技术总结
本发明涉及一种新型的抛光机用调压调速压头。从抛光过程的自转转速和抛光压力两方面考量，设计了一种调压调速压头，实现了抛光过程的压力和转速可调，并对机床振动有一定的缓冲效果。该压头可以方便的利用一个转接头安装在现有抛光机上工作，将不可控的工件自转转化为一个可以自由调节的工艺参数，并能实现对抛光压力的自由调节。该发明有利于摸索光学抛光过程的规律参数，有助于开展确定性抛光工作；并能有效改善抛光去除率函数曲线，对抛光的精度和效率有显著贡献。
技术研发人员：贾勇;刘顺福;张杰;李刚;孙龙
受保护的技术使用者：中国科学院大连化学物理研究所
文档号码：201410754055
技术研发日：2014.12.10
技术公布日：2017.10.20