一种气体混合器的制造方法
【专利摘要】本发明公开一种气体混合器。该气体混合器包括第一空心球和第二空心球，在所述第一空心球的一侧设有第一进气管和至少一个第二进气管，所述第一进气管的末端处于第一空心球的出气口处；所述第一空心球的出气口与所述第二空心球的进气口通过管道连接；所述第二空心球的出气口方向与第二空心球的进气口方向保持一定的夹角。采用本发明的气体混合器可以实现气体的快速充分混合，混合气体浓度不易产生波动，混合气体的质量稳定可靠，有效地提高和控制半导体生长质量。
【专利说明】一种气体混合器
【技术领域】
[0001]本发明属于气体反应装置领域，具体涉及一种气体混合器。
【背景技术】
[0002]在半导体行业中，气相沉积法是制备半导体薄膜材料常用的方法，进行生长时所用的气体通常由载气和多种反应气组成，现有导入气体的方式通常是将各气体的进气管分别直接通入反应室，由于各气体的流速并不相同，进气压力也不同，使得流量大的进气会对流量较小的进气产生一定的挤压作用，而气体在反应室停留时间非常短，使得多种气体在反应室无法充分混合，导致气体在反应室的浓度出现波动，影响半导体薄膜生长质量。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是针对现的气相沉积法入气混合不均匀的问题，提供一种气体混合器。
[0004]本发明实现上述目的所采用的技术方案如下:
一种气体混合器，包括第一空心球和第二空心球，
在所述第一空心球的一侧设有第一进气管和至少一个第二进气管，所述第一进气管的末端处于第一空心球的出气口处；
所述第一空心球的出气口与所述第二空心球的进气口通过管道连接；
所述第二空心球的出气口方向与第二空心球的进气口方向保持一定的夹角。
[0005]进一步，所述第一空心球与第二空心球的直径比为(I~1.5):1。
[0006]进一步，所述第一进气管与第二进气管之间的夹角为20~80度。
[0007]更进一步，所述第一进气管与第二进气管之间的夹角为50~60度。
[0008]进一步，所述第一进气管末段呈收缩状。
[0009]更进一步，所述第一进气管末段为锥状管。
[0010]进一步，所述第二空心球的出气口方向与第二空心球的进气口方向的夹角为90~150度。
[0011 ] 更进一步，所述第二空心球的出气口方向与第二空心球的进气口方向的夹角为120 度。
[0012]进一步，所述第一空心球设有2~3个第二进气管。
[0013]采用本发明的气体混合器可以实现气体的快速充分混合，混合气体浓度不易产生波动，混合气体的质量稳定可靠，有效地提高和控制半导体生长质量。
【专利附图】
【附图说明】
[0014]图1为本发明气体混合器的结构示意图。
【具体实施方式】[0015]以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
[0016]实施例1
如图1所示，所述气体混合器包括第一空心球3和第二空心球4，第一空心球3与第二空心球4的直径比为1.2:1。在第一空心球3的一侧设有第一进气管I和两个第二进气管2，其中，第一进气管I的末段伸入至第一空心球3的内部，并且使第一进气管I的末端处在第一空心球3的出气口处。第一进气管I末段优选呈收缩状，如为锥状管，这样有利于进一步提高该进气管内气体出气时的流速，而两个第二进气管2分别与第一进气管I之间保持60度的夹角。第一空心球3的出气口通过管道6与第二空心球4的进气口连接，在第二空心球4的另一侧设置出气口，并使第二空心球4的出气口方向与第二空心球4的进气口方向保持120度的夹角。第二进气管2的数量可根据实际反应用气种类的多少来确定。
[0017]使用时，将气体混合器分别与气源和反应装置连接，其中，流量最大的气体(在通常情况下该气体为载气)从第一进气管I进入，而其它流量相对较小的气体则分别从第二进气管2进入，流量最大的气体由第一进气管I加速喷出后进入第二空心球4，同时在第一空心球3球心产生一负压，从而不会对第二进气管2的气体产生挤压，使第二进所管2中的气体顺利进入第一空心球3，各气体进入第二空心球4后，利用体积的突然变大，使气体在第二空心球4混合，第二空心球4的出气口与入气口呈一定的夹角，避免进入第二空心球4的气流直接对着出气口，这样，气体在第二空心球4内能形成一定的旋流，气体混合充分、均匀。混合气体再由连接在第二空心球4出气口上的出气管5排出并进入反应装置。
[0018]最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案 进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种气体混合器，包括第一空心球和第二空心球， 在所述第一空心球的一侧设有第一进气管和至少一个第二进气管，所述第一进气管的末端处于第一空心球的出气口处； 所述第一空心球的出气口与所述第二空心球的进气口通过管道连接； 所述第二空心球的出气口方向与第二空心球的进气口方向保持一定的夹角。
2.根据权利要求1所述的气体混合器，其特征在于:所述第一空心球与第二空心球的直径比为(1~1.5):1。
3.根据权利要求1所述的气体混合器，其特征在于:所述第一进气管与第二进气管之间的夹角为20~80度。
4.根据权利要求3所述的气体混合器，其特征在于:所述第一进气管与第二进气管之间的夹角为50~60度。
5.根据权利要求1所述的气体混合器，其特征在于:所述第一进气管末段呈收缩状。
6.根据权利要求5所述的气体混合器，其特征在于:所述第一进气管末段为锥状管。
7.根据权利要求1所述的气体混合器，其特征在于:所述第二空心球的出气口方向与第二空心球的进气口方向的夹角为90~150度。
8.根据权利要求7所述的气体混合器，其特征在于:所述第二空心球的出气口方向与第二空心球的进气口方向的夹角为120度。
9.根据权利要求7所述的气体混合器，其特征在于:所述第一空心球设有2~3个第二进气管。
【文档编号】C23C16/455GK103510073SQ201310448853
【公开日】2014年1月15日 申请日期:2013年9月28日 优先权日:2013年9月28日
【发明者】刘耀峰, 潘振东 申请人:无锡荣能半导体材料有限公司