专利名称：强化型扩散板及其制造方法
强化型扩散板及其制造方法
技术领域：
本发明是有关于一种气体扩散板及其制造方法，特别是关于一种强化型扩散板及其制造方法。
背景技术：
参阅图1，现有气体扩散板2是设置于一镀膜设备I的设置板11上，并包括一用以设置于该设置板11上的板体21、一由该板体21围绕界定的气室22，以及多个形成于该板体21上并使该气室22连通于外界的贯穿孔23。在实际使用时，该镀膜设备I包括一与现有气体扩散板2间隔设置的加热座12，并将一待镀物13放置于该加热座12上，接着将气体输送入该气室22内，并藉由贯穿孔23使气体分散输出，进而使气体受热之后能均匀地沉积于该待镀物13的表面，如此即可完成镀膜作业。参阅图2，由于现有气体扩散板2的整体强度不足，且与该加热座12距离相当接近，因此在高温环境下该板体21的结构强度会降低，另外，位于该气室22内的气体受热膨胀后会将该板体21向外推。因此，现有气体扩散板2在高温环境与气体压力的双重影响之下容易产生弯曲变形的问题。而当现有气体扩散板2产生弯曲变形时，就会造成输出气体无法均匀地沉积于该待镀物13上，而导致镀膜成品的厚度均匀性变差。因此必须将该镀膜设备I暂时停机，才能更换新的现有气体扩散板2，但是停机同时也会造成该镀膜设备I的产能利用率下降。另夕卜，因该气体扩散板2需时常更换，且无法重复再生使用，以致增加耗材成本。所以，如何改善以上所述的缺点，一直是本技术领域者持续努力的重要目标。
发明内容因此，本发明的目的，即在提供一种不易受热变形且可重复再生使用的强化型扩散板。本发明的另一目的，就是在提供一种可使强化型扩散板重复再生使用，进而能降低耗材成本的强化型扩散板的制造方法。于是，本发明强化型扩散板，包含有一连接部、一弯折部及一底板部。其中，该连接部用以连接于该镀膜设备的设置板上。该弯折部连接该连接部，该底板部连接该弯折部，且该底板部上形成有多个贯穿孔。该底板部与该连接部、该弯折部共同界定出一分流室，且该底板部是由与该弯折部连接处朝中央并向该分流室方向弧形凸出隆起。本发明强化型扩散板的制造方法，包含一成形加工步骤、一清洗步骤、一冲压步骤、一表面处理步骤及一清洁步骤。在该成形加工步骤中，是将一块材加工制成一初胚，该初胚包含一连接部、一连接该连接部的弯折部，及一连接该弯折部的底板部，该底板部上形成有多个贯穿孔，且该底板部与该连接部、弯折部共同界定出一分流室。
在该清洗步骤中，是去除该初胚表面的杂质。
在该冲压步骤中，是先制备一上冲压模具及一与该上冲压模具相配合的下冲压模具，将该初胚设置于该下冲压模具上，且该初胚的分流室是朝向该下冲压模具，驱使该上冲压模具朝该强化型扩散板之底板部进行冲压作业。在该表面处理步骤中，是对退模后的初胚进行表面处理作业，使得该初胚形成一耐腐蚀且耐电浆冲击的保护层。在该清洁步骤中，则是去除该初胚的保护层表面的杂质，即制成该强化型扩散板。本发明的功效在于，藉由使该底板部预变形成为由与该弯折部连接处朝中央并向该分流室弧形凸出隆起的结构，使该底板部不易受热变形，因此能减少该镀膜设备停机维修的次数，进而提高整体镀膜产能。若该底板部在长期使用下而受热变形，仍可于去除由所述表面处理所形成的保护层后，依序经由该冲压步骤、表面处理步骤及清洁步骤恢复成未使用前的形态而可重复再生使用，故能降低耗材成本。
图1是一剖视示意图，说明现有气体扩散板设置于一镀膜设备的态样；图2是一剖视示意图，辅助说明现有气体扩散板已产生弯曲变形的态样；图3是一流程图，说明本发明强化型扩散板的一较佳实施例的制造方法；图4是一剖视示意图，辅助说明该较佳实施例的制造方法中的一冲压步骤中的下压行程的实施态样；图5是一剖视示意图，辅助说明该较佳实施例的制造方法中的一冲压步骤中的退模行程的实施态样；图6是一剖视图 ，说明该较佳实施例与一基准平面；图7是一局部剖视图，辅助说明该较佳实施例中一底板部之一贯穿孔；图8是一剖视示意图，说明该较佳实施例与一镀膜设备的实施态样；及图9是一剖视示意图，说明该较佳实施例的强化型扩散板于受热形变后的实施态样。3.....镀膜设备31....设置板32....加热座33....缓冲板331....气孔34....待镀物4.....连接部5.....底板部51....贯穿孔511....大孔径段512....小孔径段513... 中肩段52... 第一曲面53... 第二曲面
531....中央点6.....弯折部61....内弯折区62....外弯折区7.....分流室8.....螺丝91....上冲压模具92....下冲压模具101 105…步骤Pl基准平面
具体实施方式
