用于工艺腔体阴极的安装装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种用于工艺腔体阴极的安装装置，包括：夹持机构及支架体，所述支架体上设置有第一导轨；所述夹持机构包括：夹持主体；校准装置，所述校准装置与所述夹持主体可拆卸式连接；钳口夹板；第一底板，所述第一底板的下表面设置有与所述第一导轨相匹配的所述第一导轨槽。将工艺腔体阴极固定在所述钳口夹板与所述夹持主体之间；根据校准装置调整所述夹持主体的位置，将所述工艺腔体阴极插入工艺腔体的安装孔内，并完成安装作业。采用所述工艺腔体阴极的安装装置可以准确的完成所述工艺腔体阴极与所述安装孔的位置的对准，提高了安装的精确性与可靠性，避免了静电吸附盘报废，降低作业风险及成本，提高作业成功率和工作效率。
【专利说明】用于工艺腔体阴极的安装装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及集成电路制造【技术领域】，尤其是一种用于工艺腔体阴极的安装装置。
【背景技术】
[0002]目前集成电路逐渐被应用到很多领域中，比如计算机、通信、工业控制和消费性电子等。集成电路的制造业，已经成为和钢铁一样的基础产业。伴随着电子产品的快速发展，集成电路成为人们研究的焦点，于是使得IC设计、芯片制造等技术格局也得到快速发展。在这种技术方向的引导下，中国对芯片的生产提出很高的要求，进一步减弱了对高科技芯片进口的需求，实际生产中，在半导体制造领域，需要使用静电吸附盘，所述静电吸附盘能达到940V的静电。所述静电吸附盘用于吸附晶圆使其在工艺过程中位置不发生变动，并使晶圆在阴极一方，腔体内轰击出的阳离子带有正电就会向阴极移动，在晶圆表面反应沉积。
[0003]所述静电吸附盘为陶瓷材质，安装在工艺腔体阴极的上表面，将工艺腔体阴极装入工艺腔体的安装孔中，工艺腔体阴极与工艺腔体通过插槽安装。然而，在现有技术中，在安装工艺腔体阴极时，工艺腔体阴极的安装过程完全采用人工手动实现，但是由于工艺腔体阴极本身重达60斤，手动安装时工艺腔体阴极容易错位，使得工艺腔体阴极容易被卡住。卡住之后只能敲出来没有别的办法，对工艺腔体阴极内的零件会产生较强的振动，有可能造成工艺腔体阴极本身报废。更进一步，由于静电吸附盘的单价非常昂贵，高达10000美金，在安装失败过程中的磕碰中很容易造成静电吸附盘的报废。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于提供一种用于工艺腔体阴极的安装装置，以解决工艺腔体阴极在安装过程中极易卡住的问题。
[0005]为了达到上述目的，本实用新型提供了，包括:夹持机构及支架体，所述支架体上设置有一第一导轨；所述夹持机构包括:
[0006]夹持主体，所述夹持主体包括一立柱、一横板垂直连接于所述立柱的一端、一定位板垂直连接于所述立柱的另一端；
[0007]校准装置，所述校准装置可拆卸式连接于所述定位板；
[0008]钳口夹板，所述钳口夹板与所述立柱垂直，位于所述横板与所述定位板之间，所述钳口夹板的上表面设置有第一丝杠套，与所述第一丝杠套配套的第一丝杠穿过所述横板；
[0009]第一底板，所述第一底板位于所述夹持主体的下方，并与所述定位板所在平面平行，所述第一底板的上表面设置有第二丝杠套，与所述第二丝杠套配套的第二丝杠与所述立柱连接，所述第一底板的下表面设置有一与所述第一导轨相匹配的第一导轨槽。
[0010]优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述校准装置包括支架与校准板，所述支架的一端可拆卸式连接于所述定位板，所述校准板垂直固定于所述支架的另一端上。
[0011]优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述校准板上设置有多个垂直于所述校准板所在平面的凸起，所述多个凸起均匀分布在所述校准板的四周。
[0012]优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述多个凸起的个数为4?8个。
[0013]优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述钳口夹板面向所述立柱的一面上设置有第二导轨槽，所述立柱近所述钳口夹板的一面上设置有竖直方向的第二导轨，所述第二导轨槽在所述第二导轨上滑动。
[0014]优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述第一丝杠的一端固定于所述第一丝杠套内，所述第一丝杠的另一端上设置有第一丝杠手柄。
[0015]优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述第二丝杠的一端固定于所述第二丝杠套内，所述第二丝杠的另一端上设置有第二丝杠手柄。
