技术总结
本发明公开了使用可变间距编码孔径的阴影掩模对准。在阴影掩模‑衬底对准方法中，衬底和阴影掩模各自包括具有分隔关系的多个直条的格栅，其中对于每个格栅，每个格栅的每一对分隔的直条被间隙所分开。至少三个相邻间隙之间的间隔是不同的或者不是恒定间距的，并且至少一个格栅包括延伸通过其的间隙。所述衬底的格栅和所述阴影掩模的格栅位于光路中。此后，所述衬底、所述阴影掩模、或者两者的取向被调节以定位所述衬底的格栅、所述阴影掩模的格栅、或者两者，直到通过所述格栅中的一个或两个的所述光路上的预定量的光或者预定范围的量的光被光接收器接收为止。
技术研发人员：田村信彦
受保护的技术使用者：阿德文泰克全球有限公司
文档号码：201610114573
技术研发日：2016.03.01
技术公布日：2017.02.15