有关本发明的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式之一个较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。参阅图3，为本发明强化型扩散板的制造方法之一较佳实施例，该制造方法包含有一成形加工步骤101、一清洗步骤102、一冲压步骤103、一表面处理步骤104及一清洁步骤105。参阅图3及图4， 首先，进行该成形加工步骤101，将一块材藉由车削作业制成一初胚，该初胚包含一连接部4、一连接该连接部4的弯折部6，及一连接该弯折部6的底板部5，且该底板部5与该连接部4、弯折部6共同界定出一分流室7，并利用一钻孔作业于该初胚之底板部5上制成多个相间隔的贯穿孔51。在本较佳实施例中该扩散板材质为铝或铝合金。接着，进行该清洗步骤102，在此步骤中是利用超音波清洗去除该初胚表面由所述成形加工步骤101所残留的碎屑或油溃等杂质。续参阅图3，然后进行冲压步骤103，配合参阅图4及图5，制备一上冲压模具91及一与该上冲压模具91相配合的下冲压模具92，将该初胚设置于该下冲压模具92上，且该初胚之分流室7是朝向该下冲压模具92，驱使该上冲压模具91如图4中空心箭号所示朝该强化型扩散板之底板部5进行冲压作业，该上冲压模具91在下压行程中，于抵触该底板部5后会进一步下压1.3mm至1.7mm,较佳地为1.5mm,使得该底板部5由与该弯折部6连接处朝中央并向该分流室7方向呈弧形凸出隆起。之后，驱使该上冲压模具91如图5中空心箭号所示朝远离该强化型扩散板方向位移以进行退模行程，于退模行程后，该底板部5回弹部分形变量，参阅图6,该底板部5具有一位于该分流室7内的第一曲面52,及一相反于该第一曲面52且位于该分流室7外的第二曲面53，并定义一切齐该第二曲面53的周缘的基准平面Pl，该第二曲面53的中央点531距离该基准平面Pl的垂直距离为0.1mm至0.5mm,较佳地为0.3mm。续参阅图3，之后再进行该表面处理步骤104，在此步骤中是对退模后的该初胚进行阳极处理作业，使得该初胚形成一耐腐蚀且耐电浆冲击的保护层。最后，进行该清洁步骤105，去除该初胚的保护层表面的杂质，即制成该强化型扩散板。
参阅图6及图8，本发明藉由上述制造方法所制成的强化型扩散板包含有一连接部4、一弯折部6及一底板部5，该连接部4用以连接于该镀膜设备3的设置板31上，该弯折部6连接该连接部4，该底板部5连接该弯折部6，该底板部5上形成有多个贯穿孔51。该底板部5与该连接部4、该弯折部6共同界定出一分流室7,且该底板部5是由与该弯折部6连接处朝中央并向该分流室7方向弧形凸出隆起，该底板部5具有一位于该分流室7内之第一曲面52,及一相反于该第一曲面52且位于该分流室7外之第二曲面53,并定义一切齐该第二曲面53的周缘的基准平面Pl，该第二曲面53的中央点531距离该基准平面Pl的垂直距离为0.1mm至0.5mm,较佳地为0.3mm。另外，该弯折部6包括一与该分流室7同侧的内弯折区61，以及一相反于该内弯折区61的外弯折区62。参阅图7,该底板部5的每一贯穿孔51垂直于该底板部5的表面,且该每一贯穿孔51具有一连通于该分流室7的大孔径段511、一连通于外界的小孔径段512，以及一由该大孔径段511朝小孔径段512渐缩的中肩段513，藉由此结构设计可以达到较佳的气体导引效
果O参阅图8，在实际使用时，该强化型扩散板是用以设置于一镀膜设备3的设置板31上，该镀膜设备3还包括一与该底板部5间隔设置的加热座32，以及一设置于该设置板31与该强化型扩散板之间， 并形成有多个气孔331的缓冲板33。并将一待镀物34放置于该加热座32上，接着使气体如图6中箭头所示的方向先经由缓冲板33的该等气孔331整流之后，再送入该分流室7内，接着气体会藉由所述贯穿孔51的排列而均匀分散并输出于外界，输出的气体在受到该加热座32的热作用之后能均匀地沉积于该待镀物34的表面以形成镀膜层，如此即可完成镀膜作业。本发明强化型扩散板及其制造方法藉由上述设计，于实际使用时具有以下所述优点。