[0016]优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述支架体还包括:支撑板；支撑架，所述支撑架固定于所述支撑板上表面；转向圆柱，所述转向圆柱的一端连接于所述支撑板，另一端连接于一铁板；所述铁板放置于所述支撑架上；第二底板，所述第二底板固定于所述铁板的上表面，所述第二底板的上表面设置有所述第一导轨。
[0017]优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述转向圆柱中设置有转轴，所述转向圆柱连接所述铁板的一端随着所述转轴转动。
[0018]优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述转轴转动的角度在0°?360。之间。
[0019]优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述支撑板的底端设置有车轮。
[0020]优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述立柱的一侧固定有一第三丝杠套，所述第二丝杠穿过所述第三丝杠套。
[0021]在本实用新型提供的用于工艺腔体阴极的安装装置中，转动所述第一丝杠，带动所述钳口夹板上下移动，将工艺腔体阴极固定在所述钳口夹板与所述定位板之间；校准装置可拆卸式连接于所述定位板，转动所述第二丝杠使得第一底板在所述支架体上滑动，带动与所述第二丝杠连接的所述立柱移动，所述校准装置通过所述定位板连接于所述立柱，从而带动所述校准装置移动，当校准装置能够刚好接触并插入工艺腔体上的安装孔时，拆下所述校准装置，将所述工艺腔体阴极插入工艺腔体的安装孔内，并完成安装作业。采用所述工艺腔体阴极的安装装置可以准确的完成所述工艺腔体阴极与所述安装孔的位置的对准，提高了安装的精确性与可靠性，避免了静电吸附盘报废，降低作业风险及成本，提高作业成功率和工作效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0022]图1为工艺腔体阴极的结构示意图；
[0023]图2为本实用新型实施例中用于工艺腔体阴极的安装装置的结构示意图；
[0024]图3为本实用新型实施例中夹持机构的结构示意图；
[0025]图4为本实用新型实施例中校准装置的结构示意图；
[0026]图5为本实用新型实施例中支架体的结构示意图；
[0027]图中:101-工艺腔体阴极的后板；102_工艺腔体阴极的外挂附件；103_静电吸附盘；
[0028]201-夹持机构；202_支架体；
[0029]301-夹持主体；302_校准装置；303_钳口夹板；304_第一丝杠套；305_第一丝杠；306-第一底板；307_第二丝杠套；308_第二丝杠；309_第一丝杠手柄；310_第二丝杠手柄；311-支架；312_校准板；313-凸起；314_第一导轨；315_支撑板；316_转向圆柱；317_铁板；318_第二底板；319_车轮；320_立柱；321_横板；322_定位板；323_支撑架；324_第二导轨；325_第三丝杠套。
【具体实施方式】
[0030]图1描述的是所述工艺腔体阴极的结构，所述工艺腔体阴极包括工艺腔体阴极的后板101和工艺腔体阴极的外挂附件102，所述工艺腔体阴极的后板101连接于工艺腔体阴极的外挂附件102。静电吸附盘103为陶瓷材质，安装在工艺腔体阴极外挂附件102的上表面。
[0031]下面将结合示意图对本实用新型的【具体实施方式】进行详细的描述。根据下列描述并结合权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0032]如图2所示，本实用新型提供的用于工艺腔体阴极的安装装置包括:夹持机构201及支架体202，所述夹持机构201的下表面设置有第一导轨槽，所述支架体202上设置有第一导轨314，所述第一导轨314与所述第一导轨槽相匹配，所述第一导轨314在所述第一导轨槽内滑动，即可带动所述夹持机构201在所述支架体202上滑动。
[0033]进一步的，如图3所示，所述夹持机构201包括:夹持主体301，所述夹持主体301包括一立柱320、一横板321垂直连接于所述立柱320的一端、一定位板322垂直连接于所述立柱320的另一端，所述横板321与所述定位板322位于所述立柱320的同一侧；校准装置302，所述校准装置302可拆卸式连接于所述定位板322 ;钳口夹板303，所述钳口夹板303与所述立柱320垂直，位于所述横板321与所述定位板322之间，所述钳口夹板303的上表面设置有第一丝杠套304，与所述第一丝杠套304配套的第一丝杠305穿过横板321 ；第一底板306,所述第一底板位306于所述夹持主体301的下方,并与所述定位板322所在平面平行，所述第一底板306的上表面设置有第二丝杠套307，与所述第二丝杠套307配套的第二丝杠308与所述立柱320连接，所述第一导轨槽设置于所述第一底板306的下表面。
