多功能光电阴极工艺制作系统的制作方法
【专利摘要】一种涉及光电阴极产品领域，尤指一种应用于光电阴极制作系统，并对不同阴极的制作结构改进的多功能光电阴极工艺制作系统。本实用新型通过两种不同方式的管道接口，既能对玻璃材质管道进行连接的影像增强器，又能对金属材质管道进行连接的影像增强器，并在影像增强器内建立适合其工作的高真空状态的光电阴极生成环境。主要解决如何改进既能对玻璃材质管道进行连接，又能对金属材质管道进行连接接口的结构等有关技术问题。本实用新型的有益效果是：该系统通过两种不同方式的管道接口的结构，实现了能同时针对不同品种、规格以及应用连接的多功能光电阴极工艺制作系统，具有使用方便、结构合理及产品质量可靠等优点。
【专利说明】多功能光电阴极工艺制作系统
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光电阴极产品领域，尤指一种主要应用于光电阴极制作系统对不同阴极的制作结构，实现对两种材质的管道都能连接的改进装置，是保证产品的高真空度状态，制作生成光电阴极产品的制作系统。
【背景技术】
[0002]阴极制作在影像增强器的工艺中，是关键的工艺。在多功能阴极制作系统上，主要达到两个目的:一是在影像增强器内建立适合其工作的高真空状态；二是制作生成光电阴极。
[0003]由于影像增强器的品种、规格以及应用对象等原因，阴极的制作工艺也有很多方法，且各有千秋。但是无外乎都是通过施加电流来蒸发或溅射不同的碱金属、锑以及其它元素，形成我们想要的光电阴极。所以只要改变电流施加的大小、持续时间，以及他们的组合，就能达到目的。目前市场上尚无可同时针对那些不同品种、规格以及应用连接的制作系统，这时，多功能的制作系统能否与那些不同品种、规格以及应用连接，就成为非常重要的因素了。
[0004]一般的阴极制作系统的连接主要有两种方式:既玻璃材质管道连接或者金属材质管道连接。所以要实现一台制作系统对不同阴极的制作，必须能对这两种材质的管道都能连接。
【发明内容】
[0005]为了克服上述不足之处，本实用新型的主要目的旨在提供一种改进型的光电阴极工艺制作系统，该系统通过两种不同方式的管道接口，既能对玻璃材质管道进行连接的影像增强器，又能对金属材质管道进行连接的影像增强器，并在影像增强器内建立适合其工作的高真空状态的光电阴极生成环境，达到可同时针对那些不同品种、规格以及应用连接的多功能光电阴极工艺制作系统。
[0006]本实用新型要解决的技术问题是:主要解决如何改进既能对玻璃材质管道进行连接，又能对金属材质管道进行连接的光电阴极工艺制作系统；要解决如何在影像增强器内构建适合其工作的高真空状态结构等有关技术问题。
[0007]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:该装置包括影像增强器、玻璃管、金属管及其光电阴极等部件，还包括:玻璃管连接方式的影像增强器、玻璃管连接接口、金属管连接方式的影像增强器和金属管连接接口，在多功能光电阴极工艺制作系统模块中连接不同光电阴极的制作系统，一侧为通过玻璃管连接接口与玻璃管连接方式的影像增强器相互联接，另一侧为通过金属管连接接口与金属管连接方式的影像增强器相互联接，该系统至少包括有:
[0008]玻璃管连接接口的结构包括:玻璃管、压紧螺母A、铜质压圈、氟橡胶密封圈、连接座A和水冷却管，玻璃管从压紧螺母A中心穿过插入连接座A内，氟橡胶密封圈套在玻璃管夕卜，其间通过旋紧压紧螺母A压紧密封，在压紧螺母A与氟橡胶密封圈之间垫一铜质压圈，水冷却管与连接座A相互固定联接；
