专利名称：一种直立式石英坩埚外表面整形机系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种石英坩埚外表面整形机系统，特别是涉及一种直立式 石英坩埚外表面整形机系统。
背景技术：
单晶硅棒是生产单晶硅片的原材料，随着国内和国际市场对单晶硅片需 求量的快速增加，单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势，制作单晶硅棒 所使用的石英坩埚的需求量也快速增加。现在制作石英坩埚时所使用的石英 柑埚外表面整形机床系统，如图1所示，包括大型机床、转轴、石英柑埚、金 刚砂轮，石英坩埚的中轴线和转轴的中轴线为同一条中轴线，石英坩埚和转轴 为横向放置，石英坩埚两端通过机床夹具夹住。加工过程中，石英坩埚不易夹 持，易破裂；夹持不稳定，坩锅中心线在水平位置，易跑动；石英坩埚的顶部 和机床夹具夹住的部位，形成了一个加工死角，对整形加工的质量影响很大； 机床的成本高，工作效率低。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对上述现有技术的缺陷，提供了一种直立式石英坩 埚外表面整形机系统，使得石英坩埚在加工过程中，放置稳定，不易破裂，不 易跑动，没有加工死角，减少成本，提高工作效率。
为了实现上述目的本实用新型采取的技术方案是 一种直立式石英坩埚外 表面整形机系统，包括电机、机架、转轴、石英坩埚、金刚砂轮，还包括底托、 托板，电机安装在机架一侧，转轴垂直设置在机架上，转轴和电机是传动连接， 转轴顶部固定连接有底托，底托上方固定连接有托板，托板上部为托板凸台， 托板凸台的外径与石英柑埚的口径相匹配，石英坩埚倒放在托板上，石英坩 埚的口径内侧与托板凸台外侧为紧配合，转轴的中轴线和石英钳埚的中轴线
3为同一条中轴线。
所述机架上部为机架台面，机架台面中部有一圆孔，圆孔直径与石英钳埚 外径相匹配，机架台面高于托板凸台，石英坩埚倒放在机架台面圆孔内，机架 台面圆孔与石英坩埚外壁为紧配合，圆孔的中轴线和转轴的中轴线为同一条中 轴线。
所述托板直径大于底托直径，托板和底托与转轴中轴线垂直。 所述金刚砂轮位于石英坩埚外面，金刚砂轮工作面和石英坩埚外面为活动 配合。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是
(1) 使得石英坩埚在加工过程中，放置稳定，不易破裂；
(2) 没有加工死角，提高了整形加工的质量；
(3) 不使用机床，减少成本，提高工作效率。
附图1原石英坩埚外表面整形机床系统结构图； 附图2本实用新型结构图。
附图标记说明l电机2机架21机架台面3转轴4石英柑埚 5金刚砂轮6底托7托板71托板凸台
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为对本实 用新型的限定。
如图2所示， 一种直立式石英柑埚外表面整形机系统，包括电机1、机架2、 转轴3、石英坩埚4、金刚砂轮5 还包括底托6、托板7 电机l安装在机架 2 —侧，转轴3垂直设置在机架2上，转轴3和电机1是传动连接，转轴3顶 部固定连接有底托6，底托6上方固定连接有托板7，托板7上部为托板凸台 71，托板凸台71的外径与石英坩埚4的口径相匹配，石英坩埚4倒放在托板 7上，石英坩埚4的口径内侧与托板凸台71外侧为紧配合，转轴3的中轴线和石英坩埚4的中轴线为同一条中轴线。
机架2上部为机架台面21，机架台面21中部有一圆孔，圆孔直径与石英坩 埚4外径相匹配，机架台面21高于托板凸台71，石英坩埚4倒放在机架台面 21圆孔内，机架台面21圆孔与石英坩埚4外壁为紧配合，圆孔的中轴线和转 轴3的中轴线为同一条中轴线。
托板7直径大于底托6直径，托板7和底托6与转轴3中轴线垂直。金刚 砂轮5位于石英坩埚4外面，金刚砂轮5工作面和石英坩埚4外面为活动配合。
当开动电机1,带动转轴3转动时，底托6、托板7和石英坩埚4同时转动, 石英坩埚4外侧与金刚砂轮5工作面发生摩擦，金刚砂轮5在石英坩埚4外侧 移动，可以摩擦到石英坩埚4外表的任何位置，没有死角，提高了整形加工的 质量，工作效率高。
以上所述的实施例，只是本实用新型较优选的具体实施方式
的一种，本领 域的技术人员在本实用新型技术方案范围内进行的通常变化和替换都应包含在 本实用新型的保护范围内。
权利要求1.一种直立式石英坩埚外表面整形机系统，包括电机、机架、转轴、石英坩埚、金刚砂轮，其特征在于还包括底托、托板，电机安装在机架一侧，转轴垂直设置在机架上，转轴和电机是传动连接，转轴顶部固定连接有底托，底托上方固定连接有托板，托板上部为托板凸台，托板凸台的外径与石英坩埚的口径相匹配，石英坩埚倒放在托板上，石英坩埚的口径内侧与托板凸台外侧为紧配合，转轴的中轴线和石英坩埚的中轴线为同一条中轴线。
2. 根据权利要求1所述的一种直立式石英坩埚外表面整形机系统，其特征在于: 机架上部为机架台面，机架台面中部有一圆孔，圆孔直径与石英坩埚外径相匹 配，机架台面高于托板凸台，石英坩埚倒放在机架台面圆孔内，机架台面圆孔 与石英坩埚外壁为紧配合，圆孔的中轴线和转轴的中轴线为同一条中轴线。
3. 根据权利要求1所述的一种直立式石英坩埚外表面整形机系统，其特征在于: 托板直径大于底托直径，托板和底托与转轴中轴线垂直。
4. 根据权利要求1所述的一种直立式石英坩埚外表面整形机系统，其特征在于: 金刚砂轮位于石英坩埚外面，金刚砂轮工作面和石英柑埚外面为活动配合。
专利摘要一种直立式石英坩埚外表面整形机系统，属于用于磨削的装置技术领域，包括电机、机架、转轴、石英坩埚、金刚砂轮，还包括底托、托板，电机安装在机架一侧，转轴垂直设置在机架上，转轴和电机是传动连接，转轴顶部固定连接有底托，底托上方固定连接有托板，托板上部为托板凸台，托板凸台的外径与石英坩埚的口径相匹配，石英坩埚倒放在托板上，石英坩埚的口径内侧与托板凸台外侧为紧配合，转轴的中轴线和石英坩埚的中轴线为同一条中轴线，本实用新型使得石英坩埚在加工过程中，放置稳定，不易破裂；没有加工死角，提高了整形加工的质量；不使用机床，减少成本，提高工作效率。
文档编号B24B19/22GK201419350SQ20092015398
公开日2010年3月10日 申请日期2009年5月20日 优先权日2009年5月20日
发明者洁 黄, 黄乃军 申请人:余姚市晶英电弧坩锅有限公司