专利名称：图形荧光显示管的制作方法
技术领域：
本发明涉及图形荧光显示管。
背景技术：
下面参照
现有技术中的图形荧光显示管。
图5(a)是现有技术中的图形荧光显示管的阳极基板的平面图，图5(b)是图5(a)的Z5-Z5局部剖视图。
在玻璃基板B5上把阳极电极A51～A5m和栅极G51～G55通过绝缘层IN5形成为矩阵状。栅极G51～G55和绝缘层IN5在阳极电极A51～A5m与栅极G51～G55的交叉部分上形成窗G511～G55m。在该窗G511～G55m的阳极电极上涂布荧光体PH5。阳极电极A51～A5m、栅极G51～G55和绝缘层IN5由厚膜构成(例如参看实开昭63-69354号公报)。
在图5的图形荧光显示管中，为了适应高精细化而必须增加阳极电极A51～A5m和栅极G51～G55的个数，但随着它们的个数的增加，而使逐线扫描频率变高，因使占空系数下降又使辉度降低。为了不使辉度降低而必须提高阳极电压。并且为了增加阳极电极A51～A5m和栅极G51～G55的个数而必须使它们的宽度变窄，但这对厚膜而言是困难的。
发明内容
本发明鉴于上述问题，把不提高逐线扫描频率但增加阳极电极的个数，从而实现高精化作为目的。
本发明的图形荧光显示管具有由n行m列构成的n×m个阳极电极和n/k(k为任意的正整数)个网状栅极；将各列的n个阳极电极按每组k个分成n/k组，在各列上配置k根阳极配线，将各组的k个阳极电极分别连接在各列的k根不同的阳极配线上；n/k个网状栅极分别覆盖全列的一组阳极电极(k行的阳极电极)；阳极电极和阳极配线隔着绝缘膜层叠，通过填充在绝缘膜通孔内的导电材料相连接；阳极电极、阳极配线和绝缘膜由0.01～数μm厚的薄膜组成。
本发明以上述的图形荧光显示管为基础的图形荧光显示管，阳极配线在与绝缘膜的通孔对应的位置上具有焊盘。
图1是表示与本发明的实施方式有关的荧光显示管的阳极电极和栅极的配置关系的平面图。
图2是表示与本发明的实施方式有关的荧光显示管的阳极电极配线关系的平面图。
图3是表示图2的阳极配线图形的平面图。
图4是图2的Z1-Z1，Z2-Z2的局部剖视图。
图5是现有技术中的荧光显示管的阳极基板的平面图。
具体实施例方式
下面参照
本发明的实施方式。
图1是表示与本发明的实施方式有关的荧光显示管的阳极电极和栅极的配置关系的平面图。
B1是玻璃的阳极板，在该阳极基板B1上形成由9行m列组成的9×m个阳极电极A11～Am9。G1～G3是网状的栅极、这些栅极控制从电子源(图中未示出)向阳极电极A11～Am9发射的电子。栅极G1、栅极G2和栅极G3分别覆盖阳极电极A11～Am1、A12～Am2、A13～Am3的三行份，阳极电极A14～Am4、A15～Am5、A16～Am6的三行份，阳极电极A17～Am7、A18～Am8、A19～Am9的三行份。也就是说，一个栅极在覆盖各列的九个阳极电极内的三个。
而栅极的个数和一个栅极覆盖的阳极电极的个数不受上述的限制。另外电子源可以是灯丝(热阴极、场效应发射型电子源(冷阴极))等。
图2是表示与本发明的实施方式有关的荧光显示管的阳极电极的配线关系的平面图，只图示出图1的三列份的阳极电极A11～A39。
逐列分别配置三根阳极配线W11～W13、W21～W23、W31～W33，各阳极电极和各阳极配线例如阳极电极A11和阳极配线W11、阳极电极A12和阳极配线W12、阳极电极A13和阳极配线W13分别通过后述的填充在通孔S11、S12、S13中的导电材料电连接。
