1穿过移动板102上的一个孔与工件衬底109并排安装在移动板102上，导向支架al06通过紧定螺钉三112安装在移动板102上，导向支架al06上开有正方形孔，正方型导柱all4穿入该孔中，为主电容位移传感器111起到轴向导向作用，主电容位移传感器111与正方型导柱all4连接为一整体，导线一 115从正方形导柱114中引出，微调旋钮al07与主电容位移传感器111螺纹连接，并位于导向支架al06与移动板102之间，主电容位移传感器111沿旋转微调旋钮al07轴向移动，紧定螺钉四113用于主电容位移传感器111的轴向固定。
[0027]所述测量触板201安装在底板4上，钢珠204嵌入安装在测量触板201上，作为切削量测量基准，移动块203安装在测量触板201的孔中，并沿该孔轴向移动，调节螺钉六205与移动块203的突出部分螺纹连接，挡块207通过紧定螺钉五202安装在测量触板201上，调节螺钉六205的螺帽由挡块207和测量触板201上的小凸台206轴向限位，微调旋钮c209安装在调节螺钉六205的端部，并由螺母一 208和螺母二 210进行双面固定，旋转微调旋钮c209可调节移动块203的轴向位移量。
[0028]所述固定底座b309安装在底板4上，调节螺杆b307安装在固定底座b309上，移动支座b308安装在固定底座b309上、并与固定底座b309滑动连接，并可用调节螺杆b307调节移动支座b308与固定底座b309之间的轴向距离，缸体305通过紧定螺钉九306安装在移动支座b308的孔中，圆柱形活塞301安装在缸体305中，可在缸体305内实现轴向移动和绕轴线的转动，以调节位于末端的副电容位移传感器303相对于滑块调节单元2的移动块203的距离与角度，圆柱形活塞301的末端被削去一部分以安装副电容位移传感器303的位移微调机构，副电容位移传感器303位于圆柱形活塞301的末端孔内，导向支架b313通过紧定螺钉八304安装于圆柱形活塞301的末端削去部分内，副电容位移传感器303与正方型导柱b311连接为一整体，导线二 310从正方形导柱b311中引出，正方型导柱b311为副电容位移传感器303起到轴向导向作用，微调旋钮b312与电容位移传感器303的螺纹部分旋合，并位于导向支架b313与圆柱形活塞301之间，旋转微调旋钮b312、副电容位移传感器303可沿其轴向移动，紧定螺钉七302用于副电容位移传感器303的轴向固定。
[0029]本装置的工作原理，参见图1:
[0030](1)把镶嵌有未加工的被测工件5的工件衬底109和主电容位移传感器111并排安装在移动平台alOO上的移动板102上；
[0031](2)旋动移动平台alOO的调节螺杆al05，将被测工件5与测量触板201上的球形基底204接触，并测出主电容位移传感器111与移动块203的距离S1;
[0032](3)从移动平台alOO上的移动板102上取下被测工件5，加工被测工件5，去除一定的厚度；
[0033](4)把带有已加工的被测工件5的工件衬底109重新安装在移动板102上，并再次旋动移动平台alOO的调节螺杆al05 ;
[0034]①若被测工件5先与测量触板201上的球形基底204接触，且主电容位移传感器111尚未与移动块203接触，即Δ R彡S”则工件5的切削量为:
[0035]Δ R = SfS2
[0036]其中，S2为此时主电容位移传感器111与移动块203的距离；
[0037]②若主电容位移传感器111先与移动块203接触，而被测工件5尚未与测量触板201上的球形基底204接触，即Δ R>Si，则工件5的切削量为:
[0038]Δ R = S^Sg-S4
[0039]其中，53为预先测出的副电容位移传感器303和移动块203的距离，S 4为把移动块203向副电容位移传感器303移动一定的距离后，旋动移动平台alOO的调节螺杆al05，直到被测工件5可以与球形基底204接触时，副电容位移传感器303和移动块203之间的距离。
【主权项】
1.一种用于测量嵌入式微小型工件切削量的精密测量装置，其特征在于:主间距调节单元、滑块调节单元与副间距调节单元均安装在底板上。2.根据权利要求1所述的用于测量嵌入式微小型工件切削量的精密测量装置，其特征在于:所述主间距调节单元的结构是:固定底座a安装在底板上，调节螺杆a安装在固定底座a上，移动支座a安装在固定底座a上、且与固定底座a滑动连接，并能用调节螺杆a调节移动支座a与固定底座a之间的距离，移动板通过紧定螺钉一安装在移动支座a上，工件衬底通过紧定螺钉二与固定底座a固定连接，被测工件嵌入安装在工件衬底中，主电容位移传感器穿过移动板上的一个孔与工件衬底并排安装在移动板上，导向支架a通过紧定螺钉三安装在移动板上，导向支架a上开有正方形孔，正方型导柱a穿入该孔中，主电容位移传感器与正方型导柱a连接为一整体，导线一从正方形导柱中引出，微调旋钮a与主电容位移传感器螺纹连接，并位于导向支架a与移动板之间，紧定螺钉四用于主电容位移传感器的轴向固定。3.根据权利要求1所述的用于测量嵌入式微小型工件切削量的精密测量装置，其特征在于:所述滑块调节单元的结构是:测量触板安装在底板上，钢珠嵌入安装在测量触板上，移动块安装在测量触板的孔中，并沿该孔轴向移动，调节螺钉六与移动块的突出部分螺纹连接，挡块通过紧定螺钉五安装在测量触板上，调节螺钉六的螺帽由挡块和测量触板上的小凸台轴向限位，微调旋钮c安装在调节螺钉六的端部，并由螺母一和螺母二进行双面固定。4.根据权利要求1所述的用于测量嵌入式微小型工件切削量的精密测量装置，其特征在于:所述副间距调节单元的结构是:固定底座b安装在底板上，调节螺杆b安装在固定底座b上，移动支座b安装在固定底座b上、并与固定底座b滑动连接，缸体通过紧定螺钉九安装在移动支座b的孔中，圆柱形活塞安装在缸体中，圆柱形活塞的末端被削去一部分以安装副电容位移传感器的位移微调机构，副电容位移传感器位于圆柱形活塞的末端孔内，导向支架b通过紧定螺钉八安装于圆柱形活塞的末端削去部分内，副电容位移传感器与正方型导柱b连接为一整体，导线二从正方形导柱b中引出，微调旋钮b与电容位移传感器的螺纹部分旋合，并位于导向支架b与圆柱形活塞之间，旋转微调旋钮b、副电容位移传感器可沿其轴向移动，紧定螺钉七用于副电容位移传感器的轴向固定。
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于测量嵌入式微小型工件切削量的精密测量装置，属于精密加工及精密测量领域。由主间距调节单元、副间距调节单元和滑块调节单元构成。本实用新型的优点是结构新颖，适用于嵌入式微小型难夹持工件的切削量的精密测量。将主、副位移传感器相对放置，在两个位移传感器中间放置一个移动块，并将被测工件与主位移传感器并排安装在一个移动板上，通过测量两个位移传感器与移动块之间的距离变化值来间接地测量被测工件的切削量，测量精度高，可达纳米级。
【IPC分类】B23Q17/20
【公开号】CN204976198
【申请号】CN201520728192
【发明人】许蓬子, 周晓勤, 侯强, 刘强
【申请人】吉林大学
【公开日】2016年1月20日
【申请日】2015年9月19日