专利名称：一种可减少调压次数的晶片研磨机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种应用于半导体晶片研磨领域的装置，具体的说，是涉及一种 可减少调压次数的晶片研磨装置。
技术背景优质硅及砷化稼等晶片是制造半导体器件的原始材料.为了使晶片平整，并消除 切割过程中所造成的损伤，获得完美的衬底材料，晶片必须要经过研磨，才有可能制出合格 的器件，因此，晶片研磨机是半导体制造领域中必不可少的一种装置。现有的晶片研磨机普 遍采用的都是研磨盘的结构，在提升及下放研磨盘时都需要通过调压来实现对应的汽缸控 制。这样一种结构的晶片研磨机，虽然能够确保提升及下放研磨盘的精确度，但是每完成一 次晶片的研磨都需要完成提升和下放研磨盘共2次的调压过程。对于大型的晶片研磨机， 一次能够磨制几十片晶片，这样的能源消耗还算合理，但是对于小型的晶片研磨机，例如一 次只能磨制5 6片晶片的砷化稼研磨机，如果每次磨制都需要经历这种调压过程就会十 分浪费能源，增加生产成本
实用新型内容
为了解决背景技术中所提到的现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种可减 少调压次数的晶片研磨机，该种晶片研磨机能够在每次磨制时减少掉一次调压过程，在一 定程度上节约了能源，降低了晶片的生产成本。本实用新型的技术方案是该种可减少调压次数的晶片研磨机，包括研磨粉定量 泵、支架、汽缸、汽缸提升杆以及固定有研磨齿圈和太阳轮的研磨机底座，其中所述汽缸提 升杆的底端连接有一个定位托盘；所述晶片研磨机还包括一个提升架、一个研磨粉注入槽 架以及一个研磨盘，所述研磨粉注入槽架固定于研磨盘的上部，由所述研磨粉注入槽架引 出的研磨粉注入管接入所述研磨盘上的研磨粉输入端；所述提升架的上端开有一个“U”形 口，并在此“U”形口的开口处连接有一个限位销，所述汽缸提升杆中位于定位托盘以上的杆 体插入所述“U”形口内，形成滑动连接；所述提升架的底端与所述研磨盘之间为固定连接。本实用新型具有如下有益效果采用本种结构的晶片研磨机，比照现有技术而言， 研磨盘不再直接与汽缸提升杆直接相连，而是与一个增加的提升架相连，通过计算出待磨 制的晶片可以承受的正压力来确定需要选择的研磨盘的重量，使得下放研磨盘时不再需要 调压，因而在每次磨制时减少掉一次调压过程，在一定程度上节约了能源，降低了晶片的生 产成本。
图1是本实用新型的结构示意图。图中1-研磨粉定量泵，2-支架，3-汽缸，4-汽缸提升杆，5-提升架，6_定位托盘， 7-研磨盘，8-研磨粉注入槽架，9- “U”形口，10-限位销，11-太阳轮，12-研磨齿圈。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步说明图1为本实用新型的结构示意图，如图所示，所述可减少调压次数的晶片研磨机， 包括研磨粉定量泵1、支架2、汽缸3、汽缸提升杆4以及固定有研磨齿圈12和太阳轮11的 研磨机底座，其做出改进之处在于所述汽缸提升杆4的底端连接有一个定位托盘6 ；所述 晶片研磨机还包括一个提升架5、一个研磨粉注入槽架8以及一个研磨盘7，所述研磨粉注 入槽架8固定于研磨盘7的上部，由所述研磨粉注入槽架8引出的研磨粉注入管接入所述 研磨盘7上的研磨粉输入端；所述提升架5的上端开有一个“U”形口 9，并在此“U”形口 9 的开口处连接有一个限位销10，所述汽缸提升杆4中位于定位托盘6以上的杆体插入所述 “U”形口 9内，形成滑动连接；所述提升架5的底端与所述研磨盘7之间为固定连接。这 样一来，研磨盘不再如现有技术中采用直接与汽缸提升杆相连的方式，而是与一个增加的 提升架相连，事先需要通过计算出待磨制的晶片可以承受的正压力来确定选择的研磨盘的 重量，选择好后，下放研磨盘时就不再需要调压，因而在每次磨制时可以减少掉一次调压过 程，在一定程度上节约了能源，降低了晶片的生产成本。
权利要求一种可减少调压次数的晶片研磨机，包括研磨粉定量泵(1)、支架(2)、汽缸(3)、汽缸提升杆(4)以及固定有研磨齿圈(12)和太阳轮(11)的研磨机底座，其特征在于所述汽缸提升杆(4)的底端连接有一个定位托盘(6)；所述晶片研磨机还包括一个提升架(5)、一个研磨粉注入槽架(8)以及一个研磨盘(7)，所述研磨粉注入槽架(8)固定于研磨盘(7)的上部，由所述研磨粉注入槽架(8)引出的研磨粉注入管接入所述研磨盘(7)上的研磨粉输入端；所述提升架(5)的上端开有一个“U”形口(9)，并在此“U”形口(9)的开口处连接有一个限位销(10)，所述汽缸提升杆(4)中位于定位托盘(6)以上的杆体插入所述“U”形口(9)内，形成滑动连接；所述提升架(5)的底端与所述研磨盘(7)之间为固定连接。
专利摘要一种可减少调压次数的晶片研磨机。主要解决现有技术中的研磨机每次研磨都需要进行2次调压，导致能源消耗较大的问题。其特征在于汽缸提升杆的底端连接有一个定位托盘；晶片研磨机还包括一个提升架、一个研磨粉注入槽架以及一个研磨盘，研磨粉注入槽架固定于研磨盘的上部，由研磨粉注入槽架引出的研磨粉注入管接入所述研磨盘上的研磨粉输入端；提升架的上端开有一个“U”形口，并在此“U”形口的开口处连接有一个限位销，汽缸提升杆中位于定位托盘以上的杆体插入“U”形口内，形成滑动连接；提升架的底端与研磨盘之间为固定连接。该种晶片研磨机能够在每次磨制时减少掉一次调压过程，在一定程度上节约了能源，降低了晶片的生产成本。
文档编号B24B57/04GK201728583SQ20102026222
公开日2011年2月2日 申请日期2010年7月19日 优先权日2010年7月19日
发明者张继昌, 段有志 申请人:大庆佳昌科技有限公司