[0009]金属管连接接口的结构包括:金属管、锥形压紧套、压紧螺母B、锥形压圈和连接座B，金属管内壁设有环状结构，连接座B内设有环状刀口，其中:
[0010]金属管套入锥形压紧套中，在锥形压紧套外面套一个相互匹配的锥形压圈，其间通过旋紧压紧螺母B压紧密封，锥形压圈为向下滑动结构，锥形压紧套随之缩小直径，将金属管的内壁环状嵌入连接座B的环状刀口中。
[0011]进一步的，所述的多功能光电阴极工艺制作系统锥形压紧套的锥形部分开有两条以上的直槽。
[0012]进一步的，所述的多功能光电阴极工艺制作系统的金属管与锥形压紧套之间的间隙为0.05毫米,误差为正负0.01毫米。
[0013]本实用新型的有益效果是:光电阴极工艺制作系统可同时连接两种不同方式的管道，既能对玻璃材质管道进行连接，又能对金属材质管道进行连接，实现了能同时针对那些不同品种、规格以及应用连接的多功能制作系统，并在影像增强器内建立适合其工作的高真空状态的光电阴极生成环境，具有使用方便、结构合理及产品质量可靠等优点。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0015]附图1是本实用新型整体模块结构示意图；
[0016]附图2是本实用新型玻璃管连接接口的结构示意图；
[0017]附图3是本实用新型金属管连接接口的结构示意图；
[0018]附图4是本实用新型图3中A区域放大结构示意图；
[0019]附图中标号说明:
[0020]I一玻璃管连接方式的影像增强器；
[0021]2—玻璃管连接接口 ；
[0022]3—金属管连接方式的影像增强器；
[0023]4一金属管连接接口 ；
[0024]5—多功能光电阴极工艺制作系统模块；
[0025]6—玻璃管；
[0026]7—压紧螺母A ;
[0027]8—铜质压圈；
[0028]9一氟橡胶密封圈；
[0029]10—连接座 A ；
[0030]11一水冷却管；
[0031]12—金属管；
[0032]13—锥形压紧套；
[0033]14一压紧螺母B ；
[0034]15—锥形压圈；
[0035]16—连接座 B ；【具体实施方式】
[0036]请参阅附图1、2、3及4所示，本实用新型包括影像增强器、玻璃管、金属管及其光电阴极等部件，还包括:玻璃管连接方式的影像增强器1、玻璃管连接接口 2、金属管连接方式的影像增强器3和金属管连接接口 4，在多功能光电阴极工艺制作系统模块5中连接不同光电阴极的制作系统，一侧为通过玻璃管连接接口 2与玻璃管连接方式的影像增强器I相互联接，另一侧为通过金属管连接接口 4与金属管连接方式的影像增强器3相互联接，该系统至少包括有:
[0037]玻璃管连接接口 2的结构包括:玻璃管6、压紧螺母A7、铜质压圈8、氟橡胶密封圈
9、连接座AlO和水冷却管11，玻璃管6从压紧螺母A7中心穿过插入连接座AlO内，氟橡胶密封圈9套在玻璃管6外，其间通过旋紧压紧螺母A7压紧密封，在压紧螺母A7与氟橡胶密封圈9之间垫一铜质压圈8，水冷却管11与连接座AlO相互固定联接；
[0038]金属管连接接口 4的结构包括:金属管12、锥形压紧套13、压紧螺母B14、锥形压圈15和连接座B16，金属管12内壁设有环状结构，连接座B16内设有环状刀口，其中:
[0039]金属管12套入锥形压紧套13中，在锥形压紧套13外面套一个相互匹配的锥形压圈15，其间通过旋紧压紧螺母B14压紧密封，锥形压圈15为向下滑动结构，锥形压紧套13随之缩小直径,将金属管12的内壁环状嵌入连接座B16的环状刀口中。
[0040]进一步的，所述的多功能光电阴极工艺制作系统锥形压紧套13的锥形部分开有两条以上的直槽。
[0041]进一步的，所述的多功能光电阴极工艺制作系统的金属管12与锥形压紧套13之间的间隙为0.05毫米，误差为正负0.01毫米。
