第二接头用于连接供气装置。3.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置，其特征在于，所述置放台为一负压吸盘，所述加热单元设置于所述置放台的底部，所述冷却单元设置于所述加热单元的底部，所述冷却单元的底部设置有一阻热层。4.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置，其特征在于，所述转印体载台与一第一升降机构连接，所述第一升降机构用以驱动所述转印体载台上升及下降。5.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置，其特征在于，所述软性材料载台能开合地设置于所述腔体的所述开口处，所述软性材料载台与所述腔体之间设有密封环。6.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置，其特征在于，所述上盖包含一上盖本体及一玻璃板，所述上盖本体设有一开孔，所述玻璃板嵌设于所述上盖本体的所述开孔中。7.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置，其特征在于，所述上盖能升降地设置于所述软性材料载台的上方，所述上盖以一第二升降机构驱动升降，所述上盖与所述软性材料载台及所述软性材料之间分别设有密封环。8.根据权利要求7所述的软性材料的金属移除装置，其特征在于，所述软性材料的金属移除装置进一步包括一移动装置，所述移动装置与所述第二升降机构及所述上盖连接，用以驱动所述第二升降机构及所述上盖沿着水平方向移动。9.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置，其特征在于，所述腔体、所述转印体载台、所述软性材料载台及所述上盖设置于一机体内。10.根据权利要求1所述的软性材料的金属移除装置，其特征在于，所述上盖设有一第三接头，所述第三接头用于连接供气装置，能对所述上腔室供气，使所述上腔室形成正压的状态。
【专利摘要】一种软性材料的金属移除装置，所述软性材料的金属移除装置包括一腔体、一转印体载台、一软性材料载台及一上盖。腔体的内部形成有一下腔室，腔体的顶部设有一开口，开口与下腔室相连通。转印体载台设置于腔体的下腔室内，转印体载台包含一置放台、一加热单元及一冷却单元，置放台用于承载一转印体。软性材料载台设置于腔体的开口处，软性材料载台用以放置一软性材料，软性材料载台设有一透孔。上盖选择性地压制固定于软性材料载台及软性材料上，上盖与软性材料之间形成有一上腔室，上腔室能形成正压的状态。本实用新型提供的软性材料的金属移除装置用于移除软性材料的金属，其操作简单容易，使生产成本得以降低。
【IPC分类】G03F1/60, G03F1/68, G03F1/82
【公开号】CN204945614
【申请号】CN201520650878
【发明人】黄正忠, 吴守满
【申请人】迅得机械股份有限公司
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2015年8月26日