技术总结
本发明揭示一种加热模块、物理气相沉积腔室以及沉积设备。在物理气相沉积腔室中设置加热模块，该加热模块包括加热灯管，所述加热灯管经配置分布以构成加热区域，且所述加热区域于一投影方向上的投影覆盖所述基板的所述表面；所述加热灯管包括加热段以及非加热段，所述加热段对应所述加热区域，且所述加热段包括加热丝。本发明提供的加热模块、物理气相沉积腔室以及沉积设备，既能够满足高温物理气相沉积工艺对基板的快速升温及快速降温的要求，又可直接应用于真空环境或大气环境内，应用范围较大；而且，当其应用于真空环境中时，加热灯管的热量损失更少，从而可进一步提高加热效率。
技术研发人员：张军;徐宝岗;赵晋荣;武学伟;董博宇
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
技术研发日：2016.06.12
技术公布日：2019.07.19