一种用于电极杆固定的支架的制作方法
【专利摘要】本发明讲述的是一种用于管式PECVD设备炉尾电极杆固定的支架。说明书对支架的设计进行了详细的说明，并给出具体实施方案。
【专利说明】—种用于电极杆固定的支架
【技术领域】
[0001]本发明是一种用于电极杆固定的支架，用于管式PECVD石英管尾部的固定部件。支架的结构可以有效预防电极杆的型变；其耐高温的特性使其工作温度在400-500°C ;不易碎的特性是在炉体内石英管移位时无碎片与石英管碰撞致使石英管破损；支架部分①之间、支架部分①与PECVD炉尾端盖之间均有石棉橡胶材料的支架部分②做间隔，可以有效降低温度的散失，降低PECVD运行时的用电量以达到节能的目的。
【背景技术】
[0002]太阳能具有可再生和环保等方面的特点，这种优势让包括中国在内的许多国家将太阳能作为重点发展的新能源产业。中国光伏产品主要供应给欧美市场，国内市场份额很小。近年来，由于欧美各国市场需求的增大，我国光伏产业取得了快速的发展，最近5年的年均增长速度极快。在政策进一步加大扶持力度的背景下，未来光伏产业的增长前景将更为广阔。
[0003]光伏发电产业链从上游到下游，主要包括的产业链条包括多晶硅、硅片、电池片以及电池组件。在产业链中，多晶硅电池，生产的技术门槛越来越低，相应地，公司数量分布也越来越多，利润越来越地。
[0004]而PECVD作为太阳能电池制造中的重要一环，其有效减少用电损耗、降低维修成本和维修时间有着至关重要的意义。
【发明内容】
[0005]本发明针对PECVD石英管尾部的固定部件。利用支架的结构可以有效预防电极杆的型变；其耐高温的特性使其工作温度在400-500°C;不易碎的特性是在炉体内石英管移位时无碎片与石英管碰撞致使石英管破损；支架部分①之间、支架部分①与PECVD炉尾端盖之间均有石棉橡胶材料的支架部分②做间隔，可以有效降低温度的散失，降低PECVD运行时的用电量以达到节能的目的。本发明通过以下技术方案实现:
[0006]1.一种用于固定电极杆的支架，包括:支架部分①、支架部分②、尺寸及结构。
[0007]2.如权利要求1所述的一种用于固定电极杆的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①材质为耐高位、耐腐蚀、不易变形的不锈钢材料。
[0008]3.如权利要求2所述的一种用于固定电极杆的部件，其特征在于，其中所述的支架部分②材质为耐高温、耐腐蚀且不易碎的石棉橡胶材料。
[0009]4.如权利要求3所述的一种用于固定电极杆的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①尺寸为:Φ350_Χ5_。
[0010]5.如权利要求4所述的一种用于固定电极杆的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①尺寸为:外径75_、内径30_、高度50_。
[0011]6.如权利要求5所述的一种用于固定电极杆的部件，其特征在于，其中所述的结构为支架部分①之间、支架部分①与PECVD炉尾端盖之间均有石棉橡胶材料的支架部分②做间隔。
[0012]本发明具有如下优点:
[0013]1.有效保护电极杆；
[0014]2.部件牢固，耐高温，不易碎；
[0015]3.寿命长；
[0016]4.节约成本，能在石英管移位是避免石英管破损；
[0017]5.减少能量损耗.
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1固定支架的侧视图。
[0019]图2支架部分①
【具体实施方式】
[0020]下面结合具体实施例对本发明作进一步介绍，这些描述都是说明性的，本发明不限于此。本发明的范围仅由所附权利要求的范围所限定。
[0021]一种用于固定电极杆的支架，包括:支架部分①、支架部分②、尺寸及结构。
[0022]利用支架的结构可以有效预防电极杆的型变；其耐高温的特性使其工作温度在400-5000C ;不易碎的特性是在炉体内石英管移位时无碎片与石英管碰撞致使石英管破损；支架部分①之间、支架部分①与PECVD炉尾端盖之间均有石棉橡胶材料的支架部分②做间隔，可以有效降低温度的散失，降低PECVD运行时的用电量以达到节能的目的。
[0023]以上所述已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律。
【权利要求】
1.一种用于电极杆固定的支架，包括:支架部分①、支架部分②、尺寸及结构。
2.如权利要求1所述的一种用于固定电极杆的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①材质为耐高位、耐腐蚀、不易变形的不锈钢材料。
3.如权利要求2所述的一种用于固定电极杆的部件，其特征在于，其中所述的支架部分②材质为耐高温、耐腐蚀且不易碎的石棉橡胶材料。
4.如权利要求3所述的一种用于固定电极杆的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①尺寸为:Φ350_Χ5_。
5.如权利要求4所述的一种用于固定电极杆的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①尺寸为:外径75mm、内径30mm、高度50mm。
6.如权利要求5所述的一种用于固定电极杆的部件，其特征在于，其中所述的结构为支架部分①之间、支架部分①与PECVD炉尾端盖之间均有石棉橡胶材料的支架部分②做间隔。
【文档编号】H01J37/32GK104299876SQ201310303708
【公开日】2015年1月21日 申请日期:2013年7月18日 优先权日:2013年7月18日
【发明者】李楠 申请人:北京中科信电子装备有限公司