一种超精细激光钻孔机的制作方法

本实用新型涉及一种激光钻孔机，特别是一种超精细激光钻孔机。

背景技术：

PET薄膜是医疗器械行业使用的一种材料，需要在上面连续打孔，以将药水喷出雾化；在PET薄膜上打孔，对孔的大小、均匀性和圆度要求很高，而采用人工是很困难的，只能采用激光钻孔；但是现有用于PET薄膜钻孔的激光钻孔机存在以下问题：（1）钻孔精度不高，无法满足钻1~2um孔径圆孔的要求；（2）不具有自动和手动打孔功能，使用不便。

技术实现要素：

本实用新型的发明目的在于：针对上述存在的问题，提供一种超精细激光钻孔机，激光器产生的激光依次通过扩束镜、光阑和DOE光束整形镜片的整形后，再经过振镜和平场远心透镜，得到光束尖峰，对薄膜进行钻孔；整形后的光束尖峰能够得到很小的孔径；并且设置薄膜转动装置，将薄膜进行自动转动，从而实现激光钻孔机的自动打孔。

本实用新型采用的技术方案如下：

本实用新型一种超精细激光钻孔机，包括机架，机架上安装有激光器和激光整形装置；所述激光整形装置包括依次设置在机架上的扩束镜、光阑和DOE光束整形镜片，以及振镜和平场远心透镜；所述扩束镜、光阑、DOE光束整形镜片和振镜的中心位于同一条水平直线上，振镜下方设有平场远心透镜。

以上结构，激光器输出的激光，经过扩束镜的扩展，以及光阑滤掉边缘杂光后入射到DOE光束整形镜片，进行整形后，再入射到振镜中，从振镜竖直方向出射激光，再通过平场远心透镜，平场远心透镜可以在一定范围内让整形后的光束不论入射角是多少都是垂直从透镜射出，从而避免出现中间孔径与周围孔径不一致的情况。

作为优选，所述机架上还设有载物台，载物台设置在平场远心透镜下方，载物台上放置有薄膜。

作为优选，所述机架上还设有薄膜转动装置，所述薄膜转动装置，带动薄膜转动。

以上结构，薄膜转动装置能够带动薄膜转动，打完孔后薄膜转到下一个待打孔的位置，从而可以连续进行打孔。

作为优选，所述薄膜转动装置包括放卷装置和收卷装置；所述放卷装置和收卷装置分别包括滚轮，滚轮中穿有转轴，转轴与电机连接，通过电机转动；所述滚轮上绕有薄膜，放卷装置和收卷装置通过薄膜连接。

以上结构，薄膜通过放卷装置和收卷装置的转动，实现薄膜的自动移动，便于打孔。

作为优选，所述载物台上设有压膜装置，载物台和压膜装置之间有薄膜穿过。

以上压膜结构的设置，能够保证薄膜在打孔中，待打孔薄膜的平整。

作为优选，所述扩束镜、光阑、DOE光束整形镜片、振镜和平场远心透镜设置在光路通道中，与外部隔开 ，光路通道一端与激光器输出端连接，另一端为整形激光输出端。

以上结构，由于光路通道的隔离作用，光路通道中的扩束镜、光阑、DOE光束整形镜片、振镜和平场远心透镜在激光整形中不受外部光线的影响，整形效果更好，并且能够保护整形器件，整形器件的使用寿命更长。

作为优选，所述扩束镜安装在激光XY调节支架一上；所述光阑和DOE光束整形镜片分别安装在激光XY调节支架二上。

以上激光XY调节支架的设置，能够方便对扩束镜、光阑和DOE光束整形镜片的位置进行调整。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、实现超精细钻孔，钻孔精度达到1~2um孔径圆孔；在钻孔中，对激光进行整形，并截取整形后的光束尖峰直接烧蚀来进行钻孔，与传统的旋转切割方式钻孔不同，钻孔精度更高。

2、具有自动和手动打孔功能；将需要钻孔的薄膜安装在薄膜转动装置上，通过薄膜转动装置带动薄膜转动，不需要人工操作，进行连续自动打孔。

附图说明

图1是本实用新型一种超精细激光钻孔机的结构示意图。

图2是激光整形装置的结构示意图。

图3是薄膜转动装置的结构示意图。

图中标记：1为机架，激光XY调节支架一11，激光XY调节支架二12，2为激光器，3为激光整形装置，31为扩束镜，32为光阑，33为DOE光束整形镜片，34为振镜，35为平场远心透镜，4为薄膜转动装置，41为放卷装置，42为收卷装置，43为转轴，44为压膜装置， 5为载物台。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1所示，本实用新型一种超精细激光钻孔机，包括机架1，机架1上安装有激光器2和激光整形装置3；所述机架1上还设有薄膜转动装置4，所述薄膜转动装置4，带动薄膜转动；所述激光整形装置3设置在光路通道中，光路通道一端与激光器2输出端连接，另一端为整形激光输出端。

如图2所示，所述激光整形装置3包括依次设置在机架1上的扩束镜31、光阑32和DOE光束整形镜片33，以及振镜34和平场远心透镜35；所述扩束镜31、光阑32、DOE光束整形镜片33和振镜34的中心位于同一条水平直线上，振镜34下方设有平场远心透镜35。

在实施例中，所述扩束镜31安装在激光XY调节支架一11上；所述光阑32和DOE光束整形镜片33分别安装在激光XY调节支架二12上。

在实施例中，所述机架1上还设有载物台5，载物台5设置在平场远心透镜35下方，载物台5上放置有薄膜。

如图3所示，所述薄膜转动装置4包括放卷装置41和收卷装置42；所述放卷装置41和收卷装置42分别包括滚轮，滚轮中穿有转轴43，转轴43与电机连接；所述滚轮上绕有薄膜，放卷装置41和收卷装置42通过薄膜连接；所述载物台上设有压膜装置44，载物台5和压膜装置44之间有薄膜穿过；转轴在电机的作用下，开始转动，带动滚轮转动，滚轮转动中，其上的薄膜也在转动，进行薄膜的放卷和收卷，打孔后的薄膜在转动中向前移动。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。