[0034]首先，将工艺腔体阴极安装在所述夹持机构201上。具体的，使工艺腔体阴极的后板101处于所述钳口夹板303与所述定位板322之间，并使工艺腔体阴极的外挂附件102在所述钳口夹板303之外。所述钳口夹板303背离所述立柱320的一端开有一 U型开口，避免安装所述工艺腔体阴极时所述钳口夹板303碰触到所述静电吸附盘103，降低损坏所述静电吸附盘103的可能性。既可以固定所述工艺腔体阴极，又不会压到所述工艺腔体阴极的外挂附件102，保证所述外挂附件102及所述静电吸附盘103的安全。
[0035]优选的，所述第一丝杠305的一端固定于所述第一丝杠套304内，所述第一丝杠305的另一端上设置有第一丝杠手柄309。手动摇动所述第一丝杠手动手柄，从而转动所述第一丝杠305，带动所述钳口夹板303上下移动，将所述工艺腔体阴极后板101紧紧的固定在所述钳口夹板303与所述定位板322之间，所述工艺腔体阴极后板101与所述钳口夹板303垂直。
[0036]进一步的，所述钳口夹板303近所述立柱320的一面上设置有第二导轨槽324，所述立柱320近所述钳口夹板303的一面上设置有竖直方向的第二导轨，所述第二导轨槽在所述第二导轨324上滑动。这样在转动所述第一丝杆手柄309带动所述钳口夹板303上下移动时，所述钳口夹板303将沿着所述第二导轨324移动，不会偏离方向，更有利于所述工艺腔体阴极的安装。
[0037]优选的，所述第二丝杠308的一端固定于所述第二丝杠套307内，所述第二丝杠308的另一端上设置有第二丝杠手柄310。所述立柱320的一侧固定有一第三丝杠套325，所述第二丝杠308穿过所述第三丝杠套325。所述第三丝杠套325与所述钳口夹板303位于所述立柱320不同的侧面，更优的，所述第三丝杠套325位于所述立柱320背离所述钳口夹板303的一侧。
[0038]手动摇动所述第二丝杠手柄310，从而转动所述第二丝杠308，带动与所述第二丝杠308连接的所述立柱320上下移动。所述工艺腔体阴极固定于所述钳口夹板303与所述定位板322之间，所述校准装置302连接于所述定位板322，所述定位板322与所述立柱320连接，即所述工艺腔体阴极、所述校准装置302及所述钳口夹板303均与所述立柱320连接成一个整体，所述立柱320的上下移动可以带动所述工艺腔体阴极及所述校准装置302上下移动，用于调整所述工艺腔体阴极的高度，使其与所述工艺腔体的安装孔在同一高度。
[0039]进一步的，如图4所示，所述校准装置302包括支架311与校准板312，所述支架311的一端可拆卸式连接于所述定位板322，所述校准板312垂直固定于所述支架311的另一端上。所述校准板312上设置有多个垂直于所述校准板312所在平面的凸起313，所述多个凸起313均匀分布在所述校准板312的四周，所述多个凸起313位于所述校准板312背离所述夹持主体301的一面上。所述多个凸起313的个数为4?8个，在本实用新型实施例中为6个，所述6个凸起313均与所述校准板312所在的平面垂直，当所述6个凸起313能够刚好接触并插入所述工艺腔体的安装孔内，则表示安装位置正确。
[0040]具体的，手动摇动所述第二丝杠手柄310，转动所述第二丝杠308，带动所述立柱320向上移动，将所述校准装置302的支架311固定在所述定位板322的下表面上，如图3所示。然后再次手动摇动所述第二丝杠手柄310，转动所述第二丝杠308，带动所述夹持主体301上下移动，使得所述校准板312与工艺腔体的安装孔在同一高度。
[0041]如图5所示，所述支架体202包括:支撑板315 ;支撑架323，所述支撑架323固定于所述支撑板315上表面；转向圆柱316,所述转向圆柱316的一端连接于所述支撑板315,另一端连接于一铁板317 ;所述铁板317放置于所述支撑架323上；第二底板318，所述第二底板318固定于所述铁板317的上表面，所述第二底板318的上表面设置有所述第一导轨314。所述转向圆柱316中设置有转轴，所述转向圆柱316连接所述铁板317的一端随着所述转轴转动，从而带动所述铁板317随着所述转轴转动。
[0042]进一步的，所述转轴转动的角度在0°?360°之间。使得铁板317转动的角度也在0°?360°之间，使得安装过程中所述工艺腔体阴极的位置调整更加方便。
[0043]具体的，推动所述夹持机构201，使得所述机构在所述第一导轨314上移动。同时根据需要转动所述铁板317，使得所述校准板312上的6个凸起313能够刚好接触并插入所述工艺腔体的安装孔内，则表示安装位置正确，拆下所述校准装置302，然后推动所述夹持机构201使得工艺腔体阴极插入到所述工艺腔体的安装孔内，可完成作业。若所述工艺腔体阴极无法插入所述工艺腔体的安装孔内，则根据需要继续调整位置直到完成插入所述工艺腔体的安装孔内为止，然后旋动所述第一丝杠手柄，松开所述钳口夹板303并将本实用新型提供的装置移开，完成安装作业。
[0044]在本实用新型实施例中，所述支撑板315的底端设置有车轮319。方便所述用于工艺腔体阴极的安装装置，可以将所述工艺腔体阴极固定在本实用新型提供的安装装置上后，再向工艺腔体移动，降低操作人员的工作强度，提高了功率效率。