[0042]一般的阴极制作系统的连接主要有两种方式:既玻璃材质管道连接或者金属材质管道连接。所以要实现一台制作系统对不同阴极的制作，必须能对这两种材质的管道都能连接。
[0043]图2中玻璃管从压紧螺母A7中心穿过，插入连接座AlO内，氟橡胶密封圈9套在玻璃管6外。用压紧螺母A7压紧密封。在压紧螺母与氟橡胶密封圈9之间垫一铜质压圈8，主要是为了在涨紧密封时，减少橡胶与金属之间的滑动。在270摄氏度高温除气时，水冷却管11主要是为装有氟橡胶密封圈9的区域冷却降温，防止氟橡胶密封圈9的温度过高。
[0044]图3是金属管连接接口，密封结构详见图4。金属管12套入锥形压紧套13，它们之间的间隙大约在0.05毫米左右。锥形压紧套13在其锥形部分开有若干条直槽，用于收缩直径，压紧金属管，以达到真空密封的目的。在锥形压紧套13外面套一个相匹配的锥形压圈15。通过旋紧压紧螺母B14，使得锥形压圈15向下滑动，从而锥形压紧套13随之缩小直径，将金属管12的内壁环状嵌入连接座B16的环状刀口。起到真空密封的作用。
[0045]以上的实施例仅仅是用来说明本实用新型，在没有脱离本实用新型精神的情况下还可作出各种等效的变化和修改，因此，只要在本实用新型的实质精神范围内对上述实施例的变化，变换都将落在本实用新型权利要求书的范围里。
【权利要求】
1.一种多功能光电阴极工艺制作系统，包括影像增强器、玻璃管、金属管及其光电阴极，其特征在于还包括:玻璃管连接方式的影像增强器(I)、玻璃管连接接口(2)、金属管连接方式的影像增强器(3)和金属管连接接口(4)，在多功能光电阴极工艺制作系统模块(5)中连接不同光电阴极的制作系统，一侧为通过玻璃管连接接口( 2 )与玻璃管连接方式的影像增强器(I)相互联接，另一侧为通过金属管连接接口(4)与金属管连接方式的影像增强器(3)相互联接，该系统至少包括有: 玻璃管连接接口(2)的结构包括:玻璃管(6)、压紧螺母A (7)、铜质压圈(8)、氟橡胶密封圈(9)、连接座A (10)和水冷却管(11)，玻璃管(6)从压紧螺母A (7)中心穿过插入连接座A (10)内，氟橡胶密封圈(9)套在玻璃管(6)外，其间通过旋紧压紧螺母A (7)压紧密封，在压紧螺母A (7)与氟橡胶密封圈(9)之间垫一铜质压圈(8)，水冷却管(11)与连接座A (10)相互固定联接； 金属管连接接口(4)的结构包括:金属管(12)、锥形压紧套(13)、压紧螺母B (14)、锥形压圈(15)和连接座B (16)，金属管(12)内壁设有环状结构，连接座B (16)内设有环状刀口，其中: 金属管(12)套入锥形压紧套(13)中，在锥形压紧套(13)外面套一个相互匹配的锥形压圈(15)，其间通过旋紧压紧螺母B (14)压紧密封，锥形压圈(15)为向下滑动结构，锥形压紧套(13)随之缩小直径，将金属管(12)的内壁环状嵌入连接座B (16)的环状刀口中。
2.根据权利要求1所述的多功能光电阴极工艺制作系统，其特征在于:所述锥形压紧套(13)的锥形部分开有两条以上的直槽。
3.根据权利要求1所述的多功能光电阴极工艺制作系统，其特征在于:所述的金属管(12)与锥形压紧套(13)之间的间隙为0.05毫米，误差为正负0.01毫米。
【文档编号】H01J9/12GK203733743SQ201420093586
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2014年3月3日 优先权日:2014年3月3日
【发明者】章振昂, 吴明康, 王新军, 张丹 申请人:上海泰雷兹电子管有限公司