一种超声波雾化等离子体处理装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及一种超声波雾化等离子体处理装置，包括电源、超声波换能器、超声波喷嘴以及电极座，上述超声波喷嘴连接上述超声波换能器，上述超声波换能器与上述电极座之间设有绝缘层，上所述电极座接地，上述超声波换能器接高频电源正极。电极座与超声波换成器之间产生电场放电，喷雾器，将雾化后的反应原料进行放电，进而产生等离子体。超声波雾化使得产生的等离子体更加均匀分布，超声波换能器可以将电能转换成振动机械能，能有效促进气体的均匀分布，并有助于放电产生等离子体。
【专利说明】一种超声波雾化等离子体处理装置
【技术领域】
[0001 ] 本发明属于等离子体处理装置，具体涉及一种超声波雾化等离子体处理装置。
【背景技术】
[0002]材料表面改性处理技术是当前普遍使用的材料制备技术之一，它是在一定的外界条件下，材料外部物质和材料表面发生物理或化学反应，从而使材料表面状态发生变化或在材料表面产生新的元素和新的基团，最终满足实际应用的需要。
[0003]但是，现代工业的迅猛发展对材料耐磨擦、磨损和抗腐蚀等性能提出了更高的要求，与此同时，对环保的要求也越来越高，从而有力地推动被称为绿色生产工艺的材料等离子表面改性技术的不断发展。在真空下，给反应气体环境施加高频电场，气体在高频电场的激励下电离产生等离子体。
[0004]但是由于等离子体处理材料时会有处理不均匀的隐患，因此亟需一种既能雾化又能放电产生等离子体形成雾化的等离子体装置。
【发明内容】
[0005]为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种超声波雾化等离子体处理装置。
[0006]本发明所采用的技术方案是:一种超声波雾化等离子体处理装置，包括电源、超声波换能器、超声波喷嘴以及电极座，上述超声波换能器上开设有通气孔，上述超声波换能器中还开设有注液孔，上述超声波喷嘴与上述超声波换能器连接设置，上述超声波换能器与上述超声波喷嘴设置于上述电极座上，上述超声波换能器连接高频电源正极，上述电极座接地，上述超声波换能器及上述超声波喷嘴与上述电极座之间设有绝缘层。
[0007]优选的，上述注液孔通过通液管道连接设有注射泵。
[0008]优选的，上述通气孔连接通气管道。
[0009]优选的，上述通气管道上还设有流量调节阀。
[0010]优选的，上述高频电源的频率范围为IOKhz — lOOKhz。
[0011]采用本技术方案的有益效果是:本发明将超声波换能器作为等离子体的一个电极，将电极座作为另一个电极，电极座与超声波换成器之间产生电场，超声波换能器中注入液体，气体在电场放电产生等离子体，通入的液体被超声波雾化，通过超声波喷嘴中喷出。超声波换能器可以将电能转换成振动机械能，更加有利于气体放电产生等离子体。本装置能将液体原料雾化，雾化后的原料易于扩散，并且能将物料等离子体处理得更加均匀、有效。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中:
图1是本发明实施例1的剖面结构示意图； 图2是本发明实施例2的剖面结构示意图。
图中，1.超声波喷嘴2.绝缘层3.超声波电源4.注射泵5.电极座6.超声波换能器7.通气管道8.通液管道9流量阀。
【具体实施方式】
[0013]下面结合附图详细说明本发明的具体实施例。
[0014]实施例1
如图1所示，一种超声波雾化等离子体处理装置，包括电源、超声波换能器6、超声波喷嘴I以及电极座5，超声波换能器6上开设有通气孔，通气孔连接通气管道7，超声波换能器中还开设有注液孔，注液孔连接通液管道8，超声波喷嘴I连接设置在电极座5底部，并且超声波换能器6和超声波喷嘴I中间形成连通，超声波换能器6与超声波喷嘴I设置于电极座5上，超声波换能器6连接高频电源正极，高频电源的频率范围为IOKhz — lOOKhz，电极座5接地，超声波换能器6及超声波喷嘴与电极座5之间设有绝缘层2，即超声波换能器6与电极座5接触的部分采用绝缘层2隔绝开。
[0015]工作时，接通电源，同时超声波换能器中从通气管道通入反应气体和从通液管道通入液体，由于超声波换能器6和电极座5之间形成电场,通入的反应气体经过超声波换能器6和电极座5形成的电场时，放电产生等离子体，超声波换能器6可以将电能转换成振动机械能，更加有利于气体放电产生等离子体；同时，超声波雾化后的液体原料经高频电场产生等离子体，并通过超声波喷嘴I喷出，用于处理待被处理材料，能将物料等离子体处理得更加均匀。
[0016]实施例2
其余与实施例1相同，不同之处在于，通气管道上还设有流量调节阀9，用于控制气体的通入流量，流量调节阀9能有效调节通入的气体的流量。避免通入的气体过多而使气体放电效果减弱，或者避免气体通入过少而使产生的等离子体过少不能有效处理被处理材料。
[0017]本发明的有益效果是:本发明将超声波换能器作为等离子体的一个电极，将电极座作为另一个电极，电极座与超声波换成器之间产生电场，超声波换能器中注入液体，气体在电场放电产生等离子体，通入的液体被超声波雾化，通过超声波喷嘴中喷出。超声波换能器可以将电能转换成振动机械能，更加有利于气体放电产生等离子体。本装置能将液体原料雾化，雾化后的原料易于扩散，并且能将物料等离子体处理得更加均匀、有效。
[0018]以上所述的仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种超声波雾化等离子体处理装置，其特征在于，包括电源、超声波换能器、超声波喷嘴以及电极座，所述超声波换能器上开设有通气孔，所述超声波换能器中还开设有注液孔，所述超声波喷嘴与所述超声波换能器连接设置，所述超声波换能器与所述超声波喷嘴设置于所述电极座上，所述超声波换能器连接高频电源正极，所述电极座接地，所述超声波换能器及所述超声波喷嘴与所述电极座之间设有绝缘层。
2.根据权利要求1所述的超声波雾化等离子体处理装置，其特征在于，所述注液孔通过通液管道连接设有注射泵。
3.根据权利要求1所述的超声波雾化等离子体处理装置，其特征在于，所述通气孔连接通气管道。
4.根据权利要求3所述的超声波雾化等离子体处理装置，其特征在于，所述通气管道上还设有流量调节阀。
5.根据权利要求1所述的超声波雾化等离子体处理装置，其特征在于，所述高频电源的频率范围为IOKhz — lOOKhz。
【文档编号】H01J37/32GK103794462SQ201310718577
【公开日】2014年5月14日 申请日期:2013年12月24日 优先权日:2013年12月24日
【发明者】王红卫, 沈文凯 申请人:苏州市奥普斯等离子体科技有限公司