精度，经研究发现，非晶硅材料既可准确形成以上吸光层2，也可起到较高的吸光效果。
[0046]优选的，吸光层2的厚度在10nm至lOOOnm。
[0047]显然，若吸光层2的厚度太薄则不能起到吸光的作用，而若其厚度太大，则又会对从反射条I间透过的光产生影响(如可能将斜向透过的光也吸收掉)，从而降低线栅偏振片的透过率。经研究发现，以上厚度范围的吸光层2是比较合适的。
[0048]通过FDTD算法，对结构如图4所示(其中反射条I材料为铝，反射条I宽度为10nm，间隔为10nm)的线栅偏振片对不同波长光的反射率(当然是指光从具有吸光层2—侧照射时)进行模拟，得到如图11所示的具有不同厚度非晶硅吸光层2的线栅偏振片的反射率曲线。可见，与没有吸光层2的线栅偏振片相比，各具有吸光层2的线栅偏振片在可见光波长(400nm至760nm)范围内的反射率均明显降低，这表明本实施例的线栅偏振片确实可起到降低环境光反射的作用。
[0049]优选的，线栅偏振片还包括设于吸光层2远离反射条I一侧的高折射率层3，高折射率层3的材料的折射率大于或等于1.5，更优选的，高折射率层3由氮化硅或氧化硅构成。
[0050]如图9所示，为进一步的改善吸光效果，故还可在吸光层2远离反射条I的一侧(如在吸光层2上)增设具有较高折射率的高折射率层3，从而将光线汇聚于吸光层2表面，提高其对光线的吸收。具体的，该高折射率层3的材料的折射率应大于或等于1.5，更优选在1.5至3，而其具体材料可为氮化硅或氧化硅，这两种材料既满足以上折射率条件，也可以形成足够精细的结构。
[0051 ]优选的，高折射率层3的厚度在50nm至100nm0
[0052]显然，高折射率层3也有一定的优选厚度范围，过薄则起不到应有效果，过厚则会对结构稳定性等造成影响。经研究发现，以上的厚度范围是优选的。
[0053 ] 通过roTD算法，对结构如图9所示(其是如图4所示的具有300nm厚的3 ^晶硅吸光层2再加上高折射率层3)的线栅偏振片对不同波长光的反射率(当然是指光从具有吸光层2—侧照射时)进行模拟，得到如图12所示的具有不同厚度氮化硅(Si3N4)高折射率层3的线栅偏振片的反射率曲线。可见，在增加了高折射率层3之后，可以进一步降低线栅偏振片在可见光范围内的反射率。
[0054]具体的，由于以上线栅偏振片中的结构十分细小，故其难以通过常规的光刻工艺制备，而可由纳米压印方式形成，其制备方法具体可包括:
[0055]SOl、在基底9上依次形成铝金属层11 (如厚度在10nm至200nm)、非晶硅层21 (如厚度在10nm至300nm)、氮化娃层31(如厚度在10nm至300nm)，最后在其上涂布压印胶8(如厚度0.2μηι至Ιμπι)，得到如图5所示的结构。
[0056]S02、如图6所示，用纳米压印模板89在压印胶8中压出线栅图形，之后用氧等离子将残留在凹部的压印胶8灰化除去，得到如图7所示的结构。
[0057]S03、依次用六氟化硫/氧气刻蚀氮化硅层31，用氯气/六氟化硫/氦气刻蚀非晶硅层21，用氯气/三氯化硼刻蚀铝金属层11，得到如图8所示的包括反射条1、吸光层2、高折射率层3的结构。
[0058]S04、将残余光刻胶8灰化除去，得到如图9所示的线栅偏振片。
[0059]S05、可选的，还可继续保护层5，将反射条1、吸光层2、高折射率层3封闭，得到另一种如图10所示的线栅偏振片。
[0060]实施例2:
[0061]本实施例提供一种液晶显示面板，其包括上述的线栅偏振片，且线栅偏振片的反射条具有吸光层的一侧朝向液晶显示面板的出光面。
[0062]也就是说，可在常规的液晶显示面板中使用以上的线栅偏振片，从而降低其对环境光的反射，改善显示效果。
[0063]其中，液晶显示面板中出光侧和入光侧的偏振片(或称上偏振片和下偏振片)可均采用以上的线栅偏振片，也可只有一个为以上线栅偏振片，另一个仍为常规的偏振片。但不论线栅偏振片位于什么位置，其都应当是吸光层比反射条更接近液晶显示面板的出光侧，从而使其既可降低对环境光的反射，改善显示效果，又可将来自背光源的光反射回去，提高光能利用率。
[0064]其中，液晶显示面板可包括阵列基板、彩膜基板等基板，而这些基板均具有各自的基底。此时，以上线栅偏振片可具有自己独立的基底并被贴附在这些基板外侧;或者，线栅偏振片的基底也可与这些基板的基底“公用”，即以上反射条、吸光层、高折射率层、保护层等也可直接形成在这些基板的基底外侧。
[0065]具体的，该液晶显示面板可为电子纸、手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。
[0066]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种线栅偏振片，包括多个相互平行且间隔排布的反射条，其特征在于，所述线栅偏振片还包括: 设于所述反射条一侧的吸光层。2.根据权利要求1所述的线栅偏振片，其特征在于， 所述吸光层由非晶硅材料构成。3.根据权利要求1所述的线栅偏振片，其特征在于， 所述吸光层的厚度在10nm至100nm04.根据权利要求1所述的线栅偏振片，其特征在于，还包括: 设于所述吸光层远离反射条一侧的高折射率层，所述高折射率层的材料的折射率大于或等于1.5。5.根据权利要求4所述的线栅偏振片，其特征在于， 所述高折射率层由氮化硅或氧化硅构成。6.根据权利要求4所述的线栅偏振片，其特征在于， 所述高折射率层的厚度在50nm至lOOOnm。7.根据权利要求1至6中任意一项所述的线栅偏振片，其特征在于， 所述反射条由金属材料构成。8.根据权利要求1至6中任意一项所述的线栅偏振片，其特征在于， 每条所述反射条的宽度在50nm至200nm，相邻反射条的间的距离在50nm至200nm。9.根据权利要求1至6中任意一项所述的线栅偏振片，其特征在于，还包括: 透明的基底，所述吸光层设于所述反射条远离基底的一侧。10.一种液晶显示面板，其特征在于，包括: 权利要求1至9中任意一项所述的线栅偏振片，其中线栅偏振片的反射条具有吸光层的一侧朝向液晶显示面板的出光面。
【专利摘要】本实用新型提供一种线栅偏振片及液晶显示面板，属于线栅偏振片技术领域，其可解决现有的线栅偏振片容易将环境光反射回去，影响显示效果的问题。本实用新型的线栅偏振片包括多个相互平行且间隔排布的反射条，以及设于所述反射条一侧的吸光层。
【IPC分类】G02F1/1335, G02B5/18, G02B5/30
【公开号】CN205317974
【申请号】CN201620061474
【发明人】何晓龙, 王维, 姚继开, 黄华, 周婷婷
【申请人】京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2016年6月15日
【申请日】2016年1月21日