专利名称：一种靶位溅射室的冷却水滴清理装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种水滴清理装置，尤其涉及的是一种靶位溅射室的冷却水滴清
理装置。
背景技术：
现有的靶位溅射室在给玻璃镀膜的过程中需要给玻璃降温，在靶位溅射室的顶盖上设有冷却水进水管和出水管，冷却水从进水管进入，经过热交换后，热水从出水管出来，如此循环，给镀膜玻璃降温。但是，现有技术存在以下问题如果需要对靶位溅射室进行维修保养时，需要把靶位溅射室的顶盖掀开才能进行维修保养，但因冷却水进水管和出水管是设置在顶盖上的， 如果直接把顶盖掀开就会把遗留在进水管和出水管内的冷却水滴进靶位溅射室内，还会滴到镀膜玻璃上，对镀膜玻璃的品质造成很大影响，甚至出现废品，不利于镀膜玻璃品质的保证,增大生产成本。因此，现有技术还有待于改进和发展。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种靶位溅射室的冷却水滴清理装置，旨在解决维修时冷却水进水管和出水管遗留的水滴滴进靶位溅射室、影响镀膜玻璃品质甚至出现废品玻璃的问题。本实用新型的技术方案如下一种靶位溅射室的冷却水滴清理装置，包括靶位溅射室、顶盖、进水管和出水管，顶盖设置在靶位溅射室的上方，进水管和出水管设置在顶盖上，其中，还包括接通外部维修用气体的气管和三通，所述气管通过所述三通连接在所述进水管上。所述的靶位溅射室的冷却水滴清理装置，其中，所述出水管还与一水气检测装置连接。本实用新型的有益效果本实用新型通过提供一种靶位溅射室的冷却水滴清理装置，可以在对靶位溅射室进行保养维修时及时地把遗留在冷却水进水管和出水管中的水滴清理干净，避免了冷却水滴滴入靶位溅射室继而影响镀膜玻璃品质的问题，保证了镀膜玻璃的质量，本实用新型操作方便，省时省力。
图I是本实用新型靶位溅射室的冷却水滴清理装置示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本实用新型进一步详细说明。[0011]如图I所示，是本实用新型靶位溅射室的冷却水滴清理装置示意图，包括靶位溅射室I、顶盖2(图中靶位溅射室I采用了俯视角度示意画法)、进水管3、出水管4、气管5和三通6 ;顶盖2设置在靶位溅射室I的上方，进水管3和出水管4都设置在顶盖2上，进水管3和气管5分别都与三通6连接。在靶位溅射室I进行剥离镀膜作业时，冷却水从进水管3进入靶位溅射室1，经过热交换后从出水管4排出；当靶位溅射室I需要维修时，外部特定气体从气管5经三通6进入进水管3，由进水管3进入靶位溅射室1，再经出水管4排出去，持续给气管5通气，把遗留在进水管3和出水管4中的冷却水通过气体完全排出去，避免在掀开顶盖2对靶位溅射室I进行维修时遗留的水滴对镀膜玻璃的品质造成影响。使用本实用新型可以在对靶位溅射室进行保养维修时及时地把遗留在冷却水进水管和出水管中的水滴清理干净，避免了冷却水滴滴入靶位溅射室继而影响镀膜玻璃品质的问题，保证了镀膜玻璃的质量，本实用新型操作方便，省时省力。应当理解的是，本实用新型的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，例如，为保证把遗留在进水管3和出水管4中的冷却水完全排除出，可以在出水管4上连接水气检测装置，检测排出的气体是否还含有水，所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。
权利要求1.一种靶位溅射室的冷却水滴清理装置，包括靶位溅射室、顶盖、进水管和出水管，顶盖设置在靶位溅射室的上方，进水管和出水管设置在顶盖上，其特征在于，还包括接通外部维修用气体的气管和三通，所述气管通过所述三通连接在所述进水管上。
2.根据权利要求I所述的靶位溅射室的冷却水滴清理装置，其特征在于，所述出水管还与一水气检测装置连接。
专利摘要本实用新型公开了一种靶位溅射室的冷却水滴清理装置，包括靶位溅射室、顶盖、进水管、出水管、气管和三通，顶盖设置在靶位溅射室的上方，进水管和出水管设置在顶盖上，进水管和气管分别都与三通连接。采用本实用新型可以在对靶位溅射室进行保养维修时及时地把遗留在冷却水进水管和出水管中的水滴清理干净，避免了冷却水滴滴入靶位溅射室继而影响镀膜玻璃品质的问题，保证了镀膜玻璃的质量，本实用新型操作方便，省时省力。
文档编号C23C14/34GK202401124SQ20112052904
公开日2012年8月29日 申请日期2011年12月16日 优先权日2011年12月16日
发明者张建 申请人:佛山市中南罗森玻璃有限公司