[0045]综上，在本实用新型实施例提供的用于工艺腔体阴极的安装装置中，转动所述第一丝杠，带动所述钳口夹板上下移动，将工艺腔体阴极固定在所述钳口夹板与所述定位板之间；校准装置可拆卸式连接于所述定位板，转动所述第二丝杠使得第一底板在所述支架体上滑动，带动与所述第二丝杠连接的所述立柱移动，所述校准装置通过所述定位板连接于所述立柱，从而带动所述校准装置移动，当校准装置能够刚好接触并插入工艺腔体上的安装孔时，拆下所述校准装置，将所述工艺腔体阴极插入工艺腔体的安装孔内，并完成安装作业。采用所述工艺腔体阴极的安装装置可以准确的完成所述工艺腔体阴极与所述安装孔的位置的对准，提高了安装的精确性与可靠性，避免了静电吸附盘报废，降低作业风险及成本，提高作业成功率和工作效率。
[0046]上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。任何所属【技术领域】的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，包括:夹持机构及支架体，所述支架体上设置有一第一导轨；所述夹持机构包括: 夹持主体，所述夹持主体包括一立柱、一垂直连接于所述立柱的一端的横板、一垂直连接于所述立柱的另一端的定位板； 校准装置，所述校准装置可拆卸式连接于所述定位板； 钳口夹板，所述钳口夹板与所述立柱相垂直，并位于所述横板与所述定位板之间，所述钳口夹板的上表面设置有第一丝杠套，与所述第一丝杠套配套的第一丝杠穿过所述横板； 第一底板，所述第一底板位于所述夹持主体的下方，并与所述定位板所在平面平行，所述第一底板的上表面设置有第二丝杠套，与所述第二丝杠套配套的第二丝杠与所述立柱连接，所述第一底板的下表面设置有一与所述第一导轨相匹配的第一导轨槽。
2.如权利要求1所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述校准装置包括一支架与一校准板，所述支架的一端可拆卸式连接于所述定位板，所述校准板垂直固定于所述支架的另一端上。
3.如权利要求2所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述校准板上设置有多个垂直于所述校准板所在平面的凸起，所述多个凸起均匀分布在所述校准板的四周。
4.如权利要求3所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述多个凸起的个数为4?8个。
5.如权利要求1所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述钳口夹板面向所述立柱的一面上设置有第二导轨槽，所述立柱近所述钳口夹板的一面上设置有竖直方向的第二导轨，所述第二导轨槽在所述第二导轨上滑动。
6.如权利要求1所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述第一丝杠的一端固定于所述第一丝杠套内，所述第一丝杠的另一端上设置有第一丝杠手柄。
7.如权利要求1所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述第二丝杠的一端固定于所述第二丝杠套内，所述第二丝杠的另一端上设置有第二丝杠手柄。
8.如权利要求1所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述支架体还包括:支撑板；支撑架，所述支撑架固定于所述支撑板上表面；转向圆柱，所述转向圆柱的一端连接于所述支撑板，另一端连接于一铁板；所述铁板放置于所述支撑架上；第二底板，所述第二底板固定于所述铁板的上表面，所述第二底板的上表面设置有所述第一导轨。
9.如权利要求8所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述转向圆柱中设置有转轴，所述转向圆柱连接所述铁板的一端随着所述转轴转动。
10.如权利要求9所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述转轴转动的角度在0°?360°之间。
11.如权利要求8所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述支撑板的底端设置有车轮。
12.如权利要求1所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述立柱的一侧固定有一第三丝杠套，所述第二丝杠穿过所述第三丝杠套。
【文档编号】H01L21/67GK204167276SQ201420610246
【公开日】2015年2月18日 申请日期:2014年10月21日 优先权日:2014年10月21日
【发明者】王晓晨 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司