(I)不易受热变形:该底板部5藉由所述的该冲压步骤103而预变形成为由与该弯折部6连接处朝中央并向该分流室7方向凸出隆起的结构，并在该内弯折区61产生一抵抗该受热变形之拉伸残留应力的压缩残留应力，且在该外弯折区62产生一抵抗该受热变形之压缩残留应力的拉伸残留应力。因此，该底板部5在所述高温环境与气体压力的双重影响之下较不易形变，而能延长该强化型扩散板的使用寿命，因此能减少该镀膜设备3停机维修的次数，进而能提高整体镀膜产能。值得说明的是，该底板部5所预变形的形变量相当微小，因此，即使在未受热弯曲的状况下仍能够满足镀膜作业的膜厚均匀度需求，且该底板部5在使用一段时间之后该受热形变与预变形的形变量相互抵消，此时，该底板部5形变成为平板形状(见图9)，而能达到镀膜作业最佳的膜厚均匀度。(2)可重复再生使用:若该底板部5在长期的使用下而受热形变，造成气体无法均匀地沉积于该待镀物34上，可将该强化型扩散板去除由所述表面处理步骤104所形成的保护层，再依序经由该冲压步骤103、表面处理步骤104及清洁步骤105，使得该强化型扩散板恢复成未使用前的形态而可重复再生使用，因此，能降低该强化型扩散板之耗材成本。综上所述，本发明强化型扩散板及其制造方法藉由上述设计，该底板部5预变形成为由与该弯折部6连接处朝中央并向该分流室7方向弧形凸出隆起的结构，较不易受热变形。若该底板部5在长期使用下而受热变形，仍可于去除该保护层后，再依序经由该冲压步骤103、表面处理步骤104及清洁步骤105恢复成未使用前的形态而可重复再生使用，故确实能达成本发明的目的。
以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，当不能以此限定本发明实施的范围，SP大凡依本发明申请专利范围及发明说明内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本发明专利涵盖的范围内。
权利要求
1.一种强化型扩散板，设置于一镀膜设备的设置板上，该强化型扩散板包含: 一连接部，用以连接于该镀膜设备的设置板上； 一弯折部，连接该连接部；及 一底板部，连接该弯折部，该底板部上形成有多个贯穿孔，该底板部与该连接部、该弯折部共同界定出一分流室，且该底板部是由与该弯折部连接处朝中央并向该分流室方向弧形凸出隆起。
2.如权利要求1所述的强化型扩散板，其中，该底板部具有一位于该分流室内的第一曲面，及一相反于该第一曲面且位于该分流室外的第二曲面，并定义一切齐该第二曲面的周缘的基准平面，该第二曲面的中央点距离该基准平面的垂直距离为0.1mm至0.5mm。
3.如权利要求1或2所述的强化型扩散板，其中，该强化型扩散板材质为铝或铝合金。
4.一种强化型扩散板的制造方法包含: 一成形加工步骤， 将一块材加工制成一初胚，该初胚包含一连接部、一连接该连接部的弯折部，及一连接该弯折部的底板部，该底板部上形成有多个贯穿孔，且该底板部与该连接部、弯折部共同界定出一分流室； 一清洗步骤，去除该初胚表面的杂质； 一冲压步骤，制备一上冲压模具及一与该上冲压模具相配合的下冲压模具，将该初胚设置于该下冲压模具上，且该初胚的分流室是朝向该下冲压模具，驱使该上冲压模具朝该强化型扩散板的底板部进行冲压作业； 一表面处理步骤，对退模后的该初胚进行表面处理作业，使得该初胚形成一耐腐蚀且耐电浆冲击的保护层 '及 一清洁步骤，去除该初胚的保护层表面的杂质，即制成该强化型扩散板。
5.如权利要求4所述的强化型扩散板的制造方法，其中，该底板部具有一位于该分流室内的第一曲面，及一相反于该第一曲面且位于该分流室外的第二曲面，并定义一切齐该第二曲面的周缘的基准平面，在该冲压步骤中，该上冲压模具在下压行程中，于抵触该底板部后会进一步下压1.3mm至1.7mm，使得该底板部由与该弯折部连接处朝中央并向该分流室方向呈弧形凸出隆起，于退模后，该底板部回弹部分形变量，使得该第二曲面的中央点距离该基准平面的垂直距离为0.1mm至0.5mm。
6.如权利要求5所述的强化型扩散板的制造方法，其中，在该成形加工步骤中，该初胚是藉由车削作业所制成，该等贯穿孔则是利用钻孔作业制成。
7.如权利要求4至6中任一项所述的强化型扩散板的制造方法，其中，在该表面处理步骤中，该表面处理作业是采阳极处理。
全文摘要
一种强化型扩散板及其制造方法，该制造方法包含一成形加工步骤、一清洗步骤、一冲压步骤、一表面处理步骤及一清洁步骤，所制成的强化型扩散板包含一用以连接于一镀膜设备的设置板上的连接部、一连接连接部的弯折部，及一连接弯折部的底板部，底板部上形成有多个贯穿孔。弯折部、连接部、底板部相配合界定出一分流室，且底板部由与弯折部连接处朝中央并向分流室方向弧形凸出隆起。藉由该底板部的结构设计，能降低底板部受热弯曲的形变量，且此强化型扩散板能重复再生使用，故能降低耗材成本。
文档编号B21D22/04GK103194738SQ20121000419
公开日2013年7月10日 申请日期2012年1月9日 优先权日2012年1月9日
发明者许文雄 申请人:光阳工业股份有限公司