图2中把各列的九个阳极电极按每组三个分成三组。在例如第一列的情况下，把阳极电极A11～A19按每组3个分成A11～A13、A14～A16、A17～A19三组，对第2列以下的列也相同。因此一个栅极覆盖各列的三个阳极电极即三行的阳极电极，所以与一个栅极覆盖各列的一个阳极电极(或一行的阳极电极)的方式相比，占空系数增加到3倍。因此如按本实施方式，则在阳极电压相同的情况下与一个栅极覆盖各列的阳极电极(或一行阳极电极)的方式相比，辉度增加到3倍。
图3是表示图2的阳极配线图形的平面图。
阳极配线W11～W13、W21～W23、W31～W33在与图2的通孔对应的位置上形成焊盘。例如阳级配线W11的焊盘L11、L14、L17与通孔S11、S14、S17相对应，阳极配线W12的焊盘L12、L15、L18与通孔S12、S15、S18相对应，阳极配线W13的焊盘L13、L16、L19与通孔S13、S16、S19相对应。阳极配线的焊盘在宽度上比阳极配线的其它部分宽，通孔的导电材料接触在焊盘上，是使阳极和阳极配线可连接的技巧。
图4是图2的Z1-Z1部分、Z2-Z2部分的剖视图。
在图4中，B1是玻璃的阳极基板，IN1是绝缘膜、A13～A33(图4(a))、A11～A19(图4(b))是阳极电极，PH13～PH33(图4(a))、PH11～PH19(图4(b))是荧光体膜，G1、G2、G3是栅极，L13～L33(图4(a))、L11～L14(图4(b))是焊盘，S13～S33(图4(a))、S11～S14(图4(b))是通孔，W11～W32是阳极配线。
在图4(b)中，通孔S11形成在与焊盘L11对应的绝缘膜IN1上，被导电材料充填。通过该导电材料，使阳极配线W11的焊盘L11和阳极电极A11电连接起来。其它的通孔也与通孔S11相同。
阳极配线W11等形成在阳极基板B1上，在配线W11上形成绝缘膜IN1，在该绝缘膜上形成阳极电极A11等，由于使阳极配线W11等和阳极电极A11等立体地配置，而可以提高阳极配线和阳极电极的密度。
在图4中，各阳极配线、阳极电极和绝缘膜分别由薄膜形成(图1～图3都是相同的)。
下面说明图1～图4的阳极配线、阳极电极、绝缘膜等形成的步骤和荧光显示管的制造方法。
在厚度1.1mm的玻璃的阳极基本上利用溅射法形成1.5μm的铝膜，用光刻法形成阳极配线图形。阳极配线的宽度和线间距都为20μm。阳极配线的膜厚可以在0.1μm～数μm的范围。阳极配线形成后利用CVD法(ChemicalVapor Deposition)形成膜厚1μm的绝缘膜(SiOx膜)，利用光刻法形成通孔，绝缘膜厚可以在0.01μm～数μm的范围。绝缘膜形成后利用溅射法形成1μm厚的铝膜，利用光刻法形成阳极电极图形。这时铝充填到绝缘膜的通孔中。阳极电极的膜厚可以在0.01μm～数μm的范围。阳极电极形成后利用涂粉浆法在阳极电极上形成厚度数μm～120μm的荧光体膜。而阳极电极也可以利用PVD法(Physical Vapor Deposition)形成。
在上述阳极板上中途形成金属网栅极。利用该阳极基板借助现有技术中的荧光显示管的制造方法制造本发明的荧光显示管。
为了提高阳极配线的配线密度，必须使阳极配线间隔变小，因此必须使焊盘直径变小。可是，焊盘的直径一变小，通孔的直径也必须变小，如果使通孔的直径变小，在绝缘层是厚膜的情况下，则导电材料不能充分地充填到通孔中，会引起阳极配线与阳极电极的接触不良。
本发明因用薄膜形成阳极配线、阳极电极和绝缘层，所以既可以防止这个接触不良，又可以提高阳极配线和阳极电极的密度。
虽然在上述的实施方式中，是以具有由9行m列组成的9×m个阳极电极，把一到9个阳极电极按每组3个分成3组，在各列中配置三根阳极配线为例说明的，但本发明不受此限制，也可以具有由n行m列组成的n×m个阳极电极，把一列n个阳极电极按每组k个分成n/k组，在各列中配置k根阳极配线。而网状栅极可以配置n/k个，一个网状栅极覆盖全列(1～m列)的一组阳极电极即k行的阳极电极。在此虽然n/k取整数是基本的，但在不是整数时，k可以取舍去小数以后的余数的整数。另外在纵向的阳极电极排列和横向的阳极电极的排列中可以把任一个称为列，把任一个称为行，本发明不受实施方式的称呼方式限制。
因本发明是一个栅极覆盖各列的多个阳极电极(或多行的阳极电极，所以与一个栅极覆盖各列的一个阳极电极或一行的阳极电极)的方式相比可以增大占空系数。因此如采用本发明的方式，在阳极电压相同的情况下，与一个栅极覆盖各列的一个阳极电极(或一行阳极电极)相比，可以提高辉度。
因本发明用薄膜形成阳极配线、阳极电极和绝缘层，所以可以提高阳极配线和阳极电极的密度，可以使荧光显示管精细化。
因为本发明在阳极板上形成配线，在阳极配线上形成绝缘膜，在该绝缘膜上形成阳极电极，又因为阳极配线与阳极电极立体分离配置，所以可以提高阳极配线和阳极电极密度。并且在这种情况下，因为用薄膜形成绝缘层，即使使阳极配线和阳极电极的通孔的直径变小，因为导电材料能确实充填入通孔中，所以也不会发生阳极电极配线与阳极电极的接触不良。
因本发明把一个栅极覆盖阳极电极的各列的多个阳极电极(或多行阳极电极的方式)和使阳极配线和阳极电极立体配置并用薄膜形成阳极配线、阳极电极和绝缘层的方式结合起来，所以可以使荧光显示管进一步精细化。
因本发明隔着绝缘膜立体配置阳极配线和阳极电极，与连接两者的绝缘膜的通孔相对应在阳极配线上形成焊盘，所以可以确实使充填在通孔中的导电材料与阳极配线连接起来。
权利要求
1.一种图形荧光显示管，其特征在于具有由n行m列构成的n×m个阳极电极和n/k(k为任意的正整数)个网状栅极；将各列的n个阳极电极按每组k个分成n/k组，在各列上配置k根阳极配线，将各组的k个阳极电极分别连接在各列的k根不同的阳极配线上；n/k个网状栅极分别覆盖全列的一组阳极电极(k行的阳极电极)；阳极电极和阳极配线隔着绝缘膜层叠，通过填充在绝缘膜通孔内的导电材料相连接；阳极电极、阳极配线和绝缘膜由0.01～数μm厚的薄膜组成。
2.如权利要求1所述的图形荧光显示管，其特征在于阳极配线在与绝缘膜的通孔相对应的位置上具有焊盘。
全文摘要
为了既不降低图形荧光显示管的占空系数,又能实现高精化,而提供一种图形荧光显示管,在阳极电极(A11～A19)上形成三根阳极配线(W11～W13),将阳极电极(A11～A19)三个一组分成三组,使阳极电极(A11、A14、A17)连接在阳极配线(W11)上,使阳极电极(A12、A15、A18)连接在阳极配线(W12)上,使阳极电极(A13、A16、A19)连接在阳极配线(W13)上。使阳极电极(A11～A19)与阳极配线(W1～W13)隔着绝缘膜上下配置,并通通充填在绝缘膜的通孔(S11～S19)中的导电材料连接起来。阳极电极(A11～A19)、阳极配线(W11～W13)和绝缘膜由薄膜构成。
文档编号H01J31/15GK1367522SQ02102360
公开日2002年9月4日 申请日期2002年1月23日 优先权日2001年1月23日
发明者小川行雄, 向后克俊, 石川和良, 川崎博明 申请人:双叶电子工业株式会社