具有抛光液循环回收利用装置的抛光机的制作方法

文档序号:3269258阅读:276来源:国知局
专利名称:具有抛光液循环回收利用装置的抛光机的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种抛光机,尤其涉及一种可将抛光液筛滤后进行循环回收利用的具有抛光液循环回收利用装置的抛光机。
技术背景我们对滤波器晶片进行抛光工序处理时,采用的都是外购的原有市场上的抛光机,此抛光机包括上模和下模,上模为抛光面板,下模为转动区,在对晶片进行抛光处理时,需要通过抛光机上用来流出抛光液的进液机构将抛光液输送到上下模加工区,从抛光区流出的抛光液是经过抛光机后端底部的出液口流出的,目前,对于此出液口流出的抛光液是直接进行了排除,这样,不仅浪费了大量的资源,同时,对工作间内的环境也造成了很大的污染。
发明内容本实用新型解决的技术问题是提供一种解决上述技术缺陷而达到充分利用资源,避免资源浪费的具有抛光液循环回收利用装置的抛光机。本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是一种具有抛光液循环回收利用装置的抛光机,包括抛光机本体和设置在抛光机本体后端底部的出液口,所述出液口通过出液管连接抛光液循环回收装置,该抛光液循环回收装置包括三脚架和收液桶;所述三脚架上放置有漏斗;所述收液桶的上端设有封盖,在所述封盖上开设有进液口,并在所述封盖上固定安装有电机;所述出液管的另一端连接到漏斗上方,漏斗的底部通过管路连接到进液口,所述电机的底端连接回液管,该回液管的另一端连接到抛光机上模上方的进液机构。进一步的,为了对抛光液进行筛滤处理,提高抛光液的质量,所述漏斗的上部放置有筛框,所述出液管的另一端设置在筛框的上方。本实用新型的有益效果是本回收装置将抛光机内排出的抛光液进行筛滤后,将过滤后的抛光液再次的抽回到抛光机上的进液机构,完成抛光液的回收利用,减少了资源浪费,且提高了加工车间的清洁度。


以下结合附图对本实用新型进一步说明。图I是本实用新型结构的示意图;图2是本实用新型中循环回收装置示意图。图中1、抛光机本体2、出液口 3、出液管4、筛框5、漏斗6、三脚架7、收液桶71、封盖72、进液口 8、电机9、回液管。
具体实施方式
如图I和2所不一种具有抛光液循环回收利用装置的抛光机,包括抛光机本体I和设置在抛光机本体I后端底部的出液口 2,以及用来对加工中注入抛光液的进液机构(未标出),该进液机构设置在抛光机上模的上方,所述出液口 2通过出液管3连接抛光液循环回收装置,该抛光液循环回收装置包括三脚架6和收液桶7 ;所述三脚架6上放置有漏斗5 ;所述收液桶7的上端设有封盖71,在所述封盖71上开设有进液口 72,并在所述封盖71上固定安装有电机8 ;所述出液管3的另一端连接到漏斗上方,漏斗5的底部通过管路连接到进液口 72,所述电机8的底端连接回液管9,该回液管9的另一端连接到抛光机上模上方的进液机构。进一步的,为了对抛光液进行筛滤处理,提高抛光液的质量,所述漏斗8的上部放置有筛框4,所述出液管3的另一端设置在筛框4的上方。本回收装置对抛光机中从出液口 2流出的抛光液,抛光液通过出液管3之后,再由筛框4筛滤,抛光液经过漏斗5后进入到收液桶7内,之后,通过电机8将过滤后的抛光液 再次的抽回到抛光机上的进液机构,完成抛光液的回收利用,减少了资源浪费,且提高了加工车间的清洁度。需要强调的是,以上是本实用新型的较佳实施列而已,并非对此实用新型在外观上作任何形式的限制,凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1.一种具有抛光液循环回收利用装置的抛光机,包括抛光机本体(I)和设置在抛光机本体(I)后端底部的出液口(2),其特征在于所述出液口(2)通过出液管(3)连接抛光液循环回收装置,该抛光液循环回收装置包括三脚架(6)和收液桶(7);所述三脚架(6)上放置有漏斗(5);所述收液桶(7)的上端设有封盖(71),在所述封盖(71)上开设有进液口(72),并在所述封盖(71)上固定安装有电机(8);所述出液管(3)的另一端连接到漏斗上方,漏斗(5)的底部通过管路连接到进液口(72),所述电机(8)的底端连接回液管(9),该回液管的另一端连接到抛光机上模上方的进液机构。
2.根据权利要求I所述的具有抛光液循环回收利用装置的抛光机,其特征在于所述漏斗(5)的上部放置有筛框(4),所述出液管(3)的另一端设置在筛框(4)的上方。
专利摘要本实用新型涉及一种具有抛光液循环回收利用装置的抛光机,包括抛光机本体和设置在抛光机本体后端底部的出液口,所述出液口通过出液管连接抛光液循环回收装置,该抛光液循环回收装置包括三脚架和收液桶;所述三脚架上放置有漏斗;所述收液桶的上端设有封盖,在所述封盖上开设有进液口,并在所述封盖上固定安装有电机;所述出液管的另一端连接到漏斗上方,漏斗的底部通过管路连接到进液口,所述电机的底端连接回液管,该回液管的另一端连接到抛光机上模上方的进液装置。本回收装置将抛光机内排出的抛光液进行筛滤后,将过滤后的抛光液再次的抽回到抛光机上的进液机构,完成抛光液的回收利用,减少了资源浪费,且提高了加工车间的清洁度。
文档编号B24B57/00GK202668359SQ201220248910
公开日2013年1月16日 申请日期2012年5月30日 优先权日2012年5月30日
发明者冷志红, 蔡灵玲 申请人:昆山明本光电